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    METHOD FOR PRODUCING MECHANICAL STOPS FOR SELF-ALIGNMENT AND DEVICE COMPRISING STOPS FOR SELF-ALIGNMENT
    2.
    发明申请
    METHOD FOR PRODUCING MECHANICAL STOPS FOR SELF-ALIGNMENT AND DEVICE COMPRISING STOPS FOR SELF-ALIGNMENT 审中-公开
    工艺制作影片的自我调整和设备机械侵蚀与攻击的自我调整

    公开(公告)号：WO2011138057A3

    公开(公告)日：2012-01-05

    申请号：PCT/EP2011002383

    申请日：2011-05-05

    申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG ,  UNIV BERLIN TECH ,  OPPERMANN HERMANN ,  JORDAN RAFAEL ,  GLAW VERONIKA ,  MUKHOPADHYAY BISWAJIT

    发明人： OPPERMANN HERMANN ,  JORDAN RAFAEL ,  GLAW VERONIKA ,  MUKHOPADHYAY BISWAJIT

    IPC分类号： B81C3/00 ,  G02B6/42

    CPC分类号： B81C3/005 ,  B81B2201/047 ,  B81C2203/054 ,  B81C2203/055 ,  G02B6/423 ,  G02B6/4232

    摘要： The present invention relates to a method for producing mechanical stops for self-alignment, and to a device comprising stops for self-alignment. The method comprises dry etching and anisotropic etching of a first substrate (1) in order to produce at least one horizontal stop (8) and at least one vertical stop (4). At least one contact (3) composed of fusible material is deposited on the structured first substrate (1) and remelted. A second substrate (2) having at least one second contact composed of a material that can be connected to the fusible material of the first contact (3) is positioned on the first contact. Self-alignment of the two substrates (1, 2) subsequently takes place by virtue of the at least one remelted contact (3) being established in such a way that the interface energy is minimized.

    摘要翻译： 本发明涉及用于生产机械止动件的用于自调整和自调节与停止的装置的过程。 该方法包括干蚀刻和第一基片（1），用于产生至少一个水平止动（8）和至少一个垂直止动件（4）的各向异性刻蚀。 在图案化的第一基板（1），至少一个接触件（3）可熔材料的沉积和熔化。 的第二基板（2）可连接到与第一接触（3）材料的可熔材料的至少一个第二接触放置在第一接触。 然后查找两个衬底的自调整（1,2），而不是一个事实，即所述至少一个重熔接触（3）被调节，使得表面能量被最小化。

    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MECHANISCHEN ANSCHLÄGEN ZUR SELBSTJUSTAGE UND VORRICHTUNG MIT ANSCHLÄGEN ZUR SELBSTJUSTAGE
    3.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MECHANISCHEN ANSCHLÄGEN ZUR SELBSTJUSTAGE UND VORRICHTUNG MIT ANSCHLÄGEN ZUR SELBSTJUSTAGE 审中-公开
    工艺制作影片的自我调整和设备机械侵蚀与攻击的自我调整

    公开(公告)号：WO2011138057A2

    公开(公告)日：2011-11-10

    申请号：PCT/EP2011/002383

    申请日：2011-05-05

    申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  TECHNISCHE UNIVERSITÄT BERLIN ,  OPPERMANN, Hermann ,  JORDAN, Rafael ,  GLAW, Veronika ,  MUKHOPADHYAY, Biswajit

    发明人： OPPERMANN, Hermann ,  JORDAN, Rafael ,  GLAW, Veronika ,  MUKHOPADHYAY, Biswajit

    IPC分类号： B81C3/00

    CPC分类号： B81C3/005 ,  B81B2201/047 ,  B81C2203/054 ,  B81C2203/055 ,  G02B6/423 ,  G02B6/4232

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von mechanischen Anschlägen zur Selbstjustage und eine Vorrichtung mit Anschlägen zur Selbstjustage. Das Verfahren umfasst Trockenätzen und anisotropes Ätzen eines ersten Substrats (1) zur Herstellung von mindestens einem horizontalen Anschlag (8) und mindestens einem vertikalen Anschlag (4). Auf dem strukturierten ersten Substrat (1) wird mindestens ein Kontakt (3) aus schmelzbarem Material abgeschieden und umgeschmolzen. Ein zweites Substrat (2) mit mindestens einem zweiten Kontakt aus einem mit dem schmelzbaren Material des ersten Kontakts (3) verbindbaren Material wird auf dem ersten Kontakt platziert. Anschließend findet eine Selbstjustage der beiden Substrate (1, 2) dadurch statt, dass sich der mindestens eine umgeschmolzene Kontakt (3) derart einstellt, dass die Grenzflächenenergie minimiert wird.

    摘要翻译： 本发明涉及用于生产机械止动件的用于自调整和自调节与停止的装置的过程。 该方法包括干蚀刻和第一基片（1），用于产生至少一个水平止动（8）和至少一个垂直止动件（4）的各向异性刻蚀。 在图案化的第一基板（1），至少一个接触件（3）可熔材料的沉积和熔化。 的第二基板（2）可连接到与第一接触（3）材料的可熔材料的至少一个第二接触放置在第一接触。 然后查找两个衬底的自调整（1,2），而不是一个事实，即所述至少一个重熔接触（3）被调节，使得表面能量被最小化。

    METHOD AND SYSTEM FOR IMPROVING ALIGNMENT PRECISION OF PARTS IN MEMS
    10.
    发明申请
    METHOD AND SYSTEM FOR IMPROVING ALIGNMENT PRECISION OF PARTS IN MEMS 审中-公开
    改进MEMS零件对准精度的方法和系统

    公开(公告)号：WO2006005643A1

    公开(公告)日：2006-01-19

    申请号：PCT/EP2005/052248

    申请日：2005-05-17

    申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  Compagnie IBM France ,  OGGIONI, Stefano ,  DESPONT, Michel ,  LANTZ, Mark ,  ALBRECHT, Thomas

    发明人： OGGIONI, Stefano ,  DESPONT, Michel ,  LANTZ, Mark ,  ALBRECHT, Thomas

    IPC分类号： B81B7/00

    CPC分类号： B81C1/00269 ,  B81C3/005 ,  B81C2203/054 ,  B81C2203/055 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1436 ,  H01L2924/00013 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49133 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599

    摘要： A method and system for improving alignment precision of MEMS parts during manufacturing are disclosed. According to the invention at least one of the MEMS parts comprises a cavity wherein a sphere or bearing is centered and preferably temporary blocked with a temperature dissipative material. When MEMS parts are in contact of the sphere or bearing, the temperature dissipative material is evaporated, offering a very low friction against two facing MEMS parts moving in different directions, enabling a very precise positioning. In a first embodiment, each MEMS part comprises pads that are used in conjunction with soldering alloy for self-aligning the parts. In a second embodiment, each part comprises at least one cavity, the upper cavity having a conic shape and the lower cavity having a flat floor, the alignment being obtain when the stable state is reached i.e., when the sphere is centered on the cone center of the upper cavity.

    摘要翻译： 公开了一种在制造过程中提高MEMS部件的对准精度的方法和系统。 根据本发明，MEMS部件中的至少一个包括空腔，其中球体或轴承居中并且优选地用温度耗散材料临时阻挡。 当MEMS部件与球体或轴承接触时，温度耗散材料被蒸发，对于在不同方向移动的两个面对的MEMS部件提供非常低的摩擦，从而能够进行非常精确的定位。 在第一实施例中，每个MEMS部件包括与焊接合金一起使用的用于自对准部件的焊盘。 在第二实施例中，每个部分包括至少一个空腔，上腔体具有圆锥形状，下腔体具有平坦的底板，当达到稳定状态时获得对准，即当球体在锥体中心 的上腔。