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    Integrated circuit, system and manufacturing method
    1.
    发明公开
    Integrated circuit, system and manufacturing method 审中-公开
    Integrierte Schaltung，系统和Herstellungsverfahren

    公开(公告)号：EP2840369A1

    公开(公告)日：2015-02-25

    申请号：EP13180893.3

    申请日：2013-08-19

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Van Steenwinckel, David ,  Besling, Willem ,  Humbert, Aurelie ,  Le, Kim Phan ,  Soccol, Dimitri ,  Heil, Stephan ,  Donkers, Johannes ,  Attenborough, Karen ,  Daamen, Roel ,  Gravesteijn, Dirk

    IPC分类号： G01J5/20 ,  H01L27/146

    CPC分类号： H01L27/14649 ,  G01J5/024 ,  G01J5/20

    摘要： Disclosed is an integrated circuit (100) comprising a cavity (52) defined over a substrate (10) and a membrane (42, 50) arranged to be exposed to infrared radiation suspended over said cavity, said membrane comprising a conductive body (42) and an infrared radiation absorbing polymer (50) covering said conductive body such that the conductive body is shielded from said radiation by said polymer, said conductive body being conductively coupled to a pair of electrodes. A body detection system including such an IC and a method of manufacturing such an IC are also disclosed.

    摘要翻译： 公开了一种集成电路（100），其包括限定在衬底（10）上的空腔（52）和布置成暴露于悬挂在所述空腔上的红外辐射的膜（42,50），所述膜包括导电体（42） 以及覆盖所述导电体的红外辐射吸收聚合物（50），使得所述导电体被所述聚合物屏蔽所述辐射，所述导电体与一对电极导电耦合。 还公开了一种包括这种IC的身体检测系统及其制造方法。

    Mems capacitive pressure sensor
    3.
    发明公开
    Mems capacitive pressure sensor 审中-公开
    Kapazitativer MEMS- Drucksensor

    公开(公告)号：EP2796844A1

    公开(公告)日：2014-10-29

    申请号：EP13165416.2

    申请日：2013-04-25

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Besling, Willem ,  Pijnenburg, Remco Henricus Wilhelmus ,  Bominaar-Silkens, Iris

    IPC分类号： G01L9/00

    摘要： A MEMS capacitive pressure sensor has a deformable sensor electrode with a length to width ratio of 3 or more. This enables the flexibility to be kept low, so that the pressure range of operation is increased, while also enabling an increased area to give an increased signal.

    摘要翻译： MEMS电容式压力传感器具有长度与宽度比为3或更大的可变形传感器电极。 这使得能够保持低的灵活性，使得操作的压力范围增加，同时还能够增加面积来增加信号。

    Integrated circuit with pressure sensor and manufacturing method
    4.
    发明公开
    Integrated circuit with pressure sensor and manufacturing method 有权
    Integrierte Schaltung mit Drucksensor und Herstellungsverfahren

    公开(公告)号：EP2674392A1

    公开(公告)日：2013-12-18

    申请号：EP12171649.2

    申请日：2012-06-12

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Nackaerts, Axel ,  Besling, Willem ,  Reimann, Klaus

    IPC分类号： B81C1/00 ,  G01L9/00

    CPC分类号： G01L9/0073 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/015 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0771 ,  G01L9/0042 ,  H01L21/28 ,  H01L29/84

    摘要： Disclosed is an integrated circuit (100), comprising a semiconductor substrate (110) carrying a plurality of circuit elements; and a pressure sensor including a cavity (140) on said semiconductor substrate, said cavity comprising a pair of electrodes (120, 122) laterally separated from each other; and a flexible membrane (130) over and spatially separated from said electrodes such that said membrane interferes with a fringe field between said electrodes, said membrane comprising at least one aperture (132). A method of manufacturing such an IC is also disclosed.

    摘要翻译： 公开了一种集成电路（100），包括承载多个电路元件的半导体衬底（110）; 以及包括在所述半导体衬底上的空腔（140）的压力传感器，所述空腔包括彼此横向分离的一对电极（120,122）; 和柔性膜（130），其与所述电极在空间上分离，使得所述膜干扰所述电极之间的边缘场，所述膜包括至少一个孔（132）。 还公开了制造这种IC的方法。

    CAPACITIVE PRESSURE SENSOR AND CALIBRATION METHOD
    5.
    发明公开
    CAPACITIVE PRESSURE SENSOR AND CALIBRATION METHOD 审中-公开
    Kapazitiver Drucksensor und Kalibrierverfahren

    公开(公告)号：EP2848908A1

    公开(公告)日：2015-03-18

    申请号：EP13184610.7

    申请日：2013-09-16

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Besling, Willem ,  Van Der Avoort, Casper ,  Pijnenburg, Remco Henricus Wilhelmus ,  Goossens, Martijn ,  Oldsen, Marten

    IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L27/00

    摘要： The sensor has at least two membranes of which one membrane is sealed and one other membrane has an opening to ambient pressure, and functions as a reference device. The sealed membrane deflects as function of pressure whereas the deflection of the "open" membrane remains unaltered.
    The reference device enables determination of relevant calibration parameters such as capacitance offset, dC/dP, parasitic capacitance, membrane stiffness, back side pressure. This then enables an accurate capacitance pressure function to be obtained with only two calibration points and without needing to control pressure levels.

    摘要翻译： 该传感器具有至少两个膜，其中一个膜被密封，另一个膜具有对环境压力的开口，并且用作参考装置。 密封膜作为压力的函数而偏转，而“开放”膜的挠曲保持不变。 参考装置可以确定相关的校准参数，如电容偏移，dC / dP，寄生电容，膜刚度，背面压力。 这样就可以通过两个校准点获得精确的电容压力函数，而无需控制压力水平。

    Token comprising improved physical unclonable function
    7.
    发明公开
    Token comprising improved physical unclonable function 审中-公开
    Token mit verbesserter unklonbarer physikalischer Funktion

    公开(公告)号：EP2337263A1

    公开(公告)日：2011-06-22

    申请号：EP09179628.4

    申请日：2009-12-17

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Besling, Willem ,  Kochupurackal, Jinesh

    IPC分类号： H04L9/32 ,  B01J19/08 ,  G01F23/26 ,  G01N27/22 ,  H03K17/96 ,  H05B6/70

    摘要： The invention relates to a token (100), to an integrated circuit (200) comprising the token, to a method of randomizing the token and a system (500, 502) for randomizing the token. The token comprises a physical unclonable function (10, 12, 14, 16, 18) and comprising probing means (110) for probing the physical unclonable function. The physical unclonable function comprises a capacitor (20, 22) comprising a dielectric medium (30, 32) being arranged at least partially between the electrodes (20A, 20C; 22A, 22C) of the capacitor. The dielectric medium is configured for contributing to a capacitance value of the capacitor and comprises conducting particles (40, 42; 40A, 40B, 40C) substantially randomly dispersed in the dielectric medium. The conducting particles comprise a phase changeable material being changeable between a first structural state (40A, 40C) having a first conductivity and a second structural state (40B) having a second conductivity different from the first conductivity.

    摘要翻译： 本发明涉及令​​牌（100），包括令牌的集成电路（200），用于随机化令牌的方法和用于随机化令牌的系统（500,502）。 令牌包括物理不可克隆功能（10,12,14,16,18），并且包括用于探测物理不可克隆功能的探测装置（110）。 物理不可克隆功能包括电容器（20,22），其包括至少部分地布置在电容器的电极（20A，20C; 22A，22C）之间的电介质（30,32）。 电介质被配置为有助于电容器的电容值，并且包括基本上随机分散在电介质中的导电颗粒（40,42; 40A，40B，40C）。 导电粒子包括可在具有第一导电性的第一结构状态（40A，40C）和具有不同于第一导电性的第二导电性的第二结构状态（40B）之间变化的相变材料。

    Differential pressure sensor
    8.
    发明公开
    Differential pressure sensor 审中-公开
    Differenzdrucksensor

    公开(公告)号：EP2806258A1

    公开(公告)日：2014-11-26

    申请号：EP13168442.5

    申请日：2013-05-20

    申请人： NXP B.V.

    发明人： Oldson, Marten ,  Pijnenburg, Remco Henricus Wilhelmus ,  Bominaar-Silkens, Iris ,  Besling, Willem

    IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L19/04 ,  G01L19/14

    CPC分类号： G01L9/005 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/125 ,  G01L13/025 ,  G01L19/147 ,  G01L19/148

    摘要： A differential pressure sensor comprises a cavity having a base including a base electrode and a membrane suspended above the base which includes a membrane electrode, wherein the first membrane is sealed with the cavity defined beneath the first membrane. A first pressure input port is coupled to the space above the sealed first membrane. A capacitive read out system is used to measure the capacitance between the base electrode and membrane electrode. An interconnecting channel is between the cavity and a second pressure input port, so that the sensor is responsive to the differential pressure applied to opposite sides of the membrane by the two input ports.

    摘要翻译： 差压传感器包括具有底座的空腔，底座包括基底电极和悬挂在基座上方的膜，该膜片包括膜电极，其中第一隔膜用限定在第一隔膜下面的空腔密封。 第一压力输入端口连接到密封的第一膜上方的空间。 电容读出系统用于测量基极和膜电极之间的电容。 互连通道位于空腔和第二压力输入端口之间，使得传感器响应于通过两个输入端口施加到膜的相对侧的差压。