公开(公告)号：US6121143A

公开(公告)日：2000-09-19

申请号：US933870

申请日：1997-09-19

申请人： Robert P. Messner ,  Carl R. Kessel ,  George G. Moore

发明人： Robert P. Messner ,  Carl R. Kessel ,  George G. Moore

IPC分类号： B24B37/04 ,  B24D3/00 ,  B24D3/32 ,  B24D3/34 ,  B29C70/58 ,  H01L21/304 ,  H01L21/302

CPC分类号： B24D3/00 ,  B24B37/04 ,  B24D3/32 ,  B24D3/34 ,  Y10T428/24388 ,  Y10T428/31

摘要： This invention relates to fixed abrasive articles and abrasive constructions containing at least one fluorochemical agent. The fixed abrasive articles and abrasive constructions are used in semiconductor wafer surface modification processes during the fabrication of semiconductor devices. Specifically, fixed abrasive articles comprise an abrasive composite that is coextensive with a backing and at least one fluorochemical agent associated with the composite. The invention further relates to methods of making fixed abrasive articles comprising at least one fluorochemical agent.

摘要翻译： 本发明涉及含有至少一种含氟化合物的固定磨料制品和研磨结构。 在制造半导体器件期间，将固定的磨料制品和研磨结构用于半导体晶片表面改性工艺中。 具体地，固定的磨料制品包括与背衬共同延伸的磨料复合材料和与复合材料相关联的至少一种含氟化合物。 本发明还涉及制备包含至少一种含氟化合物的固定磨料制品的方法。

公开(公告)号：US5958794A

公开(公告)日：1999-09-28

申请号：US694014

申请日：1996-08-08

申请人： Wesley J. Bruxvoort ,  Scott R. Culler ,  Kwok-Lun Ho ,  David A. Kaisaki ,  Carl R. Kessel ,  Thomas P. Klun ,  Heather K. Kranz ,  Robert P. Messner ,  Richard J. Webb ,  Julia P. Williams

发明人： Wesley J. Bruxvoort ,  Scott R. Culler ,  Kwok-Lun Ho ,  David A. Kaisaki ,  Carl R. Kessel ,  Thomas P. Klun ,  Heather K. Kranz ,  Robert P. Messner ,  Richard J. Webb ,  Julia P. Williams

IPC分类号： B24B1/00 ,  B24B7/22 ,  B24B21/04 ,  B24B37/04 ,  B24B53/007 ,  B24B53/017 ,  B24D3/00 ,  B24D3/02 ,  B24D3/28 ,  B24D11/00 ,  H01L21/304 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/302

CPC分类号： B24B53/017 ,  B24B21/04 ,  B24B37/042 ,  B24B7/228 ,  B24D11/00 ,  B24D3/28 ,  H01L21/31053

摘要： A method of modifying an exposed surface of a semiconductor wafer that includes the steps of:(a) contacting the surface with a fixed abrasive article having a three-dimensional textured abrasive surface that includes a plurality of abrasive particles and a binder in the form of a pre-determined pattern; and(b) relatively moving the wafer and the fixed abrasive article to modify said surface of the wafer.

摘要翻译： 一种修改半导体晶片的暴露表面的方法，其包括以下步骤：（a）使所述表面与具有三维纹理磨料表面的固定磨料制品接触，所述磨料制品包括多个研磨颗粒和粘合剂 一个预先确定的模式; 和（b）相对移动所述晶片和所述固定磨料制品以修改所述晶片的所述表面。

公开(公告)号：US4298752A

公开(公告)日：1981-11-03

申请号：US188883

申请日：1980-09-19

申请人： William G. Dauben ,  Carl R. Kessel ,  Kazuo H. Takemura

发明人： William G. Dauben ,  Carl R. Kessel ,  Kazuo H. Takemura

IPC分类号： C07D493/04 ,  C07D495/22 ,  C07D493/18

CPC分类号： C07D493/04

摘要： Novel cycloadducts are provided which may be formed between furan and 2,5-dihydrothiophene-3,4-dicarboxylic anhydride at elevated pressure. One of these cycloadducts is useful in a synthesis of cantharidin. Another yields a novel isomeric cantharidin.

摘要翻译： 提供了可以在高压下在呋喃和2,5-二氢噻吩-3,4-二羧酸酐之间形成的新型环加成物。 其中一种环加成物可用于合成斑ar素。 另外产生一种新的异构斑ar素。

公开(公告)号：US06479219B2

公开(公告)日：2002-11-12

申请号：US10035900

申请日：2001-12-26

申请人： Larry D. Boardman ,  Carl R. Kessel

发明人： Larry D. Boardman ,  Carl R. Kessel

IPC分类号： G03F7039

CPC分类号： G03F7/0392 ,  C08F8/42 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0758 ,  Y10S430/106

摘要： The polymers of the present invention are characterized by having at least one pendent acetal or ketal functional group in which at least two substituents of the acetal/ketal carbon atom independently comprise at least one silicon atom. The compositions of the present invention are useful as positive working resist compositions, in particular as the top imaging layer in a bilayer resist scheme for use in the manufacture of integrated circuits.

摘要翻译： 本发明的聚合物的特征在于具有至少一个侧链缩醛或缩酮官能团，其中缩醛/缩酮碳原子的至少两个取代基独立地包含至少一个硅原子。 本发明的组合物可用作正性抗蚀剂组合物，特别是用于制造集成电路的双层抗蚀剂方案中的顶部成像层。

公开(公告)号：US06359078B1

公开(公告)日：2002-03-19

申请号：US09351882

申请日：1999-07-13

申请人： Larry D. Boardman ,  Carl R. Kessel

发明人： Larry D. Boardman ,  Carl R. Kessel

IPC分类号： C08F800

CPC分类号： G03F7/0392 ,  C08F8/42 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0758 ,  Y10S430/106

摘要： The polymers of the present invention are characterized by having at least one pendent acetal or ketal functional group in which at least two substituents of the acetal/ketal carbon atom independently comprise at least one silicon atom. The compositions of the present invention are useful as positive working resist compositions, in particular as the top imaging layer in a bilayer resist scheme for use in the manufacture of integrated circuits.

公开(公告)号：US5733608A

公开(公告)日：1998-03-31

申请号：US585263

申请日：1996-01-11

申请人： Carl R. Kessel ,  William K. Leonard

发明人： Carl R. Kessel ,  William K. Leonard

IPC分类号： B05C5/00 ,  B05C5/02 ,  B05C9/02 ,  B05C9/06 ,  B05C11/06 ,  B05D1/30 ,  B05D1/36 ,  D21H23/70 ,  G03C1/74 ,  G11B5/842 ,  B05D1/26

CPC分类号： D21H23/70 ,  B05C11/06 ,  B05C5/008 ,  B05C9/02 ,  B05D1/305 ,  G03C1/74 ,  G11B5/842 ,  B05C9/06 ,  Y10S118/04

摘要： A system for coating a substrate with ultra-thin layers in stripes includes moving the substrate through a coating station and forming a composite layer including coating fluids and a carrier fluid. The composite layer flows at a rate that is sufficiently high to form a continuous flowing fluid bridge of composite layer to the substrate surface and to contact the substrate with the flowing composite layer to interpose the coating layers between the substrate and the carrier fluid. The carrier fluid is removed while leaving the coating fluid deposited on the substrate as a coating layer.

摘要翻译： 用于以条纹超薄层涂覆基材的系统包括使基底移动通过涂覆台并形成包括涂布液和载体流体的复合层。 复合层以足够高的速率流动以形成复合层的连续流动的桥接到基底表面，并使基底与流动的复合层接触以将涂层插入基底和载体流体之间。 移除载体流体，同时使沉积在基材上的涂布液作为涂层。

公开(公告)号：US5273805A

公开(公告)日：1993-12-28

申请号：US740323

申请日：1991-08-05

申请人： Clyde D. Calhoun ,  Carl R. Kessel

发明人： Clyde D. Calhoun ,  Carl R. Kessel

IPC分类号： B32B27/00 ,  B32B27/12 ,  C09J7/02 ,  B32B3/20

CPC分类号： C09J7/0232 ,  C09J7/0228 ,  C09J2483/005 ,  Y10S428/906 ,  Y10T428/1486 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24521 ,  Y10T428/24537 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/2462 ,  Y10T428/24678 ,  Y10T428/2486 ,  Y10T428/24959 ,  Y10T428/24967 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/268 ,  Y10T428/269 ,  Y10T428/2839 ,  Y10T428/31663

摘要： A flexible carrier web has a planar surface bearing thereon a predetermined pattern consisting of at least one flat land area and at least one recess having a base and walls, and a layer of silicone on the land and/or the base of the recess while the walls of the recess are substantially free from the silicone. When that flexible carrier web is used as the backing of a pressure-sensitive adhesive layer, release values can be controlled simply by selecting the size and/or number of recesses.

摘要翻译： 柔性载体网具有在其上具有预定图案的平坦表面，该预定图案由至少一个平坦的陆地区域和至少一个具有基部和壁的凹部以及在凹部的陆地和/或基部上的一层硅树脂组成，而 凹槽的壁基本上不含硅树脂。 当使用柔性载体纤维网作为压敏粘合剂层的背衬时，可以通过选择凹槽的尺寸和/或数量来简单地控制释放值。

公开(公告)号：US4822687A

公开(公告)日：1989-04-18

申请号：US146977

申请日：1988-01-22

申请人： Carl R. Kessel ,  Stephen W. Bany

发明人： Carl R. Kessel ,  Stephen W. Bany

IPC分类号： B32B7/06 ,  B32B27/00 ,  C08J5/00 ,  C09D183/06 ,  C09J7/02 ,  C08G77/20

CPC分类号： C09J7/0228 ,  C08K5/0025 ,  C09D183/06 ,  C09J2483/005 ,  Y10T428/31663

摘要： A composite structure comprises a substrate bearing on one or more surfaces a layer comprising an epoxypolysiloxane in which greater than 20% of the siloxane units are substituted by an oxiranyl group-substituted monovalent, non-cyclic, linear or branched aliphatic group. The composite structures can be adhesive roll and sheet materials in which the novel layer is a release coating.

公开(公告)号：US20080014532A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11457567

申请日：2006-07-14

申请人： Carl R. KESSEL ,  Larry D. Boardman ,  Richard J. Webb

发明人： Carl R. KESSEL ,  Larry D. Boardman ,  Richard J. Webb

IPC分类号： G03C5/00

CPC分类号： B32B37/12 ,  B24B7/228 ,  B32B2310/0806 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2221/68386 ,  Y10T428/31663

摘要： Provided is a laminated body comprising a substrate to be ground and a support, where the substrate may be ground to a very small (thin) thickness and can then be separated from the support without damaging the substrate. One embodiment is a laminated body comprising a substrate to be ground, a curable silicone adhesive layer in contact with the substrate to be ground, a photothermal conversion layer comprising a light absorbing agent and a heat decomposable resin, and a light transmitting support. After grinding the substrate surface which is opposite that in contact with the adhesive layer, the laminated body is irradiated through the light transmitting layer and the photothermal conversion layer decomposes to separate the substrate and the light transmitting support.

摘要翻译： 提供了一种层叠体，其包括待研磨的基底和支撑体，其中基底可被研磨成非常小（薄）的厚度，然后可以与支撑体分离而不损坏基底。 一个实施方案是一种层压体，其包括待研磨的基材，与待研磨基材接触的可固化的硅氧烷粘合剂层，包含光吸收剂和可热分解树脂的光热转换层和透光载体。 在与粘合剂层接触的基板表面研磨后，通过透光层照射层叠体，分解光热转换层，分离基板和透光支撑体。

公开(公告)号：US5462765A

公开(公告)日：1995-10-31

申请号：US138767

申请日：1993-12-22

申请人： Clyde D. Calhoun ,  Carl R. Kessel

发明人： Clyde D. Calhoun ,  Carl R. Kessel

IPC分类号： B32B27/00 ,  B32B27/12 ,  C09J7/02 ,  B05D5/10

CPC分类号： C09J7/0232 ,  C09J7/0228 ,  C09J2483/005 ,  Y10S428/906 ,  Y10T428/1486 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24521 ,  Y10T428/24537 ,  Y10T428/2457 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/2462 ,  Y10T428/24678 ,  Y10T428/2486 ,  Y10T428/24959 ,  Y10T428/24967 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/268 ,  Y10T428/269 ,  Y10T428/2839 ,  Y10T428/31663

摘要： The invention provides a method of making a flexible carrier web, comprising the steps ofa) forming on a planar surface of a flexible backing a pattern consisting of at least one flat land area and at least one recess, said recess having base and walls, said recess having an average depth of at least about 5 micrometers, andb) applying to said land area a layer of a silicone, andc) crosslinking said silicone such that said silicone does not flow into said recess.

摘要翻译： 本发明提供一种制造柔性载体网的方法，包括以下步骤：a）在柔性背衬的平坦表面上形成由至少一个平坦的陆地区域和至少一个凹部组成的图案，所述凹部具有基部和壁部， 所述凹槽具有至少约5微米的平均深度，以及b）将一层硅树脂施加到所述平台区域，以及c）使所述硅氧烷交联使得所述硅酮不会流入所述凹部。