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1.发明申请Spin On Organic Antireflective Coating Composition Comprising Polymer with Fused Aromatic Rings 审中-公开旋转有机抗反射涂料组合物包含聚合物与熔融芳香环公开(公告)号：US20100316949A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：US12482189
申请日：2009-06-10
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Guanyang Lin , Jianhui Shan , Ruzhi Zhang , Mark Neisser
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Guanyang Lin , Jianhui Shan , Ruzhi Zhang , Mark Neisser
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G61/02 , C08G2261/94 , C09D165/00 , G03F7/091 , G03F7/094
摘要： The present invention relates to an organic spin on hard mask antireflective coating composition comprising a polymer comprising at least one unit of fused aromatic rings in the backbone of the polymer and at least one unit with a cycloaliphatic moiety in the backbone of the polymer. The invention further relates to a process for making the polymer and a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种在硬掩模抗反射涂料组合物上的有机旋涂，其包含聚合物，该聚合物包含聚合物主链中的至少一个稠合芳环单元和至少一个在聚合物主链中具有脂环族部分的单元。 本发明还涉及制备聚合物的方法和用于对本发明组合物进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20110151376A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：US12646191
申请日：2009-12-23
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yi , Guanyang Lin
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yi , Guanyang Lin
CPC分类号： C09D165/00 , C08G2261/141 , C08G2261/1422 , C08G2261/3424 , C08G2261/42 , C08G2261/50 , C08G2261/76 , C08L65/00 , G03F7/091 , H01L21/0276 , H01L21/3081
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): A-Bn (1) where A is a fused aromatic ring and B has a structure (2), where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkylThe invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和可交联聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：其中A是稠合芳族化合物 环和B具有结构（2），其中R 1是C 1 -C 4烷基，R 2是C 1 -C 4烷基。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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公开(公告)号：US08017296B2
公开(公告)日：2011-09-13
申请号：US11872962
申请日：2007-10-16
申请人： Francis Houlihan , David Abdallah , M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Ruzhi Zhang , Allen G. Timko , WooKyu Kim , Ping-Hung Lu
发明人： Francis Houlihan , David Abdallah , M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Ruzhi Zhang , Allen G. Timko , WooKyu Kim , Ping-Hung Lu
IPC分类号： G03F7/04
CPC分类号： C09D165/00 , G03F7/091 , H01L21/0276
摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer comprising at least one unit with 3 or more fused aromatic rings in the backbone of the polymer and at least one unit with an aliphatic moeity in the backbone of the polymer. The invention further relates to a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种有机可旋涂的抗反射涂料组合物，其包含聚合物，该聚合物包含至少一个在聚合物主链中具有3个或更多个稠合芳环的单元和至少一个在聚合物主链中具有脂族摩尔的单元。 本发明还涉及用于对本发明组合物进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20080292995A1
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：US11872962
申请日：2007-10-16
申请人： Francis Houlihan , David Abdallah , M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Ruzhi Zhang , Allen G. Timko , Wookyu Kim , Ping-Hung Lu
发明人： Francis Houlihan , David Abdallah , M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Ruzhi Zhang , Allen G. Timko , Wookyu Kim , Ping-Hung Lu
CPC分类号： C09D165/00 , G03F7/091 , H01L21/0276
摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer comprising at least one unit with 3 or more fused aromatic rings in the backbone of the polymer and at least one unit with an aliphatic moeity in the backbone of the polymer. The invention further relates to a process for imaging the present composition.
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公开(公告)号：US20080292987A1
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：US11752040
申请日：2007-05-22
CPC分类号： G03F7/091
摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer comprising at least one unit with 3 or more fused aromatic rings in the backbone of the polymer and at least one unit with an aliphatic moeity in the backbone of the polymer. The invention further relates to a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种有机可旋涂的抗反射涂料组合物，其包含聚合物，该聚合物包含至少一个在聚合物主链中具有3个或更多个稠合芳环的单元和至少一个在聚合物主链中具有脂族摩尔的单元。 本发明还涉及用于对本发明组合物进行成像的方法。
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公开(公告)号：US08486609B2
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：US12646191
申请日：2009-12-23
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yl , Guanyang Lin
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yl , Guanyang Lin
IPC分类号： G03F7/32 , G03F7/11 , C08G65/48 , C09D165/00
CPC分类号： C09D165/00 , C08G2261/141 , C08G2261/1422 , C08G2261/3424 , C08G2261/42 , C08G2261/50 , C08G2261/76 , C08L65/00 , G03F7/091 , H01L21/0276 , H01L21/3081
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): A-Bn (1) where A is a fused aromatic ring and B has a structure (2), where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkyl. The invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和交联性聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：A-Bn（1）其中A是稠合芳环 和B具有结构式（2），其中R 1是C 1 -C 4烷基，R 2是C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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公开(公告)号：US20120251943A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：US13075749
申请日：2011-03-30
CPC分类号： G03F7/091
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): A-B—C (1) where A is a fused aromatic ring, B has a structure (2), and C is a hydroxybiphenyl of structure (3) where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkyl.The invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和可交联聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：其中A是稠合的 芳香环，B为结构（2），C为结构式（3）的羟基联苯，其中R 1为C 1 -C 4烷基且R 2为C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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公开(公告)号：US20090280435A1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：US12115776
申请日：2008-05-06
CPC分类号： G03F7/091
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a polymer, a crosslinker and a thermal acid generator, where the polymer comprises at least one unit of structure (1), at least one unit of structure (2) and at least one structure of structure (3), where R1 to R9 is independently selected from H and C1-C6 alkyl, R′ and R″ is independently selected from H and C1-C6 alkyl, X is C1-C6 alkylene, Y is C1-C6 alkylene. The invention further relates to a process for imaging a photoresist coated over the antireflective coating composition.
摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物，交联剂和热酸发生剂的抗反射涂料组合物，其中聚合物包含至少一个结构单元（1），至少一个结构单元（2）和至少一个结构结构 （3），其中R 1至R 9独立地选自H和C 1 -C 6烷基，R'和R“独立地选自H和C 1 -C 6烷基，X是C 1 -C 6亚烷基，Y是C 1 -C 6亚烷基。 本发明还涉及一种用于对涂覆在抗反射涂层组合物上的光致抗蚀剂进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20100151392A1
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：US12332501
申请日：2008-12-11
申请人： M. Dalil Rahman , Yi Yi , Douglas McKenzie , Clement Anyadiegwu , Ping-Hung Lu
发明人： M. Dalil Rahman , Yi Yi , Douglas McKenzie , Clement Anyadiegwu , Ping-Hung Lu
CPC分类号： G03F7/091 , C08G61/02 , C08G2261/342 , C08L83/04 , C09D165/00
摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer, a linking component, a crosslinker, and an acid generator. The invention further relates to a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物，连接组分，交联剂和酸产生剂的有机旋涂可涂抗反射涂料组合物。 本发明还涉及用于对本发明组合物进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20090246691A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：US12060307
申请日：2008-04-01
申请人： M. Dalil Rahman , David Abdallah , Rhuzi Zhang , Douglas McKenzie
发明人： M. Dalil Rahman , David Abdallah , Rhuzi Zhang , Douglas McKenzie
CPC分类号： G03F7/091
摘要： The present invention relates to an antireflective composition comprising a thermal acid generator and an epoxy polymer comprising at least one unit of structure 1, at least one unit of structure 2. where, R1 to R12 are independently selected from hydrogen and C1-C4 alkyl, structure. 1 has a configuration selected from cis, trans or mixture thereof, and x and y are the mole % of the monomeric units in the polymer. The invention also relates to a process for manufacturing a microelectronic device.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射组合物，其包含热酸产生剂和环氧聚合物，其包含至少一个结构单元1，至少一个结构单元，其中R1至R12独立地选自氢和C1-C4烷基， 结构体。 1具有选自顺式，反式或其混合物的构型，x和y是聚合物中单体单元的摩尔％。 本发明还涉及一种用于制造微电子器件的方法。
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