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    Method and apparatus for inspecting surface pattern of object
    21.
    发明公开
    Method and apparatus for inspecting surface pattern of object 失效
    维尔法赫恩和赫尔特·乌尔布鲁斯特·埃尔茨赫特

    公开(公告)号：EP0452905A1

    公开(公告)日：1991-10-23

    申请号：EP91106141.4

    申请日：1991-04-17

    申请人： HITACHI, LTD.

    发明人： Takagi, Yuji ,  Hata, Seiji

    IPC分类号： G01N21/88

    CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/1776 ,  G01N2021/1785 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/95653

    摘要： A method and an apparatus for inspecting a three-dimensional surface shape and pattern of an object (1) under inspection by images of the surface of the object, said images being formed by reflected light rays from the object illuminated by lights. The surface of the object is illuminated by first (3) and second lights (4) provided on the inspected surface side of the object and at different heights from the object, images of the reflected light rays from the surface of the object illuminated by the first and second lights (3,4) are acquired by an imaging unit (5), a first image of the surface of the object illuminated by the first light and a second image of the surface of the object illuminated by the second light, both acquired by the imaging unit, are input separately, brightness values at the same pixel points of the first and the second images are subjected to a division process to obtain a value, and by using this value as the brightness value of the pixel, a third image is formed which is used for quality evaluation.

    摘要翻译： 一种用于通过物体表面的图像检查的物体（1）的三维表面形状和图案的方法和装置，所述图像由来自被光照射的物体的反射光线形成。 物体的表面被照射在物体的检测表面侧上的第一（3）和第二光（4），并且距物体不同的高度，来自被物体的被照射的物体的表面的反射光线的图像 第一和第二光（3,4）由成像单元（5）获取，由第一光照亮的物体的表面的第一图像和由第二光照亮的物体的表面的第二图像，两者 由成像单元获取，分别输入，对第一和第二图像的相同像素点处的亮度值进行除法处理以获得值，并且通过使用该值作为像素的亮度值，将第三 形成用于质量评估的图像。

    Verfahren und Anordnung zur Darstellung von Strukturen
    22.
    发明公开
    Verfahren und Anordnung zur Darstellung von Strukturen 失效
    Verfahren und Anordnung zur Darstellung von Strukturen。

    公开(公告)号：EP0387793A2

    公开(公告)日：1990-09-19

    申请号：EP90104729.0

    申请日：1990-03-13

    申请人： Krauss, Manfred, Prof., Dr.-Ing.habil.

    发明人： Waldmann, Jürgen, Prof.Dr.sc.techn. ,  Krauss, Mannfred, Prof.Dr.-Ing.habil. ,  Bilz, Dietrich, Dr.sc.med. ,  Mende, Mattias, Dr.-Ing. ,  Kriegel, Bernd, Dipl.-Phys.

    IPC分类号： A61B5/00 ,  G01N21/35

    CPC分类号： G01N21/359 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0261 ,  A61B5/4064 ,  G01N2021/1785

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Darstellung von Strukturen (ST), die überwiegend biologisch sind oder technisch gefertigt wurden. Das Verfahren ermöglicht die Darstellung inhomogener Strukturen (ST) in situ im Echtzeitbetrieb. Es kann zur Herstellung von IRund NIR-Tomogrammen sowie zur Bestimmung des Volumenflusses in Kapillaren und Filtern genutzt werden und in der Medizin, Biologie sowie in der Technik zur Beobachtung und Beurteilung von Strukturen (ST), Oberflächen, Volumina und Volumenflüssen mit darin ablaufenden chemischen und physikalischen Prozessen eingesetzt werden.
    Erfindungsgemäß werden die in einer Ebene angeordneten IR-­Lichtquellen und -empfänger als Flächenstrahler und -empfänger (SE) in x-y-z-Richtung zum Objekt geführt, wobei der Flächenstrahler mit einem bestimmten Strahlungsquerschnitt und einer bestimmten Intensität strahlt, die emittierenden IR-Dioden mit einem Spitzenstrom vorzugsweise bis 1A mit einer Impulsfrequenz vorzugsweise bis 100 kHz angesteuert werden und die Rückstreuung erfaßt wird. Echtzeitermittelte IR-Schwächungsgradienten-Profile der Volumenelemente sowie die Anordnung des Flächenstrahler-­Empfänger-Sensors (SE) ermöglichen eine exakte räumliche Zuordnung der Volumenelemente im Mikrobis Zentimeterbereich und eine Kontrastdarstellung bestimmter Strukturen (ST).

    摘要翻译： 本发明涉及用于表示主要是生物学或技术上生产的结构（ST）的方法和装置。 该过程使得能够在实时操作中原位表示不均匀结构（ST）。 它可用于产生IR和NIR断层图，并确定毛细管和过滤器中的体积流量，并且可用于医学，生物学和技术，以观察和评估结构（ST），表面，体积和体积流量 哪些化学和物理过程发生。 根据本发明，布置在一个平面中的IR光源和接收器相对于物体在xyz方向被引导为大面积辐射器和接收器（SE），大面积辐射器以特定辐射 横截面和特定强度，发射IR二极管以优选高达1A的峰值电流驱动，脉冲频率优选高达100kHz，并且检测到后向散射。 与大面积辐射器/接收器的传感器（SE）的布置一起，实时确定的体积元素的IR衰减梯度的轮廓允许将体积元素在微米到厘米范围的精确空间分配 和特定结构（ST）的对比度表示。

    INTERFEROMETRIC IMAGING SYSTEM
    28.
    发明公开
    INTERFEROMETRIC IMAGING SYSTEM 失效
    干涉成像系统

    公开(公告)号：EP0419517A4

    公开(公告)日：1992-01-15

    申请号：EP89906596

    申请日：1989-05-24

    申请人： ORASIS CORPORATION

    发明人： DULMAN, LEV

    IPC分类号： G01B11/24 ,  G01N21/88 ,  G01N21/93 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G01B9/02

    CPC分类号： G01N21/95607 ,  G01N2021/1785

    摘要： A quality control system (100) provides for realtime, high-speed, high-resolution comparison of the three-dimensional form of a sample (201) with an exemplar (203). The system includes a sample analyzer (103), an exemplar analyzer (105), a comparator (107), a controller (101), and a position memory (109). The sample analyzer includes a sample imager (111), a sample scanner (113), and a sample transducer (115). The exemplar analyzer includes exemplar imager (117), exemplar scanner (119), and exemplar transducer (121).

    Verfahren und Anordnung zur Darstellung von Strukturen
    29.
    发明公开
    Verfahren und Anordnung zur Darstellung von Strukturen 失效
    用于表示结构的过程和手段

    公开(公告)号：EP0387793A3

    公开(公告)日：1991-07-03

    申请号：EP90104729.0

    申请日：1990-03-13

    申请人： Krauss, Manfred, Prof., Dr.-Ing.habil.

    发明人： Waldmann, Jürgen, Prof.Dr.sc.techn. ,  Krauss, Mannfred, Prof.Dr.-Ing.habil. ,  Bilz, Dietrich, Dr.sc.med. ,  Mende, Mattias, Dr.-Ing. ,  Kriegel, Bernd, Dipl.-Phys.

    IPC分类号： A61B5/00 ,  G01N21/35

    CPC分类号： G01N21/359 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0261 ,  A61B5/4064 ,  G01N2021/1785

    摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Darstellung von Strukturen (ST), die überwiegend biologisch sind oder technisch gefertigt wurden. Das Verfahren ermöglicht die Darstellung inhomogener Strukturen (ST) in situ im Echtzeitbetrieb. Es kann zur Herstellung von IRund NIR-Tomogrammen sowie zur Bestimmung des Volumenflusses in Kapillaren und Filtern genutzt werden und in der Medizin, Biologie sowie in der Technik zur Beobachtung und Beurteilung von Strukturen (ST), Oberflächen, Volumina und Volumenflüssen mit darin ablaufenden chemischen und physikalischen Prozessen eingesetzt werden. Erfindungsgemäß werden die in einer Ebene angeordneten IR-­Lichtquellen und -empfänger als Flächenstrahler und -empfänger (SE) in x-y-z-Richtung zum Objekt geführt, wobei der Flächenstrahler mit einem bestimmten Strahlungsquerschnitt und einer bestimmten Intensität strahlt, die emittierenden IR-Dioden mit einem Spitzenstrom vorzugsweise bis 1A mit einer Impulsfrequenz vorzugsweise bis 100 kHz angesteuert werden und die Rückstreuung erfaßt wird. Echtzeitermittelte IR-Schwächungsgradienten-Profile der Volumenelemente sowie die Anordnung des Flächenstrahler-­Empfänger-Sensors (SE) ermöglichen eine exakte räumliche Zuordnung der Volumenelemente im Mikrobis Zentimeterbereich und eine Kontrastdarstellung bestimmter Strukturen (ST).