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    Piezoelectric based MEMS structure
    1.
    发明授权
    Piezoelectric based MEMS structure 有权
    压电式MEMS结构

    公开(公告)号：US09236555B2

    公开(公告)日：2016-01-12

    申请号：US13349009

    申请日：2012-01-12

    申请人： Po-Jui Chen ,  Ando Feyh ,  Gary O'Brien

    发明人： Po-Jui Chen ,  Ando Feyh ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  G01L1/16 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113

    CPC分类号： H01L41/096 ,  G01L1/16 ,  H01L41/047 ,  H01L41/094 ,  H01L41/1132 ,  Y10T29/42

    摘要： In one embodiment, a method of deforming a MEMS structure includes providing a base layer, providing a first piezoelectric slab operably connected to a surface of the base layer, determining a desired deformation of the base layer, applying a first potential to a first electrode operably connected to the first piezoelectric slab, applying a second potential to a second electrode operably connected to the first piezoelectric slab, and deforming the base layer with the first piezoelectric slab using the applied first potential and the applied second potential based upon the determined desired deformation.

    摘要翻译： 在一个实施例中，使MEMS结构变形的方法包括提供基底层，提供可操作地连接到基底层的表面的第一压电片，确定基底层的期望变形，将第一电位可操作地施加到第一电极 连接到所述第一压电板，将第二电位施加到可操作地连接到所述第一压电板的第二电极，以及基于所确定的期望变形，使用所施加的第一电位和所施加的第二电位，使所述基层与所述第一压电板发生变形。

    Piezoelectric Based MEMS Structure
    2.
    发明申请
    Piezoelectric Based MEMS Structure 有权
    基于压电的MEMS结构

    公开(公告)号：US20130181575A1

    公开(公告)日：2013-07-18

    申请号：US13349009

    申请日：2012-01-12

    申请人： Po-Jui Chen ,  Ando Feyh ,  Gary O'Brien

    发明人： Po-Jui Chen ,  Ando Feyh ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/22 ,  H01L41/02

    CPC分类号： H01L41/096 ,  G01L1/16 ,  H01L41/047 ,  H01L41/094 ,  H01L41/1132 ,  Y10T29/42

    摘要： In one embodiment, a method of deforming a MEMS structure includes providing a base layer, providing a first piezoelectric slab operably connected to a surface of the base layer, determining a desired deformation of the base layer, applying a first potential to a first electrode operably connected to the first piezoelectric slab, applying a second potential to a second electrode operably connected to the first piezoelectric slab, and deforming the base layer with the first piezoelectric slab using the applied first potential and the applied second potential based upon the determined desired deformation.

    摘要翻译： 在一个实施例中，使MEMS结构变形的方法包括提供基底层，提供可操作地连接到基底层的表面的第一压电片，确定基底层的期望变形，将第一电位可操作地施加到第一电极 连接到所述第一压电板，将第二电位施加到可操作地连接到所述第一压电板的第二电极，以及基于所确定的期望变形，使用所施加的第一电位和所施加的第二电位，使所述基层与所述第一压电板发生变形。

    MEMS with single use valve and method of operation
    3.
    发明授权
    MEMS with single use valve and method of operation 有权
    MEMS单用阀和操作方法

    公开(公告)号：US08779533B2

    公开(公告)日：2014-07-15

    申请号：US13180954

    申请日：2011-07-12

    申请人： Ando Feyh ,  Po-Jui Chen

    发明人： Ando Feyh ,  Po-Jui Chen

    IPC分类号： H01L29/84

    CPC分类号： F16K99/003 ,  F16K99/0044

    摘要： In one embodiment, a method of opening a passageway to a cavity includes providing a donor portion, forming a heating element adjacent to the donor portion, forming a first sacrificial slab abutting the donor portion, wherein the donor portion and the sacrificial slab are a shrinkable pair, forming a first cavity, a portion of the first cavity bounded by the first sacrificial slab, generating heat with the heating element, forming a first reduced volume slab from the first sacrificial slab using the generated heat and the donor portion, and forming a passageway to the first cavity by forming the first reduced volume slab.

    摘要翻译： 在一个实施例中，将通道打开到空腔的方法包括提供供体部分，形成邻近供体部分的加热元件，形成邻接供体部分的第一牺牲板，其中供体部分和牺牲板是可收缩的 形成第一空腔，由第一牺牲板限定的第一空腔的一部分，用加热元件产生热量，使用产生的热量和供体部分从第一牺牲板形成第一减小体积的板坯，并形成 通过形成第一减小体积的板坯到第一空腔的通道。

    MEMS WITH SINGLE USE VALVE AND METHOD OF OPERATION
    6.
    发明申请
    MEMS WITH SINGLE USE VALVE AND METHOD OF OPERATION 有权
    具有单个阀门的MEMS和操作方法

    公开(公告)号：US20130015536A1

    公开(公告)日：2013-01-17

    申请号：US13180954

    申请日：2011-07-12

    申请人： Ando Feyh ,  Po-Jui Chen

    发明人： Ando Feyh ,  Po-Jui Chen

    IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/283

    CPC分类号： F16K99/003 ,  F16K99/0044

    摘要： In one embodiment, a method of opening a passageway to a cavity includes providing a donor portion, forming a heating element adjacent to the donor portion, forming a first sacrificial slab abutting the donor portion, wherein the donor portion and the sacrificial slab are a shrinkable pair, forming a first cavity, a portion of the first cavity bounded by the first sacrificial slab, generating heat with the heating element, forming a first reduced volume slab from the first sacrificial slab using the generated heat and the donor portion, and forming a passageway to the first cavity by forming the first reduced volume slab.

    摘要翻译： 在一个实施例中，将通道打开到空腔的方法包括提供供体部分，形成邻近供体部分的加热元件，形成邻接供体部分的第一牺牲板，其中供体部分和牺牲板是可收缩的 形成第一空腔，由第一牺牲板限定的第一空腔的一部分，用加热元件产生热量，使用产生的热量和供体部分从第一牺牲板形成第一减小体积的板坯，并形成 通过形成第一减小体积的板坯到第一空腔的通道。