倒置的无衬底芯片上的光学器件

    公开(公告)号:CN103975262A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201280059786.3

    申请日:2012-11-26

    IPC分类号: G02B6/12 G02F1/00 G02B6/293

    摘要: 一种混合集成模块(100)包括面对面地机械耦合到其中衬底已被除去的集成器件(116)的半导体裸片(110)。例如,集成电路可以包括传送光信号的光波导(136),该光波导在其中背侧的硅衬底或分选机(handler)已被完全除去的绝缘体上硅(SOI)晶片上制造。而且,光学器件(134)可以位于集成器件中氧化物层(126)(诸如掩埋的氧化物层)的底表面(130)上,并且集成器件(116)中的几何形状和材料可以选择和/或被限定成使得光信号渐逝地耦合在光波导(136)和光学器件(134)之间。

    倒置的无衬底芯片上的光学器件

    公开(公告)号:CN103975262B

    公开(公告)日:2018-01-23

    申请号:CN201280059786.3

    申请日:2012-11-26

    IPC分类号: G02B6/12 G02F1/00 G02B6/293

    摘要: 一种混合集成模块(100)包括面对面地机械耦合到其中衬底已被除去的集成器件(116)的半导体裸片(110)。例如,集成电路可以包括传送光信号的光波导(136),该光波导在其中背侧的硅衬底或分选机(handler)已被完全除去的绝缘体上硅(SOI)晶片上制造。而且,光学器件(134)可以位于集成器件中氧化物层(126)(诸如掩埋的氧化物层)的底表面(130)上,并且集成器件(116)中的几何形状和材料可以选择和/或被限定成使得光信号渐逝地耦合在光波导(136)和光学器件(134)之间。