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公开(公告)号：US08486609B2
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：US12646191
申请日：2009-12-23
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yl , Guanyang Lin
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yl , Guanyang Lin
IPC分类号： G03F7/32 , G03F7/11 , C08G65/48 , C09D165/00
CPC分类号： C09D165/00 , C08G2261/141 , C08G2261/1422 , C08G2261/3424 , C08G2261/42 , C08G2261/50 , C08G2261/76 , C08L65/00 , G03F7/091 , H01L21/0276 , H01L21/3081
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): A-Bn (1) where A is a fused aromatic ring and B has a structure (2), where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkyl. The invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和交联性聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：A-Bn（1）其中A是稠合芳环 和B具有结构式（2），其中R 1是C 1 -C 4烷基，R 2是C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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公开(公告)号：US20110151376A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：US12646191
申请日：2009-12-23
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yi , Guanyang Lin
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Huirong Yao , JoonYeon Cho , Yi Yi , Guanyang Lin
CPC分类号： C09D165/00 , C08G2261/141 , C08G2261/1422 , C08G2261/3424 , C08G2261/42 , C08G2261/50 , C08G2261/76 , C08L65/00 , G03F7/091 , H01L21/0276 , H01L21/3081
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinker and a crosslinkable polymer capable of being crosslinked by the crosslinker, where the crosslinkable polymer comprises a unit represented by structure (1): A-Bn (1) where A is a fused aromatic ring and B has a structure (2), where R1 is C1-C4alkyl and R2 is C1-C4alkylThe invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含能够由交联剂交联的交联剂和可交联聚合物，其中可交联聚合物包含由结构（1）表示的单元：其中A是稠合芳族化合物 环和B具有结构（2），其中R 1是C 1 -C 4烷基，R 2是C 1 -C 4烷基。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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公开(公告)号：US09315636B2
公开(公告)日：2016-04-19
申请号：US13707993
申请日：2012-12-07
申请人： Huirong Yao , M. Dalil Rahman , Salem K. Mullen , JoonYeon Cho , Clement Anyadiegwu , Munirathna Padmanaban
发明人： Huirong Yao , M. Dalil Rahman , Salem K. Mullen , JoonYeon Cho , Clement Anyadiegwu , Munirathna Padmanaban
CPC分类号： C08G79/00 , C07F7/28 , G03F7/0043 , G03F7/075 , G03F7/091
摘要： The present disclosure relates to soluble, multi-ligand-substituted metal compounds with improved stability as well as compositions made from them and methods of their use.
摘要翻译： 本公开涉及具有改进的稳定性的可溶性，多配位体取代的金属化合物以及由它们制备的组合物及其使用方法。
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公开(公告)号：US08906592B2
公开(公告)日：2014-12-09
申请号：US13563877
申请日：2012-08-01
CPC分类号： G03F7/091 , C08G61/02 , C08G2261/135 , C08G2261/1422 , C08G2261/1424 , C08G2261/148 , C08G2261/342 , C08G2261/45 , C08G2261/76 , C09D165/00 , G02B1/118 , G03F7/094 , H01L31/0216 , H01L31/02168 , H01L31/02327 , Y02E10/50
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a crosslinkable polymer, where the crosslinkable polymer comprises at least one unit of fused aromatic moiety, at least one unit with a phenylene moiety in the backbone of the polymer, and at least one hydroxybiphenyl unit, furthermore where the polymer comprises a crosslinking moiety of structure (4), where R′3, R″3 and R′″3 are independently hydrogen or a C1-C4alkyl. The invention further relates to a process for forming an image using the composition.
摘要翻译： 本发明涉及包含可交联聚合物的抗反射涂料组合物，其中可交联聚合物包含至少一个稠合芳族部分单元，至少一个在聚合物主链中具有亚苯基部分的单元和至少一个羟基联苯单元 其中聚合物包含结构（4）的交联部分，其中R'3，R“3和R”3独立地是氢或C 1 -C 4烷基。 本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。
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5.发明授权Spin-on compositions of soluble metal oxide carboxylates and methods of their use 有权可溶性金属氧化物羧酸盐的旋转组合物及其使用方法公开(公告)号：US09201305B2
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：US13930711
申请日：2013-06-28
申请人： M. Dalil Rahman , Venkata Gopal Reddy Chada , Huirong Yao , Clement Anyadiegwu , Douglas McKenzie
发明人： M. Dalil Rahman , Venkata Gopal Reddy Chada , Huirong Yao , Clement Anyadiegwu , Douglas McKenzie
IPC分类号： H01L21/033 , G03F7/09 , H01L21/027 , C23C18/06 , C23C18/12 , C23C18/14
CPC分类号： G03F7/092 , C23C18/06 , C23C18/1216 , C23C18/14 , G03F7/09 , G03F7/091 , H01L21/0276
摘要： The present disclosure relates to spin-on compositions containing at least one metal oxide dicarboxylate and an organic solvent into which the metal oxide dicarboxylate is soluble or colloidally stable. The dicarboxylate is capable of decomposing during heat treatment to give a cured metal oxide film. The present disclosure also relates to method of using the spin-on compositions.
摘要翻译： 本公开内容涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和有机溶剂的旋涂组合物，其中金属氧化物二羧酸盐可溶于或胶体稳定。 二羧酸盐能够在热处理期间分解，得到固化的金属氧化物膜。 本公开还涉及使用旋涂组合物的方法。
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6.发明申请Spin On Organic Antireflective Coating Composition Comprising Polymer with Fused Aromatic Rings 审中-公开旋转有机抗反射涂料组合物包含聚合物与熔融芳香环公开(公告)号：US20100316949A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：US12482189
申请日：2009-06-10
申请人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Guanyang Lin , Jianhui Shan , Ruzhi Zhang , Mark Neisser
发明人： M. Dalil Rahman , Douglas McKenzie , Guanyang Lin , Jianhui Shan , Ruzhi Zhang , Mark Neisser
CPC分类号： H01L21/0276 , C08G61/02 , C08G2261/94 , C09D165/00 , G03F7/091 , G03F7/094
摘要： The present invention relates to an organic spin on hard mask antireflective coating composition comprising a polymer comprising at least one unit of fused aromatic rings in the backbone of the polymer and at least one unit with a cycloaliphatic moiety in the backbone of the polymer. The invention further relates to a process for making the polymer and a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及一种在硬掩模抗反射涂料组合物上的有机旋涂，其包含聚合物，该聚合物包含聚合物主链中的至少一个稠合芳环单元和至少一个在聚合物主链中具有脂环族部分的单元。 本发明还涉及制备聚合物的方法和用于对本发明组合物进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20060024610A1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：US10909513
申请日：2004-08-02
IPC分类号： G03C1/76
CPC分类号： G03F7/0395 , Y10S430/111
摘要： The present invention provides for a photoresist composition comprising a mixture of two different copolymers.
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公开(公告)号：US07122291B2
公开(公告)日：2006-10-17
申请号：US10909513
申请日：2004-08-02
CPC分类号： G03F7/0395 , Y10S430/111
摘要： The present invention provides for a photoresist composition comprising a mixture of two different copolymers.
摘要翻译： 本发明提供包含两种不同共聚物的混合物的光致抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：US20090280435A1
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：US12115776
申请日：2008-05-06
CPC分类号： G03F7/091
摘要： The invention relates to an antireflective coating composition comprising a polymer, a crosslinker and a thermal acid generator, where the polymer comprises at least one unit of structure (1), at least one unit of structure (2) and at least one structure of structure (3), where R1 to R9 is independently selected from H and C1-C6 alkyl, R′ and R″ is independently selected from H and C1-C6 alkyl, X is C1-C6 alkylene, Y is C1-C6 alkylene. The invention further relates to a process for imaging a photoresist coated over the antireflective coating composition.
摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物，交联剂和热酸发生剂的抗反射涂料组合物，其中聚合物包含至少一个结构单元（1），至少一个结构单元（2）和至少一个结构结构 （3），其中R 1至R 9独立地选自H和C 1 -C 6烷基，R'和R“独立地选自H和C 1 -C 6烷基，X是C 1 -C 6亚烷基，Y是C 1 -C 6亚烷基。 本发明还涉及一种用于对涂覆在抗反射涂层组合物上的光致抗蚀剂进行成像的方法。
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公开(公告)号：US20100151392A1
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：US12332501
申请日：2008-12-11
申请人： M. Dalil Rahman , Yi Yi , Douglas McKenzie , Clement Anyadiegwu , Ping-Hung Lu
发明人： M. Dalil Rahman , Yi Yi , Douglas McKenzie , Clement Anyadiegwu , Ping-Hung Lu
CPC分类号： G03F7/091 , C08G61/02 , C08G2261/342 , C08L83/04 , C09D165/00
摘要： The present invention relates to an organic spin coatable antireflective coating composition comprising a polymer, a linking component, a crosslinker, and an acid generator. The invention further relates to a process for imaging the present composition.
摘要翻译： 本发明涉及包含聚合物，连接组分，交联剂和酸产生剂的有机旋涂可涂抗反射涂料组合物。 本发明还涉及用于对本发明组合物进行成像的方法。
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