摘要:
Leitkleberverbindung zum verbinden eines Bauteils (60), z.B. der Gate-Elektrode eines Gassensors, mit einem Halbleiterkörper (20), der eine integrierten Schaltung aufweist. Dabei wird eine die Passivierungsschicht (50) und Oxidschicht (40) durchdringende Ausformung (70) mit einem leitfähigen Klebstoff (80) auf Basis eines organischen Polymers gefüllt, so dass die leitfähige Unterseite des Bauteils (60) und eine leitfähige Kontaktfläche (30) durch den Leitkleber (80) verbunden sind. Zur Verstärkung der Klebeverbindung können in dem Loch (70) Erhöhungen (100) ausgebildet sein, die die effektive Kontaktfläche der Klebeverbindung vergrößern.
摘要:
Halbleiter-Gassensor auf der Basis eines integrierten Feldeffekttransistors mit einen Halbleiterkörper mit einer an der Oberfläche des Halbleiterkörpers ausgebildeten Passivierungsschicht, der eine durch einen Spalt von einen Kanalbereich getrennte gassensitive Steuerelektrode aufweist und als Suspended Gate Feldeffekttransistor (SGFET) ausgebildet ist, oder die Steuerelektrode als eine erste Platte eines Kondensators mit Spalt angeordnet ist und eine zweite Platte des Kondensators mit einem Gate des als Capacitve Controlled ausgebildeten Feldeffekttransistors (CCFET) verbunden ist, und die Steuerelektrode eine Halbleiter-Trägerschicht mit einer aufliegenden Haftvermittlerschicht und einer auf der Haftvermittlerschicht aufliegenden gassensitiven Schicht aufweist, und mit einem Referenzpotential verschaltet ist, und die Oberfläche der gassensitiven Schicht dem Kanalbereich oder der zweiten Platte zugewandt ist, und ein Stützgebiet mit einer ersten Tragstruktur mit einem ersten Auflagebereich und einer zweiten Tragstruktur mit einem zweiten Auflagebereich vorgesehen ist, wobei auf der Oberfläche des Halbleiterkörpers ein Anschlussgebiet vorgesehen ist und das Stützgebiet innerhalb des Anschlussgebletes angeordnet ist, und das Anschlussgeblet einen ersten Anschlussberelch und einen zweiten Anschlussbereich aufweist und der erste Anschlussbereich mit der Steuerelektrode mittels eines ersten Verbindungsmittels eine elektrische Verbindung und eine kraftschlüssige Verbindung aufweist und der zweiten Anschlussbereich mit der Steuerelektrode mittels eines zweiten Verbindungsmittels wenigstens eine kraftschlüssige Verbindung aufweist.
摘要:
Bei einem Verfahren zum Messen der Konzentration eines Zielgases wird ein Gassensor (1) bereit gestellt, dessen Sensorsignal (20) bei konstanter Temperatur von einer Zielgaskonzentration (21) abhängig ist und in einem ersten Aussteuerungsbereich (29) eine geringere Messempfindlichkeit aufweist als in einem zweiten Aussteuerungsbereich (30). Die Lage der Aussteuerungsberelche (29, 30) ist von der Temperatur abhängig. Die Temperatur des Gassensors (1) wird derart geregelt, dass das Sensorsignal (20) Im Wesentlichen von der Zielgaskonzentration (21) unabhängig ist und in dem zweiten Aussteuerungsbereich (30) liegt. Die Temperatur des Gassensors (1) ist dann ein Maß für die Zielgaskonzentration (21). ( Fig. 5 )
摘要:
Halbleiter-Gassensor auf der Basis eines integrierten Feldeffekttransistors mit einen Halbleiterkörper mit einer an der Oberfläche des Halbleiterkörpers ausgebildeten Passivierungsschicht, der eine durch einen Spalt von einen Kanalbereich getrennte gassensitive Steuerelektrode aufweist und als Suspended Gate Feldeffekttransistor (SGFET) ausgebildet ist, oder die Steuerelektrode als eine erste Platte eines Kondensators mit Spalt angeordnet ist und eine zweite Platte des Kondensators mit einem Gate des als Capacitve Controlled ausgebildeten Feldeffekttransistors (CCFET) verbunden ist, und die Steuerelektrode eine Halbleiter-Trägerschicht mit einer aufliegenden Haftvermittlerschicht und einer auf der Haftvermittlerschicht aufliegenden gassensitiven Schicht aufweist, und mit einem Referenzpotential verschaltet ist, und die Oberfläche der gassensitiven Schicht dem Kanalbereich oder der zweiten Platte zugewandt ist, und ein Stützgebiet mit einer ersten Tragstruktur mit einem ersten Auflagebereich und einer zweiten Tragstruktur mit einem zweiten Auflagebereich vorgesehen ist, wobei auf der Oberfläche des Halbleiterkörpers ein Anschlussgebiet vorgesehen ist und das Stützgebiet innerhalb des Anschlussgebletes angeordnet ist, und das Anschlussgeblet einen ersten Anschlussberelch und einen zweiten Anschlussbereich aufweist und der erste Anschlussbereich mit der Steuerelektrode mittels eines ersten Verbindungsmittels eine elektrische Verbindung und eine kraftschlüssige Verbindung aufweist und der zweiten Anschlussbereich mit der Steuerelektrode mittels eines zweiten Verbindungsmittels wenigstens eine kraftschlüssige Verbindung aufweist.
摘要:
Halbleitergehäuse aufweisend, einen Metallträger, einen auf dem Metallträger angeordneten Halbleiterkörper mit einer Oberseite und einer Unterseite, wobei die Unterseite mit dem Metallträger kraftschlüssig verbunden ist, und der Halbleiterkörper auf der Oberseite mehrere Metallflächen aufweist, und die Metallflächen zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterkörpers mittels Bonddrähten mit Pins verbunden sind, und eine Kunststoffmasse, wobei die Kunststoffmasse die Bonddrähte vollständig und den Halbleiterkörper an dessen Oberseite sowie die Pins teilweise umschließt, und wobei die Kunststoffmasse an der Oberseite des Halbleiterkörpers eine Öffnung aufweist, und einen rahmenförmigen oder ringförmigen Wall auf der Oberseite des Halbleiterkörpers ausgebildet ist, wobei der Wall eine Deckfläche und eine von den Rändern des Halbleiterkörpers beanstandete Grundfläche aufweist und die lichten Innenmaße des Walls die Größe der Öffnung auf der Oberseite des Halbleiterkörpers bestimmt, und wobei in Richtung des Normalenvektors der Fläche auf der Oberseite des Halbleiterkörpers die Kunststoffmasse im Bereich außerhalb der Öffnung im Wesentlichen eine größere Höhe als der Wall aufweist und zwischen der Grundfläche des Walls und der Oberseite des Halbleiterkörpers eine Fixierschicht ausgebildet ist.