一种钨靶材及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118345341A

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202410558232.2

    申请日:2024-05-08

    摘要: 本发明属于磁控溅射靶材制造技术领域,公开了一种钨靶材及其制备方法。以高纯的钨粉为原料,先通过真空热压烧结过程,或通过冷等静压后进行氢气氛烧结过程,获得相对密度为75%~85%的一次成型钨坯料;然后在一次成型钨坯料上下表面进行喷丸处理或化学气相沉积镀膜处理,在坯料表层厚度为0.1~0.5mm的范围内形成相对密度为95%~99%的致密层,且不改变内部大部分区域的微观组织和致密化程度;再对坯料进行无包套热等静压处理,获得相对密度≥99%的二次致密化钨靶坯;最后磨床去除钨靶坯上下表面深度为0.1~1mm的区域,获得致密度≥99.5%,平均晶粒尺寸≤10μm的高纯钨靶材。该方法既节约成本,同时也兼顾了靶材对密度和晶粒的要求。

    一种集成电路用靶材的精密清洗方法

    公开(公告)号:CN116219446A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202211546323.1

    申请日:2022-12-05

    IPC分类号: C23G5/028

    摘要: 一种集成电路用靶材的精密清洗方法,包括:(1)靶材在高纯有机溶剂清洗剂中进行高频超声清洗;(2)经步骤(1)超声清洗后的靶材浸泡在高纯共沸物有机溶剂清洗剂中进行漂洗;(3)靶材在蒸汽干燥箱中加热器对步骤(2)所用的高纯有机溶剂清洗剂进行加热,高纯有机溶剂清洗剂加热形成蒸汽清洗靶材,再停止加热溶剂,对靶材进行单独加热,干燥后得到洁净的靶材。所述工艺方法能够实现靶材在成品清洗过程中全程避免和水接触,有效杜绝靶材表面发生电化学反应的可能性,同时能够有效去除靶材表面可能存在的颗粒和油污等污染物,其清洗过程简单高效,整个清洗过程在密闭环境中进行,清洗液可以回收循环利用,排放少,实现集成电路用靶材的精密清洗。

    一种用于陶瓷覆铜板的预成型活性焊料/铜复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN115621238A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211212650.3

    申请日:2022-09-30

    IPC分类号: H01L23/492

    摘要: 一种用于陶瓷覆铜板的活性焊料/铜复合材料,包括:铜板及复合在铜板上的AgCuTi活性焊料层;其制备方法包括:(1)真空退火炉加压焊接银铜焊料与无氧铜,(2)在复合后材料银铜一侧镀钛,(3)利用激光将复合材料切割成所需形状;经本发明制得的活性焊料/铜复合材料将复合后材料镀钛一侧,置于陶瓷体上,经真空加压焊接,得到的陶瓷覆铜基板结合牢固,无凸起、空隙,切割后边缘平整无分层断裂,提高焊接可靠性,解决了银铜钛合金脆性大难加工的问题,实现焊层厚度可控,实现按需定制,简化陶瓷覆铜板制备流程,大大缩短生产时间,提高生产效率。