激光装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108233168A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711319193.7

    申请日:2017-12-12

    发明人: 贯井亨

    IPC分类号: H01S5/024 H01S5/068

    摘要: 本发明涉及能够通过检测对发热部进行冷却的冷却构件的温度来探测发热部的过度的升温异常的激光装置。该激光装置具备:一个或多个发热部;一个或多个冷却构件,所述一个或多个冷却构件以分别与一个或多个发热部抵接的方式被配置,制冷剂在所述一个或多个冷却构件的内部流动;一个或多个第一温度检测部,所述一个或多个第一温度检测部被分别设置于一个或多个冷却构件,来分别检测所述一个或多个冷却构件的温度;以及监视部,其能够基于包括由一个或多个第一温度检测部检测出的温度的信息的温度信息来分别探测一个或多个冷却构件的异常。