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公开(公告)号:TWI487011B
公开(公告)日:2015-06-01
申请号:TW100145232
申请日:2011-12-08
申请人: 格羅方德半導體德累斯頓第一模數有限責任及兩合公司 , GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MODULE ONE LIMITED LIABILITY COMPANY & CO. KG , 格羅方德半導體公司 , GLOBALFOUNDRIES US INC.
发明人: 克朗霍爾茲 史帝芬 , KRONHOLZ, STEPHAN , 倫斯基 馬庫斯 , LENSKI, MARKUS , 特斯 漢斯 尤爾根
IPC分类号: H01L21/28 , H01L27/105
CPC分类号: H01L21/823864 , H01L21/31116 , H01L21/31155 , H01L21/823807 , H01L21/823814 , H01L29/165 , H01L29/6653 , H01L29/6656 , H01L29/6659 , H01L29/66636 , H01L29/7834 , H01L29/7843 , H01L29/7848
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公开(公告)号:TWI485776B
公开(公告)日:2015-05-21
申请号:TW100144215
申请日:2011-12-01
发明人: 金恩美 , KIM, EUN-MI , 大谷裕一 , OTANI, YUICHI , 中川隆史 , NAKAGAWA, TAKASHI
IPC分类号: H01L21/316 , H01L27/105 , H01L45/00 , C23C14/08 , C23C14/34
CPC分类号: H01L45/1625 , C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/35 , C23C14/505 , G11C13/0007 , G11C2213/15 , G11C2213/55 , H01L45/04 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/146 , H01L45/16
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公开(公告)号:TWI484619B
公开(公告)日:2015-05-11
申请号:TW102115371
申请日:2013-04-30
发明人: 彭永州 , PENG, YUNG CHOW , 周文昇 , CHOU, WEN SHEN , 黃睿政 , HUANG, JUI CHENG
IPC分类号: H01L27/04 , H01L27/105
CPC分类号: G06F17/5072 , H01L27/0207 , H01L27/04
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公开(公告)号:TW201515196A
公开(公告)日:2015-04-16
申请号:TW103121021
申请日:2014-06-18
申请人: 英特爾股份有限公司 , INTEL CORPORATION
发明人: 卡波夫 艾利潔 , KARPOV, ELIJAH V. , 道爾 布萊恩 , DOYLE, BRIAN S. , 沙 烏戴 , SHAH, UDAY , 喬 羅伯特 , CHAU, ROBERT S.
IPC分类号: H01L27/105 , H01L21/28
CPC分类号: H01L45/146 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/08 , H01L45/1233 , H01L45/1266
摘要: 說明了導電氧化物隨機存取記憶體(CORAM)單元及製造CORAM單元的方法。例如,一種用於一記憶體元件的材料層堆疊包括一第一導電電極。絕緣層係設置於第一導電氧化物上且具有內部具有側壁的一開口,其暴露第一導電電極的一部分。導電氧化物層係設置於開口中,在第一導電電極上且沿著開口的側壁。第二電極係設置於開口中,在導電氧化物層上。
简体摘要: 说明了导电氧化物随机存取内存(CORAM)单元及制造CORAM单元的方法。例如,一种用于一内存组件的材料层堆栈包括一第一导电电极。绝缘层系设置于第一导电氧化物上且具有内部具有侧壁的一开口,其暴露第一导电电极的一部分。导电氧化物层系设置于开口中,在第一导电电极上且沿着开口的侧壁。第二电极系设置于开口中,在导电氧化物层上。
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公开(公告)号:TW201511229A
公开(公告)日:2015-03-16
申请号:TW103116523
申请日:2014-05-09
申请人: PS4盧克斯科公司 , PS4 LUXCO S. A. R. L.
发明人: 迫信行 , SAKO, NOBUYUKI , 蓮沼英司 , HASUNUMA, EIJI , 大塚啓介 , OTSUKA, KEISUKE
IPC分类号: H01L27/105 , H01L21/28
CPC分类号: H01L27/10894 , H01L21/31144 , H01L21/32139 , H01L27/10852 , H01L28/92
摘要: 本發明係一種半導體裝置之製造方法,其中,半導體裝置之製造方法係於半導體基板的上方,形成包含具有上面及側面之突出部的導電層,於導電層之上方,一致性地依序形成板電極層,光罩層及光阻層,呈使對向於光阻層之突出部的上面及側面的部分殘留地,圖案化光阻層而使光罩層之一部分露出,將加以圖案化之光阻層作為光罩而蝕刻光罩層,除去光罩層之露出部分之同時,使經由此等所形成之光罩層之緣部後退,將蝕刻後殘留之光罩層作為光罩,而蝕刻板電極層者。
简体摘要: 本发明系一种半导体设备之制造方法,其中,半导体设备之制造方法系于半导体基板的上方,形成包含具有上面及侧面之突出部的导电层,于导电层之上方,一致性地依序形成板电极层,光罩层及光阻层,呈使对向于光阻层之突出部的上面及侧面的部分残留地,图案化光阻层而使光罩层之一部分露出,将加以图案化之光阻层作为光罩而蚀刻光罩层,除去光罩层之露出部分之同时,使经由此等所形成之光罩层之缘部后退,将蚀刻后残留之光罩层作为光罩,而蚀刻板电极层者。
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公开(公告)号:TWI475647B
公开(公告)日:2015-03-01
申请号:TW100143796
申请日:2011-11-29
申请人: 美光科技公司 , MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人: 合田晃 , GODA, AKIRA
IPC分类号: H01L21/8239 , H01L27/105
CPC分类号: G11C16/0483 , G11C7/00 , G11C16/0466 , G11C16/10 , G11C16/26 , H01L27/115 , H01L27/11519 , H01L27/11524 , H01L27/11556 , H01L27/11565 , H01L27/1157 , H01L27/11582 , H01L29/78 , H01L29/7889 , H01L29/7926
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公开(公告)号:TW201507106A
公开(公告)日:2015-02-16
申请号:TW103117218
申请日:2014-05-15
申请人: 新力股份有限公司 , SONY CORPORATION
发明人: 大森廣之 , OHMORI, HIROYUKI , 細見政功 , HOSOMI, MASANORI , 別所和宏 , BESSHO, KAZUHIRO , 肥後豊 , HIGO, YUTAKA , 山根一陽 , YAMANE, KAZUTAKA , 內田裕行 , UCHIDA, HIROYUKI
IPC分类号: H01L27/105 , H01L43/08 , H01L43/10 , G11C11/16
CPC分类号: H01L43/12 , G11C11/161 , H01L27/228 , H01L43/08
摘要: 本發明提供一種儲存元件,其包含一層結構,該層結構包含:一儲存層,其包含垂直於膜表面之磁化,其中對應於資訊改變磁化方向;一磁化固定層,其包含變成儲存於該儲存層上之資訊之一參考之垂直於該膜表面之磁化;一穿隧障壁層,其由提供於該儲存層與該磁化固定層之間之氧化物製成;及一自旋障壁層,其由經提供接觸該儲存層與接觸該穿隧障壁層之表面相對之側之表面之氧化物製成。一低電阻區域形成於經形成具有一預定設定膜厚度值之該自旋障壁層之一部分中,且藉由憑藉在該層結構之堆疊方向上流動之電流改變該儲存層之該磁化方向而執行該儲存層上之資訊儲存。
简体摘要: 本发明提供一种存储组件,其包含一层结构,该层结构包含:一存储层,其包含垂直于膜表面之磁化,其中对应于信息改变磁化方向;一磁化固定层,其包含变成存储于该存储层上之信息之一参考之垂直于该膜表面之磁化;一穿隧障壁层,其由提供于该存储层与该磁化固定层之间之氧化物制成;及一自旋障壁层,其由经提供接触该存储层与接触该穿隧障壁层之表面相对之侧之表面之氧化物制成。一低电阻区域形成于经形成具有一预定设置膜厚度值之该自旋障壁层之一部分中,且借由凭借在该层结构之堆栈方向上流动之电流改变该存储层之该磁化方向而运行该存储层上之信息存储。
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公开(公告)号:TW201503325A
公开(公告)日:2015-01-16
申请号:TW102123660
申请日:2013-07-02
发明人: 洪慶文 , HUNG, CHING WEN , 黃志森 , HUANG, CHIH SEN
IPC分类号: H01L27/105 , H01L23/52
摘要: 本發明揭示一種積體電路元件構造,其中,擴散區係形成於基板中,延伸導體結構與擴散區接觸並沿基板表面向外延伸至擴散區以外一位置,另一延伸導體結構與擴散區接觸,跳接導體結構跨置於二個延伸導體結構上而用以將此二者予以電連接,跳接導體結構可越過一或多個閘極結構,接觸結構穿過介電層而接觸跳接導體結構,金屬導線與接觸結構接觸。
简体摘要: 本发明揭示一种集成电路组件构造,其中,扩散区系形成于基板中,延伸导体结构与扩散区接触并沿基板表面向外延伸至扩散区以外一位置,另一延伸导体结构与扩散区接触,跳接导体结构跨置于二个延伸导体结构上而用以将此二者予以电连接,跳接导体结构可越过一或多个闸极结构,接触结构穿过介电层而接触跳接导体结构,金属导线与接触结构接触。
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公开(公告)号:TW201436175A
公开(公告)日:2014-09-16
申请号:TW103104280
申请日:2014-02-10
发明人: 李章熙 , LEE, JANG-HEE , 白宗玟 , BAEK, JONGMIN , 韓奎熙 , HAN, KYU-HEE , 崔吉鉉 , CHOI, GILHEYUN , 洪琮沅 , HONG, JONGWON
IPC分类号: H01L27/105 , H01L21/76
CPC分类号: H01L23/4821 , H01L21/764 , H01L21/7682 , H01L21/76832 , H01L21/76834 , H01L23/28 , H01L23/48 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , H01L2924/00 , H01L2924/0001
摘要: 一種半導體元件及其製造方法,包含在基板上的第一導線與覆蓋此第一導線的第一模塑層。此第一導線在鄰近的第一導線之間具有氣隙。此外,此第一導線的側壁與此第一模塑層的底面共同地定義各氣隙的第一間隙區。同時,此第一導線的側壁與此第一模塑層的頂面共同地定義各氣隙的第二間隙區。
简体摘要: 一种半导体组件及其制造方法,包含在基板上的第一导线与覆盖此第一导线的第一模塑层。此第一导线在邻近的第一导线之间具有气隙。此外,此第一导线的侧壁与此第一模塑层的底面共同地定义各气隙的第一间隙区。同时,此第一导线的侧壁与此第一模塑层的顶面共同地定义各气隙的第二间隙区。
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公开(公告)号:TWI447851B
公开(公告)日:2014-08-01
申请号:TW100119885
申请日:2011-06-07
发明人: 陳士弘 , CHEN, SHIH HUNG , 呂函庭 , LUE, HANG TING , 李鴻志 , LEE, HONG JI , 楊金成 , YANG, CHIN CHENG
IPC分类号: H01L21/768 , H01L23/52 , H01L27/105
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