LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE
    2.
    发明申请
    LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE 审中-公开
    用于装载基板的平面设备和方法

    公开(公告)号:WO2016198255A1

    公开(公告)日:2016-12-15

    申请号:PCT/EP2016/061587

    申请日:2016-05-23

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: A lithographic apparatus comprises a support table and a gas extraction system. The gas extraction system is configured to extract gas from a gap between the base surface of the support table and a substrate through at least one gas extraction opening when the substrate is being lowered onto the support table. The lithographic apparatus is configured such that gas is extracted from the gap at a first loading flow rate when the distance between the substrate and the support plane is greater than a threshold distance and gas is extracted from the gap at a second loading flow rate when the distance between the substrate and the support plane is less than the threshold distance, wherein the second loading flow rate is lower than the first loading flow rate.

    摘要翻译: 光刻设备包括支撑台和气体提取系统。 气体提取系统构造成当衬底被降低到支撑台上时,通过至少一个气体提取开口从支撑台的基底表面和基底之间的间隙中提取气体。 光刻设备被构造成使得当基板和支撑平面之间的距离大于阈值距离时,以第一负载流速从间隙中提取气体,并且当第二负载流速从气隙中抽出气体时 衬底与支撑面之间的距离小于阈值距离,其中第二负载流速低于第一负载流量。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON ABGASEN
    5.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON ABGASEN 审中-公开
    方法和装置废气清理

    公开(公告)号:WO2014117934A1

    公开(公告)日:2014-08-07

    申请号:PCT/EP2014/000237

    申请日:2014-01-29

    摘要: Zur Reinigung von Abgas, das Stickoxide in Kombination mit CO, VOCs oder Lachgas enthält, insbesondere von bei der Zementklinker-, Salpetersäure-, Adipinsäure-, Düngemittel- oder Urantrioxidherstellung anfallendem Abgas, wird eine regenerative thermische Nachverbrennungsanlage mit wenigstens zwei Regeneratoren (A, B) verwendet, mit der bei einer Temperatur von 800 - 1000°C in der Brennkammer (1) das CO, die VOCs und das Lachgas thermisch abgereinigt sowie die Stickoxide mittels SCR-Katalysator (6) unter Zuführung einer Stickstoffwasserstoffverbindung thermisch reduziert werden, wobei das bereits thermisch gereinigte Abgas an geeigneter Stelle bei ca. 300°C dem jeweiligen zweigeteilten Regenerator (A oder B) entnommen wird, in konstanter Strömungsrichtung über den SCR-Katalysator (6) geführt und anschließend dem verbleibenden Abschnitt (Α', Β') des Regenerators (A oder B) wieder zugeführt wird.

    摘要翻译: 为水泥熟料,硝酸,己二酸,肥料或Urantrioxidherstellung废气中净化废气含有氮氧化物,在与CO,VOC的或一氧化二氮的组合,特别是所引起,是蓄热式热后燃烧系统具有至少两个再生器(A,B )被使用时,在800的温度下 - (1000℃在燃烧室1)CO,挥发性有机化合物,和一氧化二氮的热清洗,并且通过SCR催化剂中的氮氧化物(6)被热通过供给氮 - 氢化合物,其中所述还原 已经在约300°C(A或B)的热净化的废气到相应的两个划分的再生器在以恒定的流动方向通过SCR催化剂(6),然后取出(阿尔法的剩余部分“β”中的合适点 )再生器(A或B)的再次供给。