公开(公告)号：EP2650906B1

公开(公告)日：2024-10-09

申请号：EP13003427.5

申请日：2005-06-02

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/208 ,  H01L21/326 ,  H01L21/4763 ,  H01L23/48 ,  H01L27/01 ,  H01L29/06 ,  H01L29/08 ,  H01L23/00 ,  H01L29/786 ,  H01L27/12 ,  H01L31/18 ,  H01L21/683

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公开(公告)号：EP4385066A1

公开(公告)日：2024-06-19

申请号：EP21755982.2

申请日：2021-08-09

Applicant: X-Celeprint Limited ,  LEONHARD KURZ Stiftung & Co. KG

Inventor： COK, Ronald S. ,  TRINDADE, António José ,  SCHARFENBERG, Michael ,  SCHULZ, Christian ,  ROITHMEIER, Gabriele

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L23/00 ,  H01L33/00 ,  H01L27/15

CPC classification number: H01L33/0095 ,  H01L27/153 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/6835420130101 ,  H01L2221/6836820130101 ,  H01L2221/6838120130101 ,  H01L2221/683520130101 ,  H01L2221/6831820130101 ,  H01L24/83 ,  H01L24/95 ,  H01L2224/3222520130101 ,  H01L2224/2422620130101 ,  H01L2224/3214520130101 ,  H01L2224/2414620130101 ,  H01L2224/9520130101 ,  H01L2224/95120130101 ,  H01L2224/9513320130101 ,  H01L2224/8319220130101 ,  H01L2224/2731220130101 ,  H01L2224/2762220130101 ,  H01L2224/8386220130101 ,  H01L2224/8387420130101 ,  H01L2224/7525120130101 ,  H01L23/544 ,  H01L2224/8312120130101 ,  H01L2224/8314320130101 ,  H01L2224/8320820130101 ,  H01L2224/8398620130101 ,  H01L24/33 ,  H01L2224/3318120130101 ,  H01L2224/7326720130101 ,  H01L2224/7321720130101 ,  H01L2224/922220130101 ,  H01L24/92 ,  H01L24/32 ,  H01L24/27 ,  H01L24/24 ,  H01L2224/7420130101 ,  H01L24/74 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/756520130101 ,  H01L25/50 ,  H01L25/0655 ,  H01L25/16