公开(公告)号：US20050109627A1

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：US10962236

申请日：2004-10-08

申请人： Zhi-Wen Sun ,  Hooman Hafezi ,  Chunman Yu ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

发明人： Zhi-Wen Sun ,  Hooman Hafezi ,  Chunman Yu ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

IPC分类号： C25D3/38 ,  C25D5/02 ,  C25D5/10 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L21/76843 ,  C25D3/38 ,  C25D5/10 ,  C25D7/123 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76868 ,  H01L21/76873 ,  H01L2221/1089

摘要： A method for electrolytically repairing a copper seed layer. The method includes positioning the seed layer in fluid communication with a low conductivity seed layer repair solution, wherein the low conductivity seed layer repair solution includes a copper concentration of less than about 20 g/l, a pH of less than about 4, a chlorine ion concentration of between about 20 ppm and about 100 ppm, and an additive organic surfactant configured to suppress a copper deposition rate in the concentration range of 200 ppm to 2000 ppm. The method further includes applying a seed layer repair bias configured to generate a current density of less than about 5 mA/cm2 across the seed layer and cleaning the repaired seed layer in pure water containing less than 1 ppm chloride ions.

摘要翻译： 一种用于电解修复铜籽晶层的方法。 该方法包括将种子层定位成与低电导种子层修复溶液流体连通，其中低电导种子层修复溶液包括小于约20g / l的铜浓度，小于约4的pH，氯 约20ppm至约100ppm的离子浓度，以及配置为在200ppm至2000ppm的浓度范围内抑制铜沉积速率的添加剂有机表面活性剂。 该方法还包括施加晶种层修复偏压，其被配置成跨越种子层产生小于约5mA / cm 2的电流密度，并且在含有小于1ppm的纯水中清洁修复的种子层 氯离子。

公开(公告)号：US20070052104A1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：US11404058

申请日：2006-04-13

申请人： Michael Yang ,  Aron Rosenfeld ,  Hooman Hafezi ,  Zhi-Wen Sun ,  John Dukovic

发明人： Michael Yang ,  Aron Rosenfeld ,  Hooman Hafezi ,  Zhi-Wen Sun ,  John Dukovic

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/76855 ,  H01L21/76873 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Generally, the process includes depositing a barrier layer and seed layer on a feature formed in a dielectric layer, performing a grafting process, initiating a copper layer and then filing the feature by use of a bulk copper fill process. Copper features formed according to aspects described herein have desirable adhesion properties to a barrier and seed layers formed on a semiconductor substrate and demonstrate enhanced electromigration and stress migration results in the fabricated devices formed on the substrate.

摘要翻译： 通常，该方法包括在形成在电介质层中的特征上沉积阻挡层和种子层，执行接枝过程，引发铜层，然后通过使用大量铜填充工艺来填充该特征。 根据本文描述的方面形成的铜特征对于形成在半导体衬底上的阻挡层和种子层具有期望的粘合性能，并且证明增强的电迁移和应力迁移导致形成在衬底上的制造器件。

公开(公告)号：US07504335B2

公开(公告)日：2009-03-17

申请号：US11404058

申请日：2006-04-13

申请人： Michael Yang ,  Aron Rosenfeld ,  Hooman Hafezi ,  Zhi-Wen Sun ,  John Dukovic

发明人： Michael Yang ,  Aron Rosenfeld ,  Hooman Hafezi ,  Zhi-Wen Sun ,  John Dukovic

IPC分类号： H01L21/44

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/76855 ,  H01L21/76873 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Generally, the process includes depositing a barrier layer and seed layer on a feature formed in a dielectric layer, performing a grafting process, initiating a copper layer and then filing the feature by use of a bulk copper fill process. Copper features formed according to aspects described herein have desirable adhesion properties to a barrier and seed layers formed on a semiconductor substrate and demonstrate enhanced electromigration and stress migration results in the fabricated devices formed on the substrate.

摘要翻译： 通常，该方法包括在形成在电介质层中的特征上沉积阻挡层和种子层，执行接枝过程，引发铜层，然后通过使用大量铜填充工艺来填充该特征。 根据本文描述的方面形成的铜特征对于形成在半导体衬底上的阻挡层和种子层具有期望的粘附性能，并且证明增强的电迁移和应力迁移导致形成在衬底上的制造器件。

公开(公告)号：US20060269658A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：US11403566

申请日：2006-04-13

申请人： Hooman Hafezi ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

发明人： Hooman Hafezi ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

IPC分类号： H05K3/00

CPC分类号： H01L21/76868 ,  H01L21/288 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76873

摘要： Generally, the process includes depositing a barrier layer on a feature formed in a dielectric layer, decorating the barrier layer with a metal, performing a grafting process, initiating a copper layer and then filing the feature by use of a bulk copper fill process. Copper features formed according to aspects described herein have desirable adhesion properties to a barrier layer formed on a semiconductor substrate and demonstrate enhanced electromigration and stress migration results in the fabricated devices formed on the substrate.

摘要翻译： 通常，该方法包括在形成在电介质层中的特征上沉积阻挡层，用金属装饰阻挡层，进行接枝过程，引发铜层，然后通过使用大块铜填充工艺来填充该特征。 根据本文描述的方面形成的铜特征对于形成在半导体衬底上的阻挡层具有期望的粘合性能，并且证明在形成在衬底上的制造器件中增强的电迁移和应力迁移。

公开(公告)号：US20050006245A1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：US10616097

申请日：2003-07-08

申请人： Zhi-Wen Sun ,  Renren He ,  You Wang ,  Michael Yang

发明人： Zhi-Wen Sun ,  Renren He ,  You Wang ,  Michael Yang

IPC分类号： C25D3/38 ,  C25D5/10 ,  C25D7/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768 ,  C25D5/02

CPC分类号： H01L21/76864 ,  C25D3/38 ,  C25D5/10 ,  C25D7/123 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76868 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76877

摘要： Embodiments of the invention teach a method for depositing a copper seed layer to a substrate surface, generally to a barrier layer. The method includes placing the substrate surface into a copper solution, wherein the copper solution includes complexed copper ions. A current or bias is applied across the substrate surface and the complexed copper ions are reduced to deposit the copper seed layer onto the barrier layer.

摘要翻译： 本发明的实施方案教导了一种将铜籽晶层沉积到基底表面的方法，通常为阻挡层。 该方法包括将基板表面放置在铜溶液中，其中铜溶液包括络合的铜离子。 在衬底表面上施加电流或偏压，还原络合的铜离子以将铜籽晶层沉积到阻挡层上。

公开(公告)号：US20070170066A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：US11620436

申请日：2007-01-05

申请人： CHRISTOPHER BEAUDRY ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

发明人： CHRISTOPHER BEAUDRY ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang

IPC分类号： C25D5/20 ,  C25B9/00 ,  C25D17/00 ,  C25D3/38

CPC分类号： C25D5/20 ,  C25D3/38 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76877

摘要： A method and apparatus are provided for plating metal onto a substrate. The method generally includes applying a plating solution comprising at least a leveler to a substrate; substantially filling features in the substrate by plating metal ions from the plating solution onto the substrate, and applying sonic energy to the plating solution across a surface of the substrate prior to completely filling the features.

摘要翻译： 提供了一种用于将金属电镀到基底上的方法和装置。 该方法通常包括将至少包含矫直机的电镀溶液施加到基底上; 通过将电镀溶液中的金属离子镀到衬底上，基本上填充衬底中的特征，并且在完全填充特征之前，通过衬底的表面将电声溶液施加到镀液上。

公开(公告)号：US20070181441A1

公开(公告)日：2007-08-09

申请号：US11462640

申请日：2006-08-04

申请人： Nicolay Kovarsky ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang ,  Ivan Rodriguez

发明人： Nicolay Kovarsky ,  Aron Rosenfeld ,  Michael Yang ,  Ivan Rodriguez

IPC分类号： C25F3/04 ,  C25F7/00

CPC分类号： C25D7/123 ,  C25D17/002 ,  C25D21/02 ,  C25F3/02

摘要： The present invention generally includes deposition and electropolishing methods and an apparatus comprising an electroplating cell and auxiliary cell. In one embodiment for electropolishing a substrate, a cycle is performed in which the substrate is alternately placed in an anolyte solution to remove material and a catholyte solution to deposit material. As the cycle is repeated successively, an exposed layer disposed on the substrate is planarized. In another embodiment, an auxiliary cell may be used to deposit the ultrathin seed layer prior to electroplating.

摘要翻译： 本发明通常包括沉积和电解抛光方法以及包括电镀槽和辅助电池的装置。 在电抛光衬底的一个实施例中，执行循环，其中将衬底交替放置在阳极电解液中以除去材料和阴极电解液以沉积材料。 随着连续重复循环，平面化设置在基板上的曝光层。 在另一个实施例中，可以使用辅助电池在电镀之前沉积超薄种子层。

公开(公告)号：US09214144B1

公开(公告)日：2015-12-15

申请号：US13950276

申请日：2013-07-24

申请人： Michael Yang

发明人： Michael Yang

IPC分类号： G10H1/36 ,  G10H1/08

CPC分类号： G10H1/08 ,  G10H1/46 ,  G10H7/008 ,  G10H2210/381 ,  G10H2210/385 ,  G10H2220/086 ,  G10H2250/035

摘要： A system and method are provided for mixing song data based on measure groupings. A player or program may recognize measure groupings in a song through identifying cuepoints. The player or program may use the cuepoints and/or other identifiers of measure groupings to generate a transition between the song and other songs. Parts of one or both songs may be time-stretched, or frames may be added or deleted, such that the beats in both songs are substantially aligned during the transition. The system and method may also involve altering the sequence of frames in one or both of the songs, so that the transition may have various sonic qualities as desired by a user. A choice of transition modes may be provided via a user interface that allow the user some control over when and how transitions between songs are executed.

摘要翻译： 提供了一种基于测量分组来混合歌曲数据的系统和方法。 播放器或程序可以通过识别曲线来识别歌曲中的测量分组。 播放器或程序可以使用度量分组的点和/或其他标识符来产生歌曲和其他歌曲之间的转换。 一首或两首歌曲的部分可能是时间延长的，或者可以添加或删除帧，使得两首歌曲中的节拍在转换期间基本对准。 系统和方法还可以涉及改变一个或两个歌曲中的帧序列，使得转换可以具有如用户所期望的各种声音质量。 转换模式的选择可以通过用户界面来提供，其允许用户对歌曲之间的转换何时以及如何进行控制。

公开(公告)号：US09111519B1

公开(公告)日：2015-08-18

申请号：US13282432

申请日：2011-10-26

申请人： Michael Yang ,  Neel U. Sukhatme

发明人： Michael Yang ,  Neel U. Sukhatme

IPC分类号： G10H1/36 ,  G10H7/00 ,  G10H1/40

CPC分类号： G10H1/40 ,  G10H2210/385 ,  G10H2220/126 ,  G10H2240/325 ,  G11B27/038 ,  G11B27/322

摘要： A system and method are provided for generating cuepoints for mixing song data. One or more people may listen to a song and identify measure groupings within the song. The one or more people might generate markings corresponding to these measure groupings and submit the markings to a cuepoint generation system. The markings may then be reconciled into cuepoints that may be used for mixing the song with other song data. In some embodiments, the cuepoints may be adjusted based on characteristics of the particular songs that are to be mixed together.

摘要翻译： 提供了一种用于产生用于混合歌曲数据的点的系统和方法。 一个或多个人可以听歌曲，并在歌曲中识别测量组。 一个或多个人可能产生与这些度量分组相对应的标记，并将标记提交给一个生成系统。 然后可以将标记调整成可用于将歌曲与其他歌曲数据混合的连接点。 在一些实施例中，可以基于要混合在一起的特定歌曲的特征来调整节点。

公开(公告)号：US09002478B1

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：US13036821

申请日：2011-02-28

申请人： Michael Yang ,  Wenbo Hou ,  Sheldon Williams

发明人： Michael Yang ,  Wenbo Hou ,  Sheldon Williams

IPC分类号： A61N1/00 ,  A61N1/05

CPC分类号： A61N1/0587

摘要： An epicardial lead is passively fixed in a pericardial space by a passive fixation member. The passive fixation member extends from a distal portion of an epicardial lead and acts against a pericardial layer and an epicardial layer to hold the lead in place. The epicardial lead may include an electrode that is connected to a conductor that extends from a distal portion of the lead. In some embodiments the epicardial lead includes a material that promotes fibrosis to fix the lead to heart tissue. The passive fixation member may include a shocking coil.

摘要翻译： 心外膜由被动固定构件被动地固定在心包空间中。 被动固定构件从心外膜引导件的远端部分延伸并作用于心包层和心外膜层以将引线保持在适当位置。 心外膜引线可以包括连接到从引线的远端部分延伸的导体的电极。 在一些实施方案中，心外膜引线包括促进纤维化以将引线固定到心脏组织的材料。 被动固定构件可包括震动线圈。