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    Etching method and apparatus
    1.
    发明申请
    Etching method and apparatus 失效
    蚀刻方法和装置

    公开(公告)号：US20010010306A1

    公开(公告)日：2001-08-02

    申请号：US09771549

    申请日：2001-01-30

    发明人： Kiyoyuki Morita

    IPC分类号： B44C001/22 ,  C23F001/00

    CPC分类号： C04B41/009 ,  C04B41/5338 ,  C04B41/91 ,  C04B2111/00844 ,  H01L21/31111 ,  C04B35/565

    摘要： A subcritical or supercritical water is used to selectively etch a silicon nitride film against a silicon dioxide film or to selectively etch a silicon dioxide film against a crystalline silicon region. This method is applicable to a process of forming a MISFET or a charge emitting device.

    摘要翻译： 亚临界或超临界水用于选择性地将氮化硅膜蚀刻到二氧化硅膜上或者选择性地将二氧化硅膜蚀刻在晶体硅区域上。 该方法适用于形成MISFET或电荷发射器件的工艺。

    Multiple level mask for patterning of ceramic materials
    2.
    发明授权
    Multiple level mask for patterning of ceramic materials 失效
    用于陶瓷材料图案化的多层面罩

    公开(公告)号：US5587090A

    公开(公告)日：1996-12-24

    申请号：US222146

    申请日：1994-04-04

    申请人： James F. Belcher ,  Steven N. Frank ,  John P. Long ,  Jeanee Jones

    发明人： James F. Belcher ,  Steven N. Frank ,  John P. Long ,  Jeanee Jones

    IPC分类号： G01J1/02 ,  B32B18/00 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H01L37/02 ,  B44C1/22 ,  C03C15/00

    CPC分类号： C04B41/009 ,  C04B41/5338 ,  C04B41/91 ,  H01L27/1465 ,  H01L37/02 ,  C04B2111/00844 ,  Y10S438/951

    摘要： A novel multiple level mask (e.g. tri-level mask 36) process for masking achieves a desired thick mask with substantially vertical walls and thus improves the ion milling process of ceramic materials (e.g. BST). An embodiment of the present invention is a microelectronic structure comprising a ceramic substrate, an ion mill mask layer (e.g. photoresist 42) overlaying the substrate, a dry-etch-selective mask layer (e.g. TiW 40) overlaying the ion mill mask layer, the dry-etch-selective mask layer comprising a different material than the ion mill mask layer, a top photosensitive layer (38) overlaying the dry-etch-selective mask layer, the top photosensitive layer comprising a different material than the dry-etch-selective mask layer, and a predetermined pattern formed in the top photosensitive layer, the dry-etch-selective mask layer and the ion mill mask layer. The predetermined pattern has substantially vertical walls in the ion mill mask layer.

    摘要翻译： 用于掩蔽的新型多层掩模（例如三层掩模36）工艺实现了具有基本垂直壁的期望的厚掩模，因此改进了陶瓷材料（例如BST）的离子研磨过程。 本发明的实施例是一种微电子结构，其包括陶瓷衬底，覆盖衬底的离子磨掩模层（例如光致抗蚀剂42），覆盖离子磨掩模层的干蚀刻选择性掩模层（例如TiW 40）， 干蚀刻选择性掩模层，其包括与离子磨掩模层不同的材料，覆盖干蚀刻选择性掩模层的顶部光敏层（38），顶部光敏层包含与干蚀刻选择性不同的材料 掩模层和形成在顶部感光层中的预定图案，干蚀刻选择性掩模层和离子磨掩模层。 该预定图案在离子磨掩模层中具有基本垂直的壁。

    Dental compositions, fired dental porcelains and processes for making and using same
    3.
    发明授权
    Dental compositions, fired dental porcelains and processes for making and using same 失效
    牙科组合物，烧制牙科瓷器及其制造和使用方法

    公开(公告)号：US4604059A

    公开(公告)日：1986-08-05

    申请号：US688746

    申请日：1985-01-04

    申请人： Irving Klaus ,  Warren Herbstman ,  Jairo Lopez

    发明人： Irving Klaus ,  Warren Herbstman ,  Jairo Lopez

    IPC分类号： A61K6/06 ,  C04B33/24 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  A61C5/00

    CPC分类号： C04B41/009 ,  A61K6/0008 ,  A61K6/0094 ,  A61K6/0215 ,  A61K6/024 ,  C04B33/24 ,  C04B41/5338 ,  C04B41/91

    摘要： A composition for making a fired dental porcelain is disclosed which composition comprises a powder dental porcelain frit material and a second material. The second material is selectively etchable from a fired dental porcelain prepared from the composition and the second material can, upon such firing of the composition, maintain a separate phase so that, when the composition is formed into a fired dental porcelain having a dental porcelain surface to be bonded to a dental substrate and the dental porcelain surface is etched to remove second material therefrom, the porosity and surface area of the dental porcelain surface will be increased to provide enhanced bonding of the dental porcelain surface to the dental substrate. Also disclosed are fired dental porcelains prepared therefrom and methods of making and using same.

    摘要翻译： 公开了一种用于制造烧制牙科陶瓷的组合物，其组成包括粉末牙科陶瓷料玻璃料和第二种材料。 第二种材料可以从由组合物制备的烧制牙科瓷器中选择性地蚀刻，并且第二种材料可以在组合物烧制时保持分开的相位，使得当组合物形成具有牙瓷表面的烧制牙科瓷器时 要粘合到牙科基底上，蚀刻牙瓷表面以从其中除去第二种材料，增加牙瓷表面的孔隙率和表面积，以提供牙科瓷表面与牙科基底的增强粘合。 还公开了由其制备的烧制牙科瓷器及其制备和使用方法。

    Article identification method
    7.
    发明授权
    Article identification method 失效
    物品识别方法

    公开(公告)号：US4316766A

    公开(公告)日：1982-02-23

    申请号：US127137

    申请日：1980-03-04

    申请人： Julian Levin ,  Arnold Franks

    发明人： Julian Levin ,  Arnold Franks

    IPC分类号： B41M1/12 ,  C03C15/02 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  B44C1/22 ,  C03C15/00 ,  C03C25/06

    CPC分类号： C04B41/009 ,  B41M1/12 ,  C03C15/02 ,  C04B41/5338 ,  C04B41/91 ,  Y10T428/24273

    摘要： A method of defining an identification marking on an article comprising the location, on a surface of the article in a required area, of a stencil defining a required identification marking; the stencil preferably being temporarily adhered to the surface by means of glue or adhesive, applying to the stencil to contact the surface through the identification marking defined by the stencil, an active substance which is corrosive to, or a solvent of, the material defining said surface of the article; allowing such contact between the active substance and surface to persist for a selected length of time; and thereafter removing the stencil and active substance adhered thereto from the article and cleaning the surface.

    摘要翻译： 一种在物品上定义识别标记的方法，包括在所需区域中的物品的表面上定义所需识别标记的模板的位置; 模板优选通过胶水或粘合剂临时粘附到表面上，施加到模板上以通过由模板所定义的识别标记接触表面，腐蚀或限定所述材料的材料的腐蚀性或溶剂的活性物质 物品表面; 允许活性物质和表面之间的这种接触持续一段选定的时间; 然后从制品上除去附着在其上的蜡纸和活性物质并清洁表面。

    Laminate concrete panel
    8.
    发明授权
    Laminate concrete panel 失效
    层压混凝土板

    公开(公告)号：US07051483B2

    公开(公告)日：2006-05-30

    申请号：US10445281

    申请日：2003-05-23

    申请人： Guy Bamford

    发明人： Guy Bamford

    IPC分类号： E04B1/18

    CPC分类号： C04B41/009 ,  A47B77/022 ,  B28B1/16 ,  B28B11/04 ,  B28B11/08 ,  B32B13/04 ,  B32B13/12 ,  C04B28/04 ,  C04B41/4884 ,  C04B41/63 ,  C04B2111/00413 ,  C04B2111/00612 ,  C04B2111/00965 ,  Y02W30/94 ,  C04B14/42 ,  C04B18/146 ,  C04B24/2676 ,  C04B41/5079 ,  C04B2103/54 ,  C04B24/2641 ,  C04B41/53 ,  C04B41/5338 ,  C04B2103/302 ,  C04B2103/67 ,  C04B2103/60 ,  C04B28/02

    摘要： A concrete laminate panel (1) comprising a sealant layer (2), a first layer of concrete (4), a second layer of concrete (6), and a backing board (8). The sealant layer (2) is a transparent, wear-resistant material, such as a urethane material. The sealant layer (2) provides a waterproof and alcohol-resistant layer with excellent wear properties, both in a dry and a wet condition, plus an ultraviolet filter to prevent yellowing. A two-stage, two-part polyurethane material comprises these properties, and we have found this material to be particularly useful as a sealant layer. The transparent nature of the sealant layer (2) allows the uppermost surface of the first layer of concrete (4) to be viewed therethrough. The urethane material contains an anti-microbial additive that will inhibit the growth of bacteria, fungi, molds, mildew, and algae. The first layer of concrete (4) provides a viewable thin, hardened, and decorative surface. The first layer of concrete (4) is wet bonded and cross-cured to the second layer of concrete (6). The second layer of concrete (6) comprises a fiber-reinforced concrete material and provides improved tensile strength for the laminate concrete panel (1). The backing board (8) may be any suitable fibrous board, such as MDF. The backing board (8) is bonded to the second layer of concrete (6).

    摘要翻译： 一种混凝土层压板（1），包括密封层（2），第一混凝土层（4），第二混凝土层（6）和背板（8）。 密封剂层（2）是透明的耐磨材料，例如聚氨酯材料。 密封剂层（2）在干燥和潮湿的条件下提供具有优异的耐磨性能的防水和耐醇层，以及紫外线过滤器以防黄变。 两阶段的两部分聚氨酯材料包括这些性质，并且我们发现这种材料作为密封剂层特别有用。 密封剂层（2）的透明性允许通过其观察第一层混凝土（4）的最上表面。 聚氨酯材料含有可抑制细菌，真菌，霉菌，霉菌和藻类生长的抗微生物添加剂。 第一层混凝土（4）提供了可见的薄，硬化和装饰性表面。 第一层混凝土（4）被湿粘结并交叉固化到第二层混凝土（6）。 第二层混凝土（6）包括纤维增强混凝土材料，并为层压混凝土板（1）提供改进的拉伸强度。 背板（8）可以是任何合适的纤维板，例如MDF。 背衬板（8）结合到第二层混凝土（6）上。

    Low temperature susceptor cleaning
    9.
    发明申请
    Low temperature susceptor cleaning 审中-公开
    低温感受器清洁

    公开(公告)号：US20060065634A1

    公开(公告)日：2006-03-30

    申请号：US11228460

    申请日：2005-09-16

    申请人： Jannes Van Den Berg

    发明人： Jannes Van Den Berg

    IPC分类号： C03C15/00

    CPC分类号： C04B41/87 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5059 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  C23C16/325 ,  C23C16/4581 ,  C23C16/56 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/0072 ,  C04B41/5338 ,  C04B35/565

    摘要： The surface of a susceptor for supporting a substrate during semiconductor processing is sandblasted and/or treated with a chemical etch in a low temperature cleaning treatment. The cleaning treatment can be performed after grinding the susceptor to the desired dimensions and smoothness during the manufacture of the susceptor. The sandblasting or chemical etch removes contaminants remaining after the grinding. As a result, these contaminants are no longer able to contaminate substrates that are later processed on the susceptor. In addition, a silicon carbide finish film can be deposited on the susceptor to form a surface with a desired roughness and to act as a diffusion barrier to prevent impurities in the susceptor from diffusing out and contaminating substrates supported on the susceptors.

    摘要翻译： 用于在半导体处理期间支撑衬底的基座的表面在低温清洁处理中用化学蚀刻喷砂和/或处理。 在基座的制造过程中，可以在将基座磨削至期望的尺寸和平滑度之后执行清洁处理。 喷砂或化学蚀刻去除研磨后残留的污染物。 结果，这些污染物不再能够污染后续在基座处理的基底。 此外，碳化硅精加工膜可以沉积在基座上以形成具有所需粗糙度的表面，并且用作扩散阻挡层，以防止基座中的杂质扩散并污染支撑在基座上的基板。