公开(公告)号：US20090302350A1

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：US12541763

申请日：2009-08-14

申请人： Suman Datta ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Jack T. Kavalieros ,  Mantu K. Hudait

发明人： Suman Datta ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Jack T. Kavalieros ,  Mantu K. Hudait

IPC分类号： H01L29/78

CPC分类号： H01L29/66636 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L29/165 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/7848 ,  Y10S438/933 ,  Y10S438/938

摘要： Enhancement mode transistors are described where a Group III-N compound is used in the source and drain regions to place tensile strain on the channel. The source and drain regions may be raised or embedded, and fabricated in conjunction with recessed or raised compression regions for p channel transistors.

摘要翻译： 描述了增强模式晶体管，其中在源极和漏极区域中使用III-N族化合物以在通道上施加拉伸应变。 源极和漏极区域可以被凸起或嵌入，并且与用于p沟道晶体管的凹陷或凸起的压缩区域一起制造。

公开(公告)号：US20090298266A1

公开(公告)日：2009-12-03

申请号：US12538828

申请日：2009-08-10

申请人： Mantu K. Hudait ,  Aaron A. Budrevich ,  Dmitri Loubychev ,  Jack T. Kavalieros ,  Suman Datta ,  Joel M. Fastenau ,  Amy W. Liu

发明人： Mantu K. Hudait ,  Aaron A. Budrevich ,  Dmitri Loubychev ,  Jack T. Kavalieros ,  Suman Datta ,  Joel M. Fastenau ,  Amy W. Liu

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： H01L29/205 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02463 ,  H01L21/02466 ,  H01L21/02502 ,  H01L21/02505 ,  H01L21/0251 ,  H01L21/02549 ,  H01L21/02584 ,  H01L29/365 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7784

摘要： A device grade III-V quantum well structure and method of manufacture is described. Embodiments of the present invention enable III-V InSb quantum well device layers with defect densities below 1×108 cm−2 to be formed. In an embodiment of the present invention, a delta doped layer is disposed on a dopant segregation barrier in order to confine delta dopant within the delta doped layer and suppress delta dopant surface segregation.

摘要翻译： 描述了器件级III-V量子阱结构及其制造方法。 本发明的实施例能够形成缺陷密度低于1×108cm-2的III-V InSb量子阱器件层。 在本发明的一个实施例中，Δ掺杂层设置在掺杂剂偏析屏障上，以便将δ掺杂剂限制在δ掺杂层内并抑制δ掺杂剂表面偏析。

公开(公告)号：US07592213B2

公开(公告)日：2009-09-22

申请号：US11323688

申请日：2005-12-29

申请人： Suman Datta ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Jack T. Kavalieros ,  Mantu K. Hudait

发明人： Suman Datta ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Jack T. Kavalieros ,  Mantu K. Hudait

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L29/66636 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L29/165 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/7848 ,  Y10S438/933 ,  Y10S438/938

摘要： Enhancement mode transistors are described where a Group III-N compound is used in the source and drain regions to place tensile strain on the channel. The source and drain regions may be raised or embedded, and fabricated in conjunction with recessed or raised compression regions for p channel transistors.

摘要翻译： 描述了增强模式晶体管，其中在源极和漏极区域中使用III-N族化合物以在通道上施加拉伸应变。 源极和漏极区域可以被凸起或嵌入，并且与用于p沟道晶体管的凹陷或凸起的压缩区域一起制造。

公开(公告)号：US20130234113A1

公开(公告)日：2013-09-12

申请号：US13870184

申请日：2013-04-25

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L29/15

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US08350291B2

公开(公告)日：2013-01-08

申请号：US13248197

申请日：2011-09-29

申请人： Mantu K. Hudait ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavalieros

发明人： Mantu K. Hudait ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Jack T. Kavalieros

IPC分类号： H01L29/78

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/1054 ,  H01L29/66795

摘要： Modulation-doped multi-gate devices are generally described. In one example, an apparatus includes a semiconductor substrate having a surface, one or more buffer films coupled to the surface of the semiconductor substrate, a first barrier film coupled to the one or more buffer films, a multi-gate fin coupled to the first barrier film, the multi-gate fin comprising a source region, a drain region, and a channel region of a multi-gate device wherein the channel region is disposed between the source region and the drain region, a spacer film coupled to the multi-gate fin, and a doped film coupled to the spacer film.

摘要翻译： 通常描述调制掺杂多栅极器件。 在一个示例中，设备包括具有表面的半导体衬底，耦合到半导体衬底的表面的一个或多个缓冲膜，耦合到该一个或多个缓冲膜的第一阻挡膜，耦合到第一 所述多栅极鳍片包括源极区域，漏极区域和多栅极器件的沟道区域，其中所述沟道区域设置在所述源极区域和所述漏极区域之间，间隔膜耦合到所述多栅极器件， 栅极鳍片以及耦合到间隔膜的掺杂膜。

公开(公告)号：US20120231596A1

公开(公告)日：2012-09-13

申请号：US13479121

申请日：2012-05-23

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L21/335

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US07759142B1

公开(公告)日：2010-07-20

申请号：US12347268

申请日：2008-12-31

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US09443936B2

公开(公告)日：2016-09-13

申请号：US13870184

申请日：2013-04-25

申请人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

发明人： Prashant Majhi ,  Mantu K. Hudait ,  Jack T. Kavalieros ,  Ravi Pillarisetty ,  Marko Radosavljevic ,  Gilbert Dewey ,  Titash Rakshit ,  Willman Tsai

IPC分类号： H01L29/15 ,  H01L21/285 ,  H01L21/768 ,  H01L29/417 ,  H01L29/66 ,  H01L29/778 ,  H01L29/78 ,  H01L29/80 ,  H01L29/165 ,  H01L29/51

CPC分类号： H01L29/66431 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76897 ,  H01L29/152 ,  H01L29/165 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/802

摘要： Embodiments described include straining transistor quantum well (QW) channel regions with metal source/drains, and conformal regrowth source/drains to impart a uni-axial strain in a MOS channel region. Removed portions of a channel layer may be filled with a junction material having a lattice spacing different than that of the channel material to causes a uni-axial strain in the channel, in addition to a bi-axial strain caused in the channel layer by a top barrier layer and a bottom buffer layer of the quantum well.

摘要翻译： 所描述的实施例包括具有金属源/漏极的应变晶体管量子阱（QW）沟道区，以及保形再生长源/漏极，以在MOS沟道区中赋予单轴应变。 沟道层的去除部分可以填充具有不同于沟道材料的晶格间隔的结合材料，以在通道中引起单轴应变，以及在沟道层中引起的双轴应变 顶部阻挡层和量子阱的底部缓冲层。

公开(公告)号：US20130146845A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：US13758974

申请日：2013-02-04

申请人： Ravi Pillarisetty ,  Benjamin Chu-Kung ,  Mantu K. Hudait ,  Marko Radiosavljevic ,  Jack T. Kavalieros ,  Willy Rachmady ,  Niloy Mukherjee ,  Robert S. Chau

发明人： Ravi Pillarisetty ,  Benjamin Chu-Kung ,  Mantu K. Hudait ,  Marko Radiosavljevic ,  Jack T. Kavalieros ,  Willy Rachmady ,  Niloy Mukherjee ,  Robert S. Chau

IPC分类号： H01L29/775

CPC分类号： H01L29/7784 ,  H01L29/151 ,  H01L29/155 ,  H01L29/201 ,  H01L29/205 ,  H01L29/401 ,  H01L29/41725 ,  H01L29/41775 ,  H01L29/42316 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/775 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/78

摘要： Techniques are disclosed for providing a low resistance self-aligned contacts to devices formed in a semiconductor heterostructure. The techniques can be used, for example, for forming contacts to the gate, source and drain regions of a quantum well transistor fabricated in III-V and SiGe/Ge material systems. Unlike conventional contact process flows which result in a relatively large space between the source/drain contacts to gate, the resulting source and drain contacts provided by the techniques described herein are self-aligned, in that each contact is aligned to the gate electrode and isolated therefrom via spacer material.

摘要翻译： 公开了用于向半导体异质结构中形成的器件提供低电阻自对准触点的技术。 这些技术可以用于例如形成与在III-V和SiGe / Ge材料系统中制造的量子阱晶体管的栅极，源极和漏极区的接触。 不同于在源极/漏极接触到栅极之间的相对大的空间的常规接触工艺流程，由本文所描述的技术提供的所得到的源极和漏极触点是自对准的，因为每个触点与栅电极对准并且被隔离 通过间隔材料。

公开(公告)号：US08183556B2

公开(公告)日：2012-05-22

申请号：US11305452

申请日：2005-12-15

申请人： Suman Datt{dot over (a)} ,  Mantu K. Hudait ,  Mark L. Doczy ,  Jack T. Kavalieros ,  Majumdar Amlan ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Matthew V. Metz ,  Robert S. Chau

发明人： Suman Datt{dot over (a)} ,  Mantu K. Hudait ,  Mark L. Doczy ,  Jack T. Kavalieros ,  Majumdar Amlan ,  Justin K. Brask ,  Been-Yih Jin ,  Matthew V. Metz ,  Robert S. Chau

IPC分类号： H01L21/84

CPC分类号： H01L29/7784 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02546 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823885 ,  H01L21/8252 ,  H01L27/0605 ,  H01L27/092 ,  H01L29/1054 ,  H01L29/122 ,  H01L29/15 ,  H01L29/157 ,  H01L29/205 ,  H01L29/41783 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/42376 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66522 ,  H01L29/7783

摘要： A CMOS device includes a PMOS transistor with a first quantum well structure and an NMOS device with a second quantum well structure. The PMOS and NMOS transistors are formed on a substrate.

摘要翻译： CMOS器件包括具有第一量子阱结构的PMOS晶体管和具有第二量子阱结构的NMOS器件。 PMOS和NMOS晶体管形成在衬底上。