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    OPTICAL DEVICE HAVING FLUOROCARBON POLYMER LAYER
    5.
    发明申请
    OPTICAL DEVICE HAVING FLUOROCARBON POLYMER LAYER 审中-公开
    具有氟聚合物层的光学器件

    公开(公告)号：US20110149589A1

    公开(公告)日：2011-06-23

    申请号：US13056436

    申请日：2009-07-30

    申请人： Ming Ko ,  Wen-Jui Ray Chia ,  Hong Fu

    发明人： Ming Ko ,  Wen-Jui Ray Chia ,  Hong Fu

    IPC分类号： F21V8/00 ,  G02B6/24 ,  B32B37/12 ,  B32B37/14

    CPC分类号： A61B18/22 ,  A61B2018/2255 ,  A61B2018/2272 ,  G02B5/04 ,  G02B6/255 ,  G02B6/262 ,  G02B6/4296 ,  G02B7/025

    摘要： Embodiments of the invention are directed to an optical device, such as an optical device for use in a laser system. One embodiment of the optical device includes first and second components. A fluorocarbon polymer layer is between the first and second components. Embodiments of the fluorocarbon polymer layer comprise a fluorocarbon polymer in the form of an adhesive, an oil, a lubricant or a paste. In one embodiment, the fluorocarbon polymer layer is in the form of an adhesive that bonds the first and second components together.

    摘要翻译： 本发明的实施例涉及一种光学装置，例如用于激光系统的光学装置。 光学装置的一个实施例包括第一和第二部件。 氟碳聚合物层位于第一和第二组分之间。 氟碳聚合物层的实施方案包括粘合剂，油，润滑剂或糊剂形式的氟碳聚合物。 在一个实施方案中，氟碳聚合物层是将第一和第二组分粘合在一起的粘合剂的形式。

    Apparatus and methods for reducing thin film color variation in optical inspection of semiconductor devices and other surfaces
    7.
    发明授权
    Apparatus and methods for reducing thin film color variation in optical inspection of semiconductor devices and other surfaces 有权
    用于减少半导体器件和其他表面的光学检查中的薄膜颜色变化的装置和方法

    公开(公告)号：US06570650B1

    公开(公告)日：2003-05-27

    申请号：US09948974

    申请日：2001-09-07

    申请人： Yu Guan ,  Hong Fu ,  Steven R. Lange

    发明人： Yu Guan ,  Hong Fu ,  Steven R. Lange

    IPC分类号： G01N2188

    CPC分类号： G01J3/10 ,  G01B11/0625 ,  G01J3/46

    摘要： Disclosed are methods and apparatus for designing an optical spectrum of an illumination light beam within an optical inspection system. A set of conditions for inspecting a film on a sample by directing an illumination light beam at the sample is determined. At least a portion of the illumination light beam is reflected off the sample and used to generate an image of at least a portion of the film on the sample. A plurality of peak wavelength values are determined for the optical spectrum of the illumination light beam so as to control color variation in the image of the film portion. The determination of the peak wavelengths is based on the determined set of conditions and a selected thickness range of the film. In one specific embodiment, the color variation is reduced, while in another embodiment the color variation is increased to enhance pattern contrast. An apparatus which implements the designed optical spectrum is also disclosed.

    摘要翻译： 公开了用于设计光学检查系统内的照明光束的光谱的方法和装置。 确定通过在样品上引导照明光束来检查样品上的胶片的一组条件。 照明光束的至少一部分从样品反射并用于产生样品上的膜的至少一部分的图像。 针对照明光束的光谱确定多个峰值波长值，以便控制胶片部分的图像中的颜色变化。 峰值波长的确定基于所确定的条件集合和所选择的膜厚度范围。 在一个具体实施例中，颜色变化减小，而在另一实施例中，颜色变化增加以增强图案对比度。 还公开了一种实现设计的光谱的装置。

    Carbamate compounds
    10.
    发明授权
    Carbamate compounds 有权
    氨基甲酸酯化合物

    公开(公告)号：US07795457B2

    公开(公告)日：2010-09-14

    申请号：US12070835

    申请日：2008-02-20

    申请人： Hong Fu ,  Yaoquan Liu

    发明人： Hong Fu ,  Yaoquan Liu

    IPC分类号： C07D315/00

    CPC分类号： C07D309/32 ,  C07D405/12 ,  C07D405/14 ,  C07D413/12 ,  C07D417/12

    摘要： Carbamate compounds having a structure represented by formula I (where R1, R2, R3, R4, R5 and R6 are as defined herein) are useful as anti-tumor agents.

    摘要翻译： 具有式I（其中R 1，R 2，R 3，R 4，R 5和R 6如本文所定义）的结构的氨基甲酸酯化合物可用作抗肿瘤剂。