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公开(公告)号：CN118957543A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411452051.8
申请日：2024-10-17
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/52 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法，包括：驱动元件、支撑底座、固定座、滑动组件和电极杆，支撑底座的一侧与PECVD设备的炉尾法兰连接，支撑底座的另一侧设有驱动元件，驱动元件的输出端与固定座连接，支撑底座上设有滑动组件，固定座的下部与滑动组件连接，固定座的上部与电极杆连接，电极杆穿过炉尾法兰，伸入反应室内；在驱动元件的驱动下，固定座和滑动组件带动电极杆进行直线往复移动，以实现电极杆插入或脱离石墨舟的电极孔。本发明具有结构紧凑、体积小巧且拆装便捷等优点，在电极引入过程中，电极杆仅进行直线位移，无下压动作，不容易变形，也避免了电极杆与石墨舟冲击而造成石墨舟损耗。
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公开(公告)号：CN114606478B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202210066237.4
申请日：2022-01-20
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/02 , C23C16/24 , C23C16/505 , C23C16/56 , H01L31/02 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种管式PECVD制备超薄氧化硅层及钝化接触结构的方法、钝化接触结构，该超薄氧化硅层的制备是以N2O和Ar的混合气体，N2O和He的混合气体，N2O、Ar和He的混合气体或N2O、Ar和CO2的混合气体为工艺气体，利用管式PECVD制备超薄氧化硅层。钝化接触结构包括制备超薄氧化硅层和掺杂非晶硅层。本发明制备的超薄氧化硅层具有高质量、均匀性好等优点，可以与掺杂多晶硅层的完美匹配，有利于提高硅片的钝化效果，进而有利于大幅提升太阳能电池的良率和效率，同时本发明方法还具有工艺时间短、沉积速率可控等优势，适合于大规模制备超薄氧化硅层/掺杂多晶硅层钝化接触结构，利于工业化应用。
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公开(公告)号：CN117102156A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310938980.9
申请日：2023-07-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置及清洗方法，装置包括：清洗腔室、电极板、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和光谱测试单元，石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗；清洗腔室的一端设有便于石墨舟进出的炉门，另一端与真空单元连接，以实现抽真空；清洗腔室外侧均布有多组放电单元，用于实现工艺气体在清洗腔室内部电离，以清洗石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元和光谱测试单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，光谱测试单元采用光谱法对清洗过程产生的等离子辉光进行监测，得到清洗前后的光谱变化，根据光谱变化判断石墨舟的清洗终点。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够精准判定石墨舟清洗终点等优点。
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公开(公告)号：CN116878280A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310702926.4
申请日：2023-06-13
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种加热炉体，包括壳体和以壳体中心轴为轴线螺旋布置的加热炉丝，还包括多组沿炉体圆周方向间隔布置的支撑组件，支撑组件包括支撑座、导向座及多个隔板，导向座上设有轴向导向槽，多个隔板沿轴向导向槽长度方向间隔布置，且均滑设于轴向导向槽内，加热炉丝位于相邻两个隔板之间形成的径向开口槽内，支撑座固设于壳体内，导向座与支撑座滑动连接。本发明具有结构简单、可靠性强、炉丝不易坍塌的优点。
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公开(公告)号：CN116581202A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310236378.0
申请日：2023-03-08
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种N型光伏电池的PVD掩膜方法，该方法在HJT太阳能电池的制备过程中，制备N/P型掺杂非晶硅层后先将硅片侧面涂覆氯化钠层，然后用从上向下的PVD磁控溅射工艺沉积TCO薄膜，再用水洗去氯化钠层；在TOPCON太阳能电池的制备过程中，制备PN结后先在硅片侧面涂覆氯化钠层，然后在硅片背面制备隧穿氧化层和用从上向下的PVD磁控溅射工艺沉积掺磷多晶硅层，再用水洗去氯化钠层。本发明的方法可实现硅片表面少甚至无掩膜，有效增加了硅片表面的受光和可利用的面积，明显提升了转换效率。
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公开(公告)号：CN111754490B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202010598314.1
申请日：2020-06-28
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统，属于管式PECVD设备技术领域，用于解决目前倒片检测结构复杂、检测精度低的技术问题，此方法包括步骤：获取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟图像；2)对各石墨舟图像进行图像处理，得到石墨舟图像中硅片边缘与较近的石墨舟槽边缘距离的较大距离值；3)基于较大距离值判断对应的石墨舟槽内的硅片是否存在倒片。本发明具有检测精度高、检测可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN116419463A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111650642.2
申请日：2021-12-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 本发明公开了一种等离子体发生装置，包括：微波发生器、水冷法兰、等离子体反应腔和冷却水套，等离子体反应腔两端分别通过水冷法兰与微波发生器连接，水冷法兰用于对微波发生器上的微波能量输出口进行冷却降温；等离子体反应腔内设有铜天线，微波发生器通过铜天线将同轴微波传导进入等离子体反应腔内；等离子体反应腔上开设有多个进气孔和等离子输出孔，进气孔用于向等离子体反应腔内输入待电离的工艺气体，等离子输出孔用于将等离子体反应腔内电离完成的工艺气体导入工艺腔中；冷却水套安装在等离子体反应腔外围，以实现等离子体反应腔冷却降温。本发明具有结构紧凑、操作简单、所产生的等离子密度高等优点，适用于大面积的平板式薄膜沉积设备。
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公开(公告)号：CN115679298A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110831159.8
申请日：2021-07-22
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/54 , C23C16/24 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/505 , C23C16/511 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种用于生长氧化铝/氧化硅和非晶硅薄膜的连续式生产设备，由平板式PEALD功能模块与射频/微波PECVD功能模块合并构成，该设备包括硅片传输机构和沿传输方向依次设置的上料腔、第一预热腔、原子层沉积工艺腔、第一缓存腔、过渡腔、第二预热腔、化学气相沉积工艺腔和下料腔，第二缓存腔、下料腔。相邻腔室之间均设有真空隔离阀，上料腔、第一预热腔、原子层沉积工艺腔、第一缓存腔构成平板式PEALD功能模块，过渡腔、第二预热腔、化学气相沉积工艺腔、第二缓存腔、下料腔构成PECVD功能模块。本发明将平板式PEALD功能模块和射频/微波PECVD功能模块二者合并在一台设备上、可以满足两种薄膜的生长要求。
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公开(公告)号：CN114999974A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210720386.8
申请日：2022-06-23
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种立式炉的叠舟装置，包括：安装底板、隔热挡板、抓手组件和驱动组件；所述安装底板设置在隔热挡板顶部，用于实现叠舟装置安装固定；所述隔热挡板内部设有驱动组件，两组所述抓手组件对称安装在隔热挡板侧部，且驱动组件与抓手组件传动连接，在驱动组件的驱动下，两组抓手组件相互靠近或相互远离，以实现夹持堆叠石英舟或松开石英舟。本发明还公开了包含上述叠舟装置的立式炉以及石英舟搬运控制方法。本发明具有结构紧凑、操作简单、运行可靠等优点，通过叠舟装置的设计，在增加产能的情况下，只需增加恒温区和石英舟放置区的长度，减少了石英舟的取放空间，降低了设备整体的高度，节省了生产成本。
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公开(公告)号：CN110822903B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201911182187.0
申请日：2019-11-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种电加热炉体，包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置，内腔体设于炉壳内，隔热层设于内腔体与炉壳之间，炉壳的两端分别设有端盖和炉门，加热装置包括至少一组环形布置的加热丝，加热丝设于隔热层与内腔体之间，加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成，铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端，加热器冷端固定在端盖上，各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构，免去是石英管的搬运和安装环节，用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝，降低炉丝的热容，免去复杂的绕丝和卡绝缘子，将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上，不在炉壳的外圆周面上，避免搬运安装过程中碰断。
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