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    Multiple current charged particle methods
    7.
    发明授权
    Multiple current charged particle methods 有权
    多电流带电粒子方法

    公开(公告)号：US08227753B2

    公开(公告)日：2012-07-24

    申请号：US12493702

    申请日：2009-06-29

    申请人： John A. Notte, IV ,  Billy W. Ward

    发明人： John A. Notte, IV ,  Billy W. Ward

    IPC分类号： G01N23/00 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31749

    摘要： Charged particle beams with different charged particle currents are disclosed. In some embodiments, a method includes exposing a sample to a first ion beam having a first ion current at the sample, and exposing the sample to a second ion beam having a second ion current at the sample, where the first ion current is at least two times greater than the second ion current. In certain embodiments, a method includes creating a first ion beam at a first pressure, exposing a sample to the first ion beam, creating a second ion beam at a second pressure, and exposing the sample to the second ion beam, where the first pressure is at least two times greater than the second pressure.

    摘要翻译： 公开了具有不同带电粒子电流的带电粒子束。 在一些实施例中，一种方法包括将样品暴露于在样品处具有第一离子电流的第一离子束，并将样品暴露于在样品处具有第二离子电流的第二离子束，其中第一离子电流至少为 比第二离子电流大两倍。 在某些实施例中，一种方法包括在第一压力下产生第一离子束，将样品暴露于第一离子束，在第二压力下产生第二离子束，并将样品暴露于第二离子束，其中第一压力 是比第二压力大至少两倍。