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公开(公告)号:WO2019008603A1
公开(公告)日:2019-01-10
申请号:PCT/IN2018/050438
申请日:2018-07-06
IPC分类号: H01L29/772 , H01L29/15
CPC分类号: H01L29/7786 , H01L29/063 , H01L29/1066 , H01L29/1087 , H01L29/2003 , H01L29/402 , H01L29/4236
摘要: The present subject matter provides a High Electron Mobility Transistor (HEMT) comprising a reduced surface field (RESURF) junction. The HEMT comprises a source electrode at a first end and a drain electrode at a second end. A gate electrode is provided between the source electrode and the drain electrode. A reduced surface field (RESURF) junction extends from the first end to the second end. The gate electrode is provided above the RESURF junction. A buried channel layer is formed in the RESURF junction on application of a positive voltage at the gate electrode. The RESURF junction comprises an n-type Gallium nitride (GaN) layer and a p-type GaN layer. The n-type GaN layer is provided between the p-type GaN layer and the gate electrode.
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公开(公告)号:WO2018233659A1
公开(公告)日:2018-12-27
申请号:PCT/CN2018/092140
申请日:2018-06-21
申请人: 深圳市晶相技术有限公司
IPC分类号: H01L29/06
CPC分类号: H01L29/0611 , H01L29/0638 , H01L29/402 , H01L29/42356 , H01L29/475 , H01L29/66462 , H01L29/7783
摘要: 一种氮化镓半导体器件,包括:氮化镓外延层(810);设置于所述氮化镓外延层(810)上的氮化硅和等离子体增强正硅酸乙脂复合介质层(820);设置于所述复合介质层(820)上的源极(831)、漏极(832)和栅极(833),所述源极(831)和所述漏极(832)分别贯穿所述复合介质层(820)与所述氮化镓外延层(810)连接,所述栅极(833)通过位于所述栅极(833)底部下方的栅极介质层(860)与所述氮化镓外延层(810)连接;设置于所述源极(831)、漏极(832)和栅极(833)以及所述复合介质层(820)上的绝缘层(840),以及设置于所述绝缘层(840)上的场板金属层(850)。
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公开(公告)号:WO2016125354A1
公开(公告)日:2016-08-11
申请号:PCT/JP2015/081102
申请日:2015-11-05
申请人: 株式会社パウデック
IPC分类号: H01L21/338 , H01L21/337 , H01L27/098 , H01L29/06 , H01L29/778 , H01L29/808 , H01L29/812 , H01L29/872
CPC分类号: H01L29/0684 , H01L23/49844 , H01L27/0814 , H01L27/098 , H01L29/0634 , H01L29/0657 , H01L29/1058 , H01L29/1066 , H01L29/2003 , H01L29/205 , H01L29/207 , H01L29/402 , H01L29/41758 , H01L29/7786 , H01L29/7787 , H01L29/812 , H01L29/872
摘要: 分極超接合領域の最表面にp型GaN層を設けないでも十分な濃度の2次元正孔ガスが存在し得る半導体素子を提供する。半導体素子は、順次積層された、厚みa[nm](aは10nm以上1000nm以下)のアンドープGaN層11、Al x Ga 1-x N層12およびアンドープGaN層13からなる分極超接合領域を有する。Al x Ga 1-x N層12のAl組成xおよび厚みt[nm]が下記式を満足する。【数1】t≥α(a)x β(a) 但し、αは Log(α)=p 0 +p 1 log (a)+p 2 {log (a)} 2 (p 0 =7.3295、p 1 =-3.5599、p 2 =0.6912)で表され、かつ、βはβ=p' 0 +p' 1 log(a)+p' 2 {log (a)} 2 (p' 0 =-3.6509、p' 1 =1.9445、p' 2 =-0.3793)で表される。
摘要翻译: 其目的是提供一种半导体元件,其中即使在极化超结区的最外表面上没有提供p型GaN层,也可以存在足够浓度的二维空穴气体。 半导体元件具有包括厚度a [nm](a为10-1000nm)的未掺杂GaN层11,Al x Ga 1-x N层12和未掺杂的GaN层13的极化超导区域,这些层依次层叠 。 Al x Ga 1-x N层12的Al组分x和厚度t [nm]满足以下关系。 [数学1]t≥α(a)xβ(a)其中α由Log(α)= p0 + p1log(a)+ p2 {log(a))2表示(p0 = 7.3295,p1 = -3.5599, p2 = 0.6912),β由p = p'0 + p'1log(a)+ p'2(log(a))2(p'0 = -3.6509,p'1 = 1.9445,p'2 = -0.3793)。
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公开(公告)号:WO2016044481A1
公开(公告)日:2016-03-24
申请号:PCT/US2015/050519
申请日:2015-09-16
CPC分类号: H02J7/0052 , H01L23/528 , H01L25/072 , H01L27/088 , H01L27/0883 , H01L29/1033 , H01L29/2003 , H01L29/402 , H01L29/41758 , H01L2924/00 , H01L2924/0002 , H02M1/088 , H02M3/155 , H02M3/157 , H02M3/1584 , H02M3/1588 , H02M2001/0048 , H03K3/012 , H03K3/356017 , H03K17/102 , H03K19/018507 , Y02B70/1466 , Y02B70/1483
摘要: GaN-based half bridge power conversion circuits employ control, support and logic functions that are monolithically integrated on the same devices as the power transistors. In some embodiments a low side GaN device communicates through one or more level shift circuits with a high side GaN device. Both the high side and the low side devices may have one or more integrated control, support and logic functions. Some devices employ electro-static discharge circuits and features formed within the GaN-based devices to improve the reliability and performance of the half bridge power conversion circuits.
摘要翻译: 基于GaN的半桥功率转换电路采用单片集成在与功率晶体管相同的器件上的控制,支持和逻辑功能。 在一些实施例中,低边GaN器件通过一个或多个电平移位电路与高侧GaN器件通信。 高侧和低侧设备都可以具有一个或多个集成的控制,支持和逻辑功能。 一些器件采用在基于GaN的器件中形成的静电放电电路和特征,以提高半桥功率转换电路的可靠性和性能。
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公开(公告)号:WO2016044474A1
公开(公告)日:2016-03-24
申请号:PCT/US2015/050510
申请日:2015-09-16
IPC分类号: H02M3/155
CPC分类号: H02J7/0052 , H01L23/528 , H01L25/072 , H01L27/088 , H01L27/0883 , H01L29/1033 , H01L29/2003 , H01L29/402 , H01L29/41758 , H01L2924/00 , H01L2924/0002 , H02M1/088 , H02M3/155 , H02M3/157 , H02M3/1584 , H02M3/1588 , H02M2001/0048 , H03K3/012 , H03K3/356017 , H03K17/102 , H03K19/018507 , Y02B70/1466 , Y02B70/1483
摘要: An electronic circuit is disclosed. The electronic circuit includes a substrate having GaN, and a power switch formed on the substrate and including a first control gate and a first source. The electronic circuit also includes a drive circuit formed on the substrate and including an output coupled to the first control gate, and a power supply having a supply voltage and coupled to the drive circuit, where the output can be driven to the supply voltage.
摘要翻译: 公开了一种电子电路。 电子电路包括具有GaN的衬底和形成在衬底上并包括第一控制栅极和第一源极的功率开关。 电子电路还包括形成在基板上并包括耦合到第一控制栅极的输出端的驱动电路和具有电源电压并耦合到驱动电路的电源,其中输出可被驱动到电源电压。
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公开(公告)号:WO2016040384A1
公开(公告)日:2016-03-17
申请号:PCT/US2015/049032
申请日:2015-09-08
发明人: XU, Shuming , DAI, Wenhua
IPC分类号: H01L29/78
CPC分类号: H01L29/7835 , H01L29/402
摘要: An LDMOSFET is designed with dual modes. At the high voltage mode, it supports a high breakdown voltage and is biased at a high voltage to get the benefits of high output power, higher output impedance and lower matching loss. At the low voltage mode, it exhibits a reduced knee voltage so that some extra voltage and power can be gained although it is biased at lower voltage. The efficiency is therefore improved as well.
摘要翻译: LDMOSFET采用双模式设计。 在高电压模式下,它支持高击穿电压,并被偏置在高电压,以获得高输出功率,更高的输出阻抗和更低的匹配损耗的好处。 在低电压模式下,它表现出降低的膝盖电压,使得尽管偏压在较低的电压下可以获得一些额外的电压和功率。 因此,效率也得到提高。
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公开(公告)号:WO2016033977A1
公开(公告)日:2016-03-10
申请号:PCT/CN2015/077305
申请日:2015-04-23
申请人: 苏州捷芯威半导体有限公司
IPC分类号: H01L29/778 , H01L29/40 , H01L21/335
CPC分类号: H01L29/402 , H01L21/31144 , H01L29/2003 , H01L29/401 , H01L29/42316 , H01L29/4236 , H01L29/42368 , H01L29/42376 , H01L29/7783 , H01L29/7786
摘要: 一种斜场板功率器件及斜场板功率器件的制备方法。斜场板功率器件包括衬底(11),位于衬底上的多层半导体层(12),位于多层半导体层上的源极(13)、漏极(14)以及位于源极和漏极之间的栅极(15);位于栅极上和栅极与源极和漏极之间的多层半导体层上的介质层(16),介质层上存在凹槽,凹槽的侧面具有倾斜度,位于凹槽内壁上的斜场板结构(17),使得功率器件表面不再产生明显的高尖峰电场,消除了易击穿区域,提高了功率器件整体的耐压性并改善了功率器件的高频特性。
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公开(公告)号:WO2015198950A1
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:PCT/JP2015/067513
申请日:2015-06-17
申请人: 株式会社 東芝
IPC分类号: H01L29/861 , H01L21/205 , H01L21/28 , H01L21/329 , H01L29/06 , H01L29/16 , H01L29/868
CPC分类号: H01L29/868 , H01L21/043 , H01L29/08 , H01L29/1602 , H01L29/402 , H01L29/417 , H01L29/6603 , H01L29/861 , H01L29/8613
摘要: 実施形態によれば、半導体装置は、ダイヤモンドを含むn形半導体層と、第1部分を含む第1電極と、中間層と、ダイヤモンドを含むp形半導体層と、を含む。前記中間層は、炭化物、グラファイト、グラフェン及びアモルファスカーボンの少なくともいずれかを含む。前記炭化物は、Ti、Si、Al、W、Ni、Cr、Ca、Li、Ru、Mo、Zr、Sr、Co、Rb、K、Cu及びNaの少なくともいずれかを含む。前記中間層は、前記第1部分と前記n形半導体層との間に設けられた第1領域と、前記n形半導体層から前記第1電極に向かう方向に対して垂直な平面に投影したときに前記第1領域の周りに設けられ前記第1部分と重ならず前記第1領域と連続した第2領域と、を含む。
摘要翻译: 根据本发明的实施例,半导体器件包括含金刚石的n型半导体层,含第一部分的第一电极,中间层和含金刚石的p型半导体层。 中间层包含碳化物,石墨,石墨烯和无定形碳中的至少一种。 碳化物含有Ti,Si,Al,W,Ni,Cr,Ca,Li,Ru,Mo,Zr,Sr,Co,Rb,K,Cu和Na中的至少一种。 中间层包括设置在第一部分和n型半导体层之间的第一区域和第二区域,当第一区域被投影到垂直于方向的平坦表面上时,该第二区域设置在第一区域的周边 从n型半导体层朝向第一电极,并且连接到第一区域而不与第一部分重叠。
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公开(公告)号:WO2015195116A1
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:PCT/US2014/042925
申请日:2014-06-18
申请人: INTEL CORPORATION , NIDHI, Nidhi , JAN, Chia-Hong , HAFEZ, Walid
发明人: NIDHI, Nidhi , JAN, Chia-Hong , HAFEZ, Walid
IPC分类号: H01L29/78 , H01L21/335
CPC分类号: H01L29/402 , H01L21/26513 , H01L23/66 , H01L29/1083 , H01L29/401 , H01L29/404 , H01L29/408 , H01L29/42368 , H01L29/42376 , H01L29/4983 , H01L29/66545 , H01L29/66659 , H01L29/66681 , H01L29/7816 , H01L29/7835
摘要: Planar and non-planar field effect transistors with extended-drain structures, and techniques to fabricate such structures. In an embodiment, a field plate electrode is disposed over an extended-drain, with a field plate dielectric there between. The field plate is disposed farther from the transistor drain than the transistor gate. In a further embodiment, an extended-drain transistor has source and drain contact metal at approximately twice a pitch, of the field plate and the source and/or drain contact metal. In a further embodiment, an isolation dielectric distinct from the gate dielectric is disposed between the extended-drain and the field plate. In a further embodiment, the field plate may be directly coupled to one or more of the transistor gate electrode or a dummy gate electrode without requiring upper level interconnection. In an embodiment, a deep well implant may be disposed between a lightly-doped extended-drain and a substrate to reduce drain-body junction capacitance and improve transistor performance.
摘要翻译: 具有延伸漏极结构的平面和非平面场效应晶体管以及制造这种结构的技术。 在一个实施例中,场板电极设置在延伸漏极上,其间具有场板电介质。 场板比晶体管栅极远离晶体管漏极放置。 在另一实施例中,延伸漏极晶体管具有栅极板和源极和/或漏极接触金属的大约两倍的间距的源极和漏极接触金属。 在另一个实施例中,不同于栅极电介质的隔离电介质设置在延伸漏极和场板之间。 在另一个实施例中,场板可以直接耦合到一个或多个晶体管栅电极或虚拟栅电极,而不需要上层互连。 在一个实施例中,深阱注入可以设置在轻掺杂扩展漏极和衬底之间,以减少漏极 - 体结结电容并提高晶体管性能。
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公开(公告)号:WO2015143158A1
公开(公告)日:2015-09-24
申请号:PCT/US2015/021470
申请日:2015-03-19
IPC分类号: H01L29/778 , H01L29/861 , H01L29/872 , H01L29/267 , H01L29/417 , H01L29/10 , H01L29/20 , H01L29/06
CPC分类号: H01L29/2003 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/283 , H01L21/8252 , H01L23/367 , H01L27/0605 , H01L29/0642 , H01L29/1079 , H01L29/267 , H01L29/402 , H01L29/417 , H01L29/41741 , H01L29/41766 , H01L29/66204 , H01L29/66212 , H01L29/66462 , H01L29/66734 , H01L29/7788 , H01L29/7813 , H01L29/861 , H01L29/872 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: A vertical semiconductor device and a method of forming the same. A vertical semiconductor device has a substrate that includes a first material, a first electrode below the substrate, and at least one semiconductor region. The at least one semiconductor region includes a second material different from the first material. The second material is a Ill-nitride semiconductor material. The at least one semiconductor region is formed over the substrate. The vertical semiconductor device also has a second electrode over the at least one semiconductor region.
摘要翻译: 垂直半导体器件及其形成方法。 垂直半导体器件具有包括第一材料,在衬底下方的第一电极和至少一个半导体区域的衬底。 所述至少一个半导体区域包括与第一材料不同的第二材料。 第二种材料是III族氮化物半导体材料。 至少一个半导体区域形成在衬底上。 垂直半导体器件还在至少一个半导体区域上具有第二电极。
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