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公开(公告)号：CN103779359A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410039983.X
申请日：2005-11-22
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L27/12 , H01L29/786 , H01L21/77
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/02532 , H01L21/02683 , H01L21/02691 , H01L21/84 , H01L23/544 , H01L24/29 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/85 , H01L27/12 , H01L29/78603 , H01L29/78648 , H01L2221/6835 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2223/6677 , H01L2224/16 , H01L2224/2919 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48464 , H01L2224/73265 , H01L2224/83191 , H01L2224/838 , H01L2224/85 , H01L2924/00013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01024 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/0104 , H01L2924/01041 , H01L2924/01042 , H01L2924/01044 , H01L2924/01045 , H01L2924/0106 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01076 , H01L2924/01077 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/04941 , H01L2924/04953 , H01L2924/0665 , H01L2924/0781 , H01L2924/10253 , H01L2924/12044 , H01L2924/14 , H01L2924/15788 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01Q1/38 , H01Q9/285 , H01Q23/00 , Y10S438/982 , H01L2924/00 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
摘要： 本发明的目的在于提供一种通过不同于专利文献1中公开的方法从衬底分离薄膜晶体管和包括该薄膜晶体管的电路或半导体器件，并将该薄膜晶体管和电路或半导体器件移位到具有柔性的衬底上的方法。根据本发明，在绝缘膜处形成了大开口或多个开口，在开口处形成了连接薄膜晶体管的导电膜，以及移除了剥离层，然后，将具有薄膜晶体管的层移位到提供有导电膜等的衬底上。根据本发明的薄膜晶体管具有通过激光照射结晶化的半导体膜，并且防止不必用激光照射的剥离层暴露在激光照射下。
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公开(公告)号：CN101667538B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910159435.X
申请日：2005-08-12
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20 , H01L21/336 , B23K26/06
CPC分类号： H01L29/78648 , B23K26/0604 , B23K26/066 , H01L21/268 , H01L27/1296 , H01L29/78621 , H01L2029/7863
摘要： 本发明涉及半导体器件及其制造方法。本发明的目的是提供激光照射设备和方法，其能够减小微晶区在整个被照射区中的比例并能够用激光束均匀地照射半导体膜。通过狭缝阻挡从激光振荡器发射的激光束的低强度部分，该激光束被镜片偏转，用两个凸柱镜将激光束整形成所需的尺寸。然后，向照射表面提供激光束。
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公开(公告)号：CN100499019C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200410100134.7
申请日：2004-12-02
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/324 , G02F1/35 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02686 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/0853 , H01L21/02691 , H01L21/2026
摘要： 本发明的目的是提供一种激光照射装置，该装置与使用连续振荡的激光器的装置相比，能够大幅度地扩展光束点的面积，并抑制对玻璃衬底的热损伤，且能够使结晶面向扫描方向连续地长大，形成由沿该扫描方向延长的单结晶构成的晶粒群。本发明的激光照射装置的特征是包括激光振荡器；用于改变从所述激光振荡器发射出来的脉冲振荡激光束的波长的非线形光学元件；以及用于将其波长被改变了的所述激光束聚光到半导体膜上的光学系统，其中，所述脉冲重复频率在10MHz至100GHz的范围。
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公开(公告)号：CN1934682A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200580009439.X
申请日：2005-03-24
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC分类号： B23K26/066 , B23K26/0738 , H01L27/1285
摘要： 本发明的目的是提供一种激光辐照方法和激光辐照装置，该方法和装置通过阻挡线形光束的低强度部分，用强度更均匀的线形光束来照射某一受辐照表面，同时不会在该受辐照表面上形成因衍射而导致的条纹。在该激光辐照过程中，从激光振荡器101中发出的激光束穿过狭缝102以便阻挡该激光束的低强度部分，镜子103使该激光束的前进方向发生改变，并且凸柱面透镜104将在该狭缝处形成的像投影到受辐照表面106上。
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公开(公告)号：CN1797707A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510128584.1
申请日：2005-11-29
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/324 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02683 , B23K26/0853 , B23K2101/40 , H01L21/02686 , H01L21/2026 , H01L27/1285
摘要： 本发明涉及一种激光处理装置以及通过使用该装置而执行的激光处理方法，其中所述激光处理装置包括：激光振荡器；提供在激光振荡器中的联锁器；按一定工作周期移动的移动台；计时器；提供在计时器中的联锁器；能够检测移动台的移动状态的传感器；以及计算机，其中，当所述传感器检测出移动台的通过时所述计时器开始测量时间，并且，在所述工作周期之后移动台还不通过传感器的情况下，提供在所述计时器中的联锁器的接点之间的电流被阻断，因此激光振荡器的联锁器开始运转，从而停止照射激光束。
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公开(公告)号：CN1822351B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN200510138045.6
申请日：2005-11-22
申请人： 株式会社半导体能源研究所
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/02532 , H01L21/02683 , H01L21/02691 , H01L21/84 , H01L23/544 , H01L24/29 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/85 , H01L27/12 , H01L29/78603 , H01L29/78648 , H01L2221/6835 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2223/6677 , H01L2224/16 , H01L2224/2919 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48464 , H01L2224/73265 , H01L2224/83191 , H01L2224/838 , H01L2224/85 , H01L2924/00013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01024 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/0104 , H01L2924/01041 , H01L2924/01042 , H01L2924/01044 , H01L2924/01045 , H01L2924/0106 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01076 , H01L2924/01077 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/04941 , H01L2924/04953 , H01L2924/0665 , H01L2924/0781 , H01L2924/10253 , H01L2924/12044 , H01L2924/14 , H01L2924/15788 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01Q1/38 , H01Q9/285 , H01Q23/00 , Y10S438/982 , H01L2924/00 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
摘要： 半导体器件及其制造方法，本发明的目的在于提供一种通过不同于专利文献1中公开的方法从衬底分离薄膜晶体管和包括该薄膜晶体管的电路或半导体器件，并将该薄膜晶体管和电路或半导体器件移位到具有柔性的衬底上的方法。根据本发明，在绝缘膜处形成了大开口或多个开口，在开口处形成了连接薄膜晶体管的导电膜，以及移除了剥离层，然后，将具有薄膜晶体管的层移位到提供有导电膜等的衬底上。根据本发明的薄膜晶体管具有通过激光照射结晶化的半导体膜，并且防止不必用激光照射的剥离层暴露在激光照射下。
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公开(公告)号：CN101667538A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910159435.X
申请日：2005-08-12
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20 , H01L21/336 , B23K26/06
CPC分类号： H01L29/78648 , B23K26/0604 , B23K26/066 , H01L21/268 , H01L27/1296 , H01L29/78621 , H01L2029/7863
摘要： 本发明涉及半导体器件及其制造方法。本发明的目的是提供激光照射设备和方法，其能够减小微晶区在整个被照射区中的比例并能够用激光束均匀地照射半导体膜。通过狭缝阻挡从激光振荡器发射的激光束的低强度部分，该激光束被镜片偏转，用两个凸柱镜将激光束整形成所需的尺寸。然后，向照射表面提供激光束。
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公开(公告)号：CN100530524C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200510081724.4
申请日：2005-04-28
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/324 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02686 , B23K26/04 , B23K26/0738 , H01L21/02532 , H01L21/02689 , H01L21/2026 , H01L21/268 , H01L27/1285
摘要： 本发明提供一种激光辐射方法，用于即使被辐射物的厚度不均匀也能够对被辐射物进行均匀的激光辐射。在对具有不均匀厚度的被辐射物进行辐射的情况下，通过使用自动聚焦机构，可以在执行激光辐射的同时使被辐射物和透镜之间的距离保持不变，其中该透镜用于使激光束在被辐射物的表面上聚光。特别是，在用激光束对被辐射物进行辐射时，通过沿被辐射物上形成的光斑的第一方向和第二方向相对于激光束移动该被辐射物，在被辐射物沿第一和第二方向移动被辐射物之前，由自动聚焦机构控制被辐射物和透镜之间的距离。
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公开(公告)号：CN101006560A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580028275.5
申请日：2005-08-12
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/336 , H01L21/20 , H01L29/786
CPC分类号： H01L29/78648 , B23K26/0604 , B23K26/066 , H01L21/268 , H01L27/1296 , H01L29/78621 , H01L2029/7863
摘要： 本发明的目的是提供激光照射设备和方法，其能够减小微晶区在整个被照射区中的比例并能够用激光束均匀地照射半导体膜。通过狭缝阻挡从激光振荡器发射的激光束的低强度部分，该激光束被镜片偏转，用两个凸柱镜将激光束整形成所需的尺寸。然后，向照射表面提供激光束。
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公开(公告)号：CN1700417A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510069742.0
申请日：2005-03-03
申请人： 株式会社半导体能源研究所
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/00 , G02F1/136 , G09F9/30 , H04N5/00
CPC分类号： H01L27/1292 , H01L51/524 , H01L51/5246 , H01L51/5281
摘要： 本发明的目的是提供一种制造具有能够降低成本和提高产量并具有微结构的半导体元件的半导体器件的方法，进而，提供制造液晶电视和EL电视的方法。根据本发明的一个特征，制造半导体器件的方法包括如下步骤：在衬底上方形成光吸收层，通过使用溶液在光吸收层上方形成第一区域，通过用激光照射光吸收层来产生热量，以及通过用热量加热第一区域形成第一膜图案。
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