公开(公告)号：US06467879B1

公开(公告)日：2002-10-22

申请号：US09687096

申请日：2000-10-16

申请人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

发明人： Joel A. Kubby ,  Elliott A. Eklund ,  Peter M. Gulvin

IPC分类号： B41J204

CPC分类号： F04B43/043 ,  B41J2/14314 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/052 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/053

摘要： A micro-electromechanical fluid ejector having an inner structure on the bottom of the top of the membrane for isolating the conductor, and an outer structure, away from the center of the membrane, on the bottom of the top of the membrane to stop excessive flexing of the membrane leading to inter-electrode contact.

摘要翻译： 微机电流体喷射器，其在膜的顶部底部具有用于隔离导体的内部结构，以及远离膜的中心的外部结构，位于膜的顶部的底部以阻止过度弯曲 的膜导致电极间接触。

公开(公告)号：US06990265B2

公开(公告)日：2006-01-24

申请号：US10721849

申请日：2003-11-25

申请人： Joel A. Kubby ,  Pinyen Lin ,  Jingkuang Chen ,  Yi Su

发明人： Joel A. Kubby ,  Pinyen Lin ,  Jingkuang Chen ,  Yi Su

IPC分类号： G02B6/26

CPC分类号： G02B6/356 ,  G02B6/12021 ,  G02B6/12033 ,  G02B6/2938 ,  G02B6/3508 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12097 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12145 ,  G02B2006/12164

摘要： A micro-optical device having an aligned waveguide switch. The device includes a stationary input part, a stationary output part and a movable part. The stationary input part and the stationary output part each have a plurality of input and output waveguides, respectively. The movable part has a plurality of switching waveguides and is movable relative to the stationary input and output parts. A stop block limits movement of the movable part in order to align at least one of the switching waveguides with the applicable input waveguide(s) and output waveguide(s). The movement of the movable part is substantially transverse.

摘要翻译： 具有对准的波导开关的微型光学器件。 该装置包括固定输入部分，固定输出部分和可动部分。 固定输入部分和固定输出部分别分别具有多个输入和输出波导。 可移动部件具有多个开关波导，并且可相对于固定的输入和输出部件移动。 止动块限制了可移动部件的移动，以便将至少一个开关波导与可应用的输入波导和输出波导对准。 可移动部件的运动基本上是横向的。

公开(公告)号：US07162112B2

公开(公告)日：2007-01-09

申请号：US10995965

申请日：2004-11-23

申请人： Pinyen Lin ,  Joel A. Kubby ,  Yao Rong Wang

发明人： Pinyen Lin ,  Joel A. Kubby ,  Yao Rong Wang

IPC分类号： G02B6/12 ,  G02B6/10 ,  G02B6/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： G02B6/3508 ,  G02B6/136 ,  G02B6/3544 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  G02B2006/12097

摘要： A method for forming a gap (16) of a width (d) which meets selected tolerance limits includes forming sidewalls (80, 82) in a microstructure, the sidewalls defining a gap (16) therebetween. The gap has a width defined between the sidewalls. The width of the gap between the sidewalls is determined. Where the determined width of the gap is below the selected tolerance limits for the width of the gap, the sidewalls are consumed to form a gap which meets the selected tolerance limits. The gap may be incorporated in a waveguide device (10) of a microswitch (100) and selectively connect input and output waveguides (130, 132).

摘要翻译： 用于形成宽度（d）的满足所选公差极限的间隙（16）的方法包括在微观结构中形成侧壁（80,82），所述侧壁在它们之间限定间隙（16）。 该间隙具有限定在侧壁之间的宽度。 确定侧壁之间的间隙的宽度。 在确定的间隙的宽度低于间隙宽度的所选公差极限的情况下，侧壁被消耗以形成满足所选公差极限的间隙。 该间隙可以结合在微动开关（100）的波导装置（10）中并选择性地连接输入和输出波导（130,132）。

公开(公告)号：US06658179B2

公开(公告)日：2003-12-02

申请号：US09986395

申请日：2001-11-08

申请人： Joel A. Kubby ,  Pinyen Lin ,  Jingkuang Chen ,  Yi Su

发明人： Joel A. Kubby ,  Pinyen Lin ,  Jingkuang Chen ,  Yi Su

IPC分类号： G02B612

CPC分类号： G02B6/356 ,  G02B6/12021 ,  G02B6/12033 ,  G02B6/2938 ,  G02B6/3508 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12097 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12145 ,  G02B2006/12164

摘要： A silicon demultiplexer, a plurality of silicon switches and a silicon multiplexer are monolithically integrated on a single silicon chip. In embodiments, the silicon demultiplexer and the silicon multiplexer each comprise a diffraction grating. In other embodiments, the silicon demultiplexer and the silicon multiplexer each comprise an arrayed waveguide grating. In various exemplary embodiments, the silicon optical switches comprise optical switches, micromachined torsion mirrors, electrostatic micromirrors, and/or tilting micromirrors. In use, an optical signal comprising a multiplexed data stream is input into the monolithic reconfigurable optical multiplexer. An optical signal that comprises a modified multiplexed data stream may be output. In an optical communications system, the silicon demultiplexer communicates with an input optical fiber, the plurality of silicon optical switches communicate between the silicon demultiplexer and the silicon multiplexer, and the silicon multiplexer communicates with an output optical fiber. In various embodiments, the optical switches are fabricated to be self-aligned.

摘要翻译： 硅解复用器，多个硅开关和硅多路复用器单片集成在单个硅芯片上。 在实施例中，硅解复用器和硅多路复用器各自包括衍射光栅。 在其他实施例中，硅解复用器和硅多路复用器均包括阵列波导光栅。 在各种示例性实施例中，硅光开关包括光开关，微机械扭转镜，静电微镜和/或倾斜微镜。 在使用中，包括复用数据流的光信号被输入到单片可重构光复用器。 可以输出包括修改的多路复用数据流的光信号。 在光通信系统中，硅解复用器与输入光纤通信，多个硅光开关在硅解复用器和硅多路复用器之间通信，并且硅复用器与输出光纤通信。 在各种实施例中，光开关被制造成自对准。

公开(公告)号：US20080061163A1

公开(公告)日：2008-03-13

申请号：US11650676

申请日：2007-01-08

申请人： Joel A. Kubby ,  Nancy Y. Jia ,  Edward Francis ,  Robert M. Duffner ,  Jun Ma ,  Cathie J. Burke ,  James C. Diehl

发明人： Joel A. Kubby ,  Nancy Y. Jia ,  Edward Francis ,  Robert M. Duffner ,  Jun Ma ,  Cathie J. Burke ,  James C. Diehl

IPC分类号： B05B1/08

CPC分类号： B05B12/082 ,  A01M1/205 ,  A61L9/14 ,  B05B12/12

摘要： A fluid dispensing device comprises one or more micromechanical fluid dispensing mechanisms arranged to dispense fluids into the atmosphere. The fluids include any of a perfume, pheromone, fragrance, disinfectant, moisturizer, humectant, miticide, fumigant, deodorizer, sanitizing agent and insecticide. A dispenser controller communicates with the fluid micromechanical dispensing mechanisms to selectively activate the fluid micromechanical dispensing mechanisms. Optionally, the fluid dispensing device includes a sensor to detect the airborne concentration of fluids that are dispersed in the atmosphere. Optionally, one or more fluid dispensing devices may be arranged to form a system, perhaps including a system sensor and a system controller.

摘要翻译： 流体分配装置包括布置成将流体分配到大气中的一个或多个微机械流体分配机构。 流体包括香料，信息素，香料，消毒剂，保湿剂，保湿剂，杀螨剂，熏蒸剂，除臭剂，消毒剂和杀虫剂中的任何一种。 分配器控制器与流体微机械分配机构连通，以选择性地启动流体微机械分配机构。 可选地，流体分配装置包括用于检测分散在大气中的流体的空气传播浓度的传感器。 可选地，一个或多个流体分配装置可以被布置成形成系统，可能包括系统传感器和系统控制器。

公开(公告)号：US07116855B2

公开(公告)日：2006-10-03

申请号：US10879094

申请日：2004-06-30

申请人： Fuqian Yang ,  Joel A. Kubby ,  Alex T. Tran ,  Jun Ma

发明人： Fuqian Yang ,  Joel A. Kubby ,  Alex T. Tran ,  Jun Ma

IPC分类号： G02B6/35

CPC分类号： G02B6/3508 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596

摘要： An optical shuttle system for routing signals in a communications system that includes a terminal connected to a power source, a shuttle that includes waveguides used for routing the signals, and a beam connected to the terminal and the shuttle so that the beam suspends the shuttle. When power from the power source is applied to the terminal, the beam drives a movement of the shuttle. Furthermore, a method of using an optical shuttle system for routing signals in a communications system, the method includes connecting a terminal to a power source, connecting a shuttle to a beam to suspend the shuttle, and applying power from the power source to the terminal so that the beam drives a movement of the shuttle in a direction substantially perpendicular to a direction of the beam.

摘要翻译： 一种用于在通信系统中路由信号的光梭系统，其包括连接到电源的终端，包括用于路由信号的波导的梭，以及连接到终端和梭的梁，使得梁悬挂在梭上。 当来自电源的电力施加到端子时，梁驱动梭子的运动。 此外，一种使用光梭系统在通信系统中路由信号的方法，所述方法包括将终端连接到电源，将梭子连接到波束以暂停梭子，以及将来自电源的功率施加到终端 使得光束在基本上垂直于光束的方向的方向上驱动梭子的运动。

公开(公告)号：US06416157B1

公开(公告)日：2002-07-09

申请号：US09164124

申请日：1998-09-30

申请人： Eric Peeters ,  Jaan Noolandi ,  Raj B. Apte ,  Philip D. Floyd ,  Jonathan A. Small ,  Gregory J. Kovacs ,  Meng H. Lean ,  Armin R. Volkel ,  Steven B. Bolte ,  An-Chang Shi ,  Frederick J. Endicott ,  Gregory B. Anderson ,  Dan A. Hays ,  Joel A. Kubby ,  Warren B. Jackson

发明人： Eric Peeters ,  Jaan Noolandi ,  Raj B. Apte ,  Philip D. Floyd ,  Jonathan A. Small ,  Gregory J. Kovacs ,  Meng H. Lean ,  Armin R. Volkel ,  Steven B. Bolte ,  An-Chang Shi ,  Frederick J. Endicott ,  Gregory B. Anderson ,  Dan A. Hays ,  Joel A. Kubby ,  Warren B. Jackson

IPC分类号： B41J214

CPC分类号： B41J2/01 ,  B41J2/14 ,  B41J2/211 ,  B41J2202/02

摘要： A method of marking employs a marking apparatus in which a propellant stream is passed through a channel and directed toward a substrate. Marking material, such as ink, toner, etc., is controllably introduced into the propellant stream and imparted with sufficient kinetic energy thereby to be made incident upon a substrate. At sufficient velocity, and with appropriate marking material, the marking material may be kinetically fused to the substrate. A multiplicity of channels for directing the propellant and marking material allow for high throughput, high resolution marking. Multiple marking materials may be introduced into the channel and mixed therein prior to being made incident on the substrate, or mixed or superimposed on the substrate without registration. One example is single-pass, full-color printing.

摘要翻译： 标记方法使用标记装置，其中推进剂流通过通道并指向基底。 诸如油墨，调色剂等的标记材料被可控地引入推进剂流中并且赋予足够的动能从而被入射到基底上。 在足够的速度下，并且使用适当的标记材料，标记材料可以与基底动力学融合。 用于引导推进剂和标记材料的多个通道允许高通量，高分辨率标记。 可以将多个标记材料引入通道中并在其入射到基板之前混合，或者混合或叠加在基板上而不进行配准。 一个例子是单程，全色打印。

公开(公告)号：US06362512B1

公开(公告)日：2002-03-26

申请号：US09468423

申请日：1999-12-21

申请人： Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Alex T. Tran

发明人： Joel A. Kubby ,  Jingkuang Chen ,  Alex T. Tran

IPC分类号： H01L2982

CPC分类号： B81B3/0083 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/0191 ,  B81C2201/053 ,  G02B6/4214

摘要： A device structure is defined in a single-crystal silicon (SCS) layer separated by an insulator layer, such as an oxide layer, from a handle wafer. The SCS can be attached to the insulator by wafer bonding, and is selectively etched, as by photolithographic patterning and dry etching. A sacrificial oxide layer can be deposited on the etched SCS, on which polysilicon can be deposited. A protective oxide layer is deposited, and CMOS circuitry and sensors are integrated. Silicon microstructures with sensors connected to CMOS circuitry are released. In addition, holes can be etched through the sacrificial oxide layer, sacrificial oxide can be deposited on the etched SCS, polysilicon can be deposited on the sacrificial oxide, PSG can be deposited on the polysilicon layer, which both can then be patterned.

摘要翻译： 器件结构被限定在由来自处理晶片的绝缘体层（例如氧化物层）分离的单晶硅（SCS）层中。 SCS可以通过晶片接合连接到绝缘体，并且通过光刻图案和干蚀刻被选择性地蚀刻。 可以在蚀刻的SCS上沉积牺牲氧化物层，在其上沉积多晶硅。 沉积保护性氧化物层，并集成CMOS电路和传感器。 释放了连接到CMOS电路的传感器的硅微结构。 此外，可以通过牺牲氧化物层蚀刻孔，牺牲氧化物可以沉积在蚀刻的SCS上，多晶硅可以沉积在牺牲氧化物上，PSG可以沉积在多晶硅层上，然后可以对其进行图案化。

公开(公告)号：US06249346B1

公开(公告)日：2001-06-19

申请号：US09467185

申请日：1999-12-20

申请人： Jingkuang Chen ,  Joel A. Kubby

发明人： Jingkuang Chen ,  Joel A. Kubby

IPC分类号： G01J336

CPC分类号： G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/2803

摘要： A micro spectrophotometer is monolithically constructed on a silicon substrate. The spectrophotometer includes a concave grating, which is used for dispersing optical waves as well as focusing reflected light onto a photodiode array sited on a silicon bridge. The silicon bridge is bent 90° from the surface of the silicon substrate in order to orthogonally intersect the output light from the grating. A precision notch is defined in the silicon substrate for coupling to an optical input fiber. Signal processing circuitry is etched on the substrate using conventional CMOS processes for initial processing of information received from the photodiode array.

摘要翻译： 微型分光光度计在硅衬底上单片构造。 分光光度计包括凹光栅，其用于分散光波以及将反射光聚焦到位于硅桥上的光电二极管阵列上。 硅桥从硅衬底的表面弯曲90°，以便与光栅的输出光正交相交。 在硅衬底中限定了用于耦合到光输入光纤的精密凹口。 使用常规CMOS工艺在衬底上蚀刻信号处理电路，用于对从光电二极管阵列接收的信息进行初始处理。

公开(公告)号：US6002507A

公开(公告)日：1999-12-14

申请号：US201738

申请日：1998-12-01

申请人： Philip D. Floyd ,  Decai Sun ,  Joel A. Kubby

发明人： Philip D. Floyd ,  Decai Sun ,  Joel A. Kubby

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC分类号： G02B26/10 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085

摘要： A solid state laser beam scanning system having a single crystal silicon deflection and scanning mirror integrated with a laser diode. By combining the techniques of deep reactive ion etching of silicon with solder bump bonding techniques, completed and tested laser diodes are integrated with silicon substrates supporting micro-electro-mechanical systems layers.