Verfahren zum Herstellen von gedruckten Schaltungen mit in das Isolierstoffsubstrat eingebetteten metallischen Leiterzugstrukturen
    73.
    发明公开
    Verfahren zum Herstellen von gedruckten Schaltungen mit in das Isolierstoffsubstrat eingebetteten metallischen Leiterzugstrukturen 失效
    制造嵌入在绝缘基板的金属导体轨迹印刷电路的制造方法。

    公开(公告)号:EP0127689A1

    公开(公告)日:1984-12-12

    申请号:EP83104956.4

    申请日:1983-05-19

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von gedruckten Schaltungen, bei denen die metallischen Leiterzugstrukturen in das Isolierstoffsubstrat eingebettet sind und Vorder-und Rückseite mittels durchmetallisierterLöcherelektrisch leitend verbunden sind. Das Verfahren besteht darin, daß eine Matrix aus einer Ablöseschicht (2), einer Aluminiumsperrschicht (3) und einer Photoresistschicht (4) auf einem Epoxidharzsubstrat (1) aufgebaut wird. Durch bildmäßiges Belichten und Entwickeln wird in der Photoresistschicht (4) ein Negativbild des gewünschten Musters erzeugt. Mittels Trockenätzverfahren wird dieses in die Sperrschicht (3) übertragen, und mittels Trockenätzen mit Sauerstoff wird die Ablöseschicht (2) in der Weise geätzt, daß unter der Sperrschicht (3) ein Unterätzprofil (6) gebildet wird. Anschließend werden mittels Sauerstoff vertikale Graben (7) in das Epoxidharzsubstrat geätzt. Nach dem Bohren der Bohrlöcher (8) wird mittels magnetfeldunterstützter Kathodenzerstäubung eine Aktivierungsschicht (9) aus Kupfer auf die Oberflächen der Gräben (7), der Bohrlöcher (8) und der Sperrschicht (3) aufgetragen. In einem Abhebeverfahren wird (3) durch Tauchen in ein geeignetes Lösungsmittel entfernt. Anschließend wachsen in einem Langzeitbad Kupferleiterzüge von allen Seiten in den geätzten Leiterzuggräben auf, bis dieselben gefüllt sind. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden Epoxidharz-Signalebenen mit planarer Oberfläche erhalten.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于印刷电路的制造,其中金属导体轨道被嵌入在绝缘基片和正面和背面侧导电地通过电镀孔相连接的方法。 该程序是一个释放层的矩阵(2),铝阻挡层(3)和环氧基板(1)上的光致抗蚀剂层(4)成立。 通过成像曝光和显影,所期望的图案的负像在光致抗蚀剂层(4)被产生。 通过在该阻挡层的干蚀刻的装置(3)被发送,和剥离层(2)以这样的方式,通过用氧气干蚀刻的方式蚀刻,即(3)Unterätzprofil(6)形成势垒层的。 随后,通过氧垂直沟槽(7)的装置被蚀刻到环氧基板。 孔的钻孔(8)之后,铜的沟槽的表面上形成活化层(9)(7),所述钻孔(8)和阻挡层(3)由磁场支持的阴极溅射来施加。 在剥离方法中,释放层(2)与所述覆盖它们阻挡层(3)一起通过浸入在适当的溶剂除去。 随后铜电路线在从四面八方在蚀刻Leiterzuggräben上长期生长浴,直到它们被填满。 利用本发明的方法的环氧信号水平与平坦的表面而获得。

    Schaltung mit aufgedruckten Leiterbahnen und Verfahren zu deren Herstellung
    77.
    发明公开
    Schaltung mit aufgedruckten Leiterbahnen und Verfahren zu deren Herstellung 失效
    电路与印刷导体路径和它们的制备方法。

    公开(公告)号:EP0045466A2

    公开(公告)日:1982-02-10

    申请号:EP81105900.5

    申请日:1981-07-25

    Abstract: Leiterbahnen von elektrischen Schaltungen sind auf eine chemisch metallisierbare Schicht metallisiert, die auf aufgedruckten Kleberbahnen haftet. Als Kleber dienen Haftvermittler, beispielsweise ein reaktives Harzsystem oder Polyurethan. Der Haftvermittler wird auf elektrisch nich leitendes Material aufgedruckt. Eine auf die mit Haftvermittler versehene Seite des Materials aufgepreßte Metallschicht haftet lediglich auf den Leiterbahnen und wird von den übrigen Teilen des Materials wieder abgezogen. Die metallisierbare Schicht kann mit allen Metallen metallisiert werden, die eine gute elektrische Leitfähigkeit aufweisen.

    Abstract translation: 电路的印刷导体被金属化粘附到印刷粘接线化学镀金属层上。 作为粘接剂使用的粘合促进剂,例如,反应性树脂体系或聚氨酯。 粘接剂被印刷在电不导电材料。 甲按压到设置有粘合材料与金属层的一侧粘附只对导电轨,并从所述材料的其他部分再次抽出。 可金属化层可以用具有良好的导电性的所有金属进行金属化。

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