感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及びオニウム塩化合物

    公开(公告)号:WO2022113814A1

    公开(公告)日:2022-06-02

    申请号:PCT/JP2021/042017

    申请日:2021-11-16

    摘要: 感度やLWR性能、CDU性能を十分なレベルで発揮可能な感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及びオニウム塩化合物を提供する。下記式(1)で表されるオニウム塩化合物と、酸解離性基を有する構造単位を含む樹脂と、溶剤とを含む感放射線性樹脂組成物。 (上記式(1)中、R1は、炭素数1~20の1価の炭化水素基である。R2及びR3は、それぞれ独立して、炭素数1~20の1価の炭化水素基であるか、又はR2とR3とが互いに合わせられこれらが結合する炭素原子とともに構成される環員数3~20の環状構造を表す。R4は、水素原子若しくは炭素数1~20の1価の炭化水素基であり、かつL1は、炭素数1~40の置換又は非置換の2価の連結基であるか、又はR4とL1とは互いに合わせられこれらが結合する窒素原子とともに構成される環員数3~20の複素環構造を含む基を表す。L2は、単結合又は炭素数1~40の置換又は非置換の2価の連結基である。Rf1及びRf2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、炭素数1~10の1価の炭化水素基又は炭素数1~10の1価のフッ素化炭化水素基である。Rf1及びRf2がそれぞれ複数存在する場合、複数のRf1及びRf2は互いに同一又は異なる。nは1~4の整数である。Z+は、1価の感放射線性オニウムカチオンである。)