公开(公告)号：US07952982B2

公开(公告)日：2011-05-31

申请号：US12215992

申请日：2008-06-30

申请人： Robert Chen ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

发明人： Robert Chen ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

IPC分类号： G11B9/00

CPC分类号： G11B9/02 ,  G11B9/065

摘要： A data storage medium includes a piezoelectric film (101) having a surface (111) including a halogen. In one embodiment, the halogen exists in an atomic concentration of at least approximately 10 percent. The result is a hydrophobic surface conducive to long-lasting scanning probe tips, low contamination, and stable surface charge. A data storage device incorporating the data storage medium includes an enclosure (205) containing the data storage medium and an adjacent scanning probe (230) wherein the enclosure has a relative humidity of at least approximately 40 percent and at least a portion of the scanning probe is coated with a layer of water.

摘要翻译： 数据存储介质包括具有包括卤素的表面（111）的压电膜（101）。 在一个实施方案中，卤素以至少约10％的原子浓度存在。 其结果是疏水性表面有利于长时间的扫描探针尖端，低污染和稳定的表面电荷。 结合数据存储介质的数据存储设备包括容纳数据存储介质的外壳（205）和相邻的扫描探针（230），其中外壳具有至少大约40％的相对湿度和扫描探针的至少一部分 涂有一层水。

公开(公告)号：US07358579B2

公开(公告)日：2008-04-15

申请号：US10185283

申请日：2002-06-28

申请人： Qing Ma ,  Tsung-Kuan Allen Chou ,  Valluri Rao

发明人： Qing Ma ,  Tsung-Kuan Allen Chou ,  Valluri Rao

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L29/82

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0353 ,  B81B2203/04 ,  B81C2201/056 ,  H01H1/20 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0036 ,  H01H2059/0063

摘要： A microelectromechanical system switch may include a relatively stiff cantilevered beam coupled, on its free end, to a more compliant or flexible extension. A contact may be positioned at the free end of the cantilevered beam. The extension reduces the actuation voltage that is needed and compensates for the relative stiffness of the cantilevered beam in closing the switch. In opening the switch, the stiffness of the cantilevered beam may advantageously enable quicker operation which may be desirable in higher frequency situations.

摘要翻译： 微机电系统开关可以包括在其自由端上耦合到更顺从或柔性延伸部的相对刚性的悬臂梁。 触点可以位于悬臂梁的自由端。 该延伸部分减小了所需的致动电压，并补偿了关闭开关时悬臂梁的相对刚度。 在打开开关时，悬臂梁的刚度可以有利地实现更快的操作，这在更高的频率情况下是可取的。

公开(公告)号：US06852926B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10106728

申请日：2002-03-26

申请人： Qing Ma ,  Valluri Rao ,  John Heck ,  Daniel Wong ,  Michele Berry

发明人： Qing Ma ,  Valluri Rao ,  John Heck ,  Daniel Wong ,  Michele Berry

IPC分类号： B81B7/00 ,  H01L23/10 ,  H05K5/06

CPC分类号： B81B7/0006 ,  H01L23/10 ,  H01L2224/05567 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

摘要： A MEMS device may be formed in a hermetic cavity by sealing a pair of semiconductor structures to one another, enclosing the MEMS device. The two structures may be coupled using surface mount techniques as one example, so that the temperatures utilized may be compatible with many MEMS applications. Electrical interconnection layers in one or the other of these structures may be utilized to allow electrical interconnections from the exterior world to the MEMS components within the cavity.

摘要翻译： 通过将一对半导体结构彼此密封，封装MEMS器件，MEMS器件可以形成在密封腔中。 两个结构可以使用表面贴装技术作为一个例子进行耦合，使得所使用的温度可以与许多MEMS应用相兼容。 这些结构中的一个或另一个中的电互连层可用于允许从外部世界到空腔内的MEMS部件的电互连。

公开(公告)号：US06808954B2

公开(公告)日：2004-10-26

申请号：US09949368

申请日：2001-09-07

申请人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

发明人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81B7/0077 ,  H03H3/0072 ,  H03H9/1057 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2431 ,  H03H9/2457 ,  H03H9/2463 ,  H03H2009/02503 ,  H03H2009/02511

摘要： A microelectromechanical (MEMS) resonator with a vacuum-cavity is fabricated using polysilicon-enabled release methods. A vacuum-cavity surrounding the MEMS beam is formed by removing release material that surrounds the beam and sealing the resulting cavity under vacuum by depositing a layer of nitride over the structure. The vacuum-cavity MEMS resonators have cantilever beams, bridge beams or breathing-bar beams.

摘要翻译： 具有真空腔的微机电（MEMS）谐振器是使用多晶硅启用释放方法制造的。 围绕MEMS光束的真空腔通过去除围绕光束的释放材料并通过在结构上沉积氮化层而在真空下密封所得空腔来形成。 真空腔MEMS谐振器具有悬臂梁，桥梁或呼吸杆梁。

公开(公告)号：US06753639B2

公开(公告)日：2004-06-22

申请号：US10386062

申请日：2003-03-10

申请人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

发明人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

IPC分类号： H02N200

CPC分类号： B81C1/0015 ,  B81B2201/0271 ,  B81C2201/053 ,  H03H9/02393 ,  H03H9/2405 ,  H03H2009/02511 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/4916

摘要： The invention relates to a microbeam oscillator. Tuning of the oscillator is carried out by addition or subtraction of material to an oscillator member in order to change the mass of the oscillator member.

摘要翻译： 本发明涉及一种微波振荡器。 振荡器的调谐是通过对振荡器元件进行加法或减法来实现的，以便改变振荡器元件的质量。

公开(公告)号：US06706981B1

公开(公告)日：2004-03-16

申请号：US10389725

申请日：2003-03-13

申请人： Qing Ma ,  Kramadhati V. Ravi ,  Valluri Rao

发明人： Qing Ma ,  Kramadhati V. Ravi ,  Valluri Rao

IPC分类号： H01H5700

CPC分类号： H01P1/127 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0052

摘要： A switch structure having multiple contact surfaces that may contact each other. One or more of the contact surfaces may be coated with a resilient material such as diamond.

摘要翻译： 具有可以彼此接触的多个接触表面的开关结构。 一个或多个接触表面可以用诸如金刚石的弹性材料涂覆。

公开(公告)号：US20090168635A1

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：US11964608

申请日：2007-12-26

申请人： QUAN ANH TRAN ,  Nathan R. Franklin ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

发明人： QUAN ANH TRAN ,  Nathan R. Franklin ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

IPC分类号： G11B9/00 ,  B05D5/12

CPC分类号： G11B9/02

摘要： A memory media and a method to provide same. The memory media includes: a media layer comprising a ferroelectric layer having a bottom surface and a top surface; a plurality of adjacent charge domains defined in the ferroelectric layer, the domains including alternating up domains and down domains each extending between the bottom surface and the top surface; and a trapped charge region adjacent a top surface of the media layer, the trapped charge region including charges in addition to the charges present in the charge domains at regions thereof other than regions adjacent the top surface of the media layer.

摘要翻译： 一种记忆媒体和一种提供相同的方法。 存储介质包括：介质层，其包括具有底表面和顶表面的铁电层; 限定在铁电体层中的多个相邻的电荷域，所述畴包括各自在底表面和顶表面之间延伸的交替域和下畴; 以及与介质层的顶表面相邻的捕获的电荷区域，除了存在于电荷区域中的电荷之外，捕获的电荷区域还包括除了与介质层的顶表面相邻的区域之外的区域中的电荷。

公开(公告)号：US07245057B2

公开(公告)日：2007-07-17

申请号：US10763779

申请日：2004-01-22

申请人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

发明人： Qing Ma ,  Peng Cheng ,  Valluri Rao

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： B81C1/0015 ,  B81B2201/0271 ,  B81C2201/053 ,  H03H9/02393 ,  H03H9/2405 ,  H03H2009/02511 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/4916

摘要： The invention relates to a microbeam oscillator. Tuning of the oscillator is carried out by addition or subtraction of material to an oscillator member in order to change the mass of the oscillator member.

摘要翻译： 本发明涉及一种微波振荡器。 振荡器的调谐是通过对振荡器元件进行加法或减法来实现的，以便改变振荡器元件的质量。

公开(公告)号：US20050062120A1

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：US10980516

申请日：2004-11-03

申请人： Qing Ma ,  Valluri Rao ,  John Heck ,  Daniel Wong ,  Michele Berry

发明人： Qing Ma ,  Valluri Rao ,  John Heck ,  Daniel Wong ,  Michele Berry

IPC分类号： B81B7/00 ,  H01L23/10 ,  H01L21/00 ,  G02B26/00 ,  H01L27/14 ,  H01L29/82

CPC分类号： B81B7/0006 ,  H01L23/10 ,  H01L2224/05567 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

摘要： A MEMS device may be formed in a hermetic cavity by sealing a pair of semiconductor structures to one another, enclosing the MEMS device. The two structures may be coupled using surface mount techniques as one example, so that the temperatures utilized may be compatible with many MEMS applications. Electrical interconnection layers in one or the other of these structures may be utilized to allow electrical interconnections from the exterior world to the MEMS components within the cavity.

公开(公告)号：US20090323506A1

公开(公告)日：2009-12-31

申请号：US12215992

申请日：2008-06-30

申请人： Robert Chen ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

发明人： Robert Chen ,  Qing Ma ,  Valluri Rao

IPC分类号： G11B9/00 ,  G11B3/70

CPC分类号： G11B9/02 ,  G11B9/065

摘要： A data storage medium includes a piezoelectric film (101) having a surface (111) including a halogen. In one embodiment, the halogen exists in an atomic concentration of at least approximately 10 percent. The result is a hydrophobic surface conducive to long-lasting scanning probe tips, low contamination, and stable surface charge. A data storage device incorporating the data storage medium includes an enclosure (205) containing the data storage medium and an adjacent scanning probe (230) wherein the enclosure has a relative humidity of at least approximately 40 percent and at least a portion of the scanning probe is coated with a layer of water.

摘要翻译： 数据存储介质包括具有包括卤素的表面（111）的压电膜（101）。 在一个实施方案中，卤素以至少约10％的原子浓度存在。 其结果是疏水性表面有利于长时间的扫描探针尖端，低污染和稳定的表面电荷。 结合数据存储介质的数据存储设备包括容纳数据存储介质的外壳（205）和相邻的扫描探针（230），其中外壳具有至少大约40％的相对湿度和扫描探针的至少一部分 涂有一层水。