公开(公告)号：US5991324A

公开(公告)日：1999-11-23

申请号：US41474

申请日：1998-03-11

申请人： David S. Knowles ,  James H. Azzola ,  Herve A. Besaucele ,  Palash P. Das ,  Alexander I. Ershov ,  Igor V. Fomenkov ,  Tibor Juhasz ,  Robert G. Ozarski ,  William N. Partlo ,  Daniel A. Rothweil ,  Richard L. Sandstrom ,  Richard C. Ujazdowski ,  Tom A. Watson ,  Richard M. Ness

发明人： David S. Knowles ,  James H. Azzola ,  Herve A. Besaucele ,  Palash P. Das ,  Alexander I. Ershov ,  Igor V. Fomenkov ,  Tibor Juhasz ,  Robert G. Ozarski ,  William N. Partlo ,  Daniel A. Rothweil ,  Richard L. Sandstrom ,  Richard C. Ujazdowski ,  Tom A. Watson ,  Richard M. Ness

IPC分类号： H01S3/038 ,  G03F7/20 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/139 ,  H01S3/225 ,  H01S3/22

CPC分类号： G01J9/0246 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/225 ,  H01S3/1392

摘要： A reliable, modular, production quality narrow-band KrF excimer laser capable of producing 10 mJ laser pulses at 1000 Hz with a bandwidth of about 0.6 pm or less. The present invention is especially suited to long-term round-the-clock operation in the lithographic production of integrated circuits. Improvements over prior art lasers include a single upstream preionizer tube and acoustic baffles. A preferred embodiment includes reduced fluorine concentration, an anode support bar shaped to reduce aerodynamic reaction forces on blower bearings, a modified pulse power system providing faster pulse rise time, an output coupler with substantially increased reflectivity, a line narrowing module with CaF prism beam expanders, a more accurate wavemeter, a laser computer controller programmed with new and improved pulse energy control algorithm.

摘要翻译： 一种可靠，模块化，生产质量好的窄带KrF准分子激光器，能够以1000Hz的频率产生10mJ的激光脉冲，带宽约为0.6μm或更小。 本发明特别适用于集成电路的平版印刷生产中的长期全天候操作。 现有技术的激光器的改进包括单个上游预分解器管和声学挡板。 优选的实施例包括减少的氟浓度，阳极支撑杆形状以减小鼓风机轴承上的空气动力反作用力，改进的脉冲电源系统提供更快的脉冲上升时间，输出耦合器具有显着增加的反射率，具有CaF棱镜扩束器的线窄化模块 ，更准确的波长计，激光计算机控制器编程，具有新的改进的脉冲能量控制算法。

公开(公告)号：US09066412B2

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：US12900762

申请日：2010-10-08

申请人： Alexander I. Ershov ,  Robert L. Morse ,  William N. Partlo ,  Christopher P. Pate

发明人： Alexander I. Ershov ,  Robert L. Morse ,  William N. Partlo ,  Christopher P. Pate

IPC分类号： G02B7/02 ,  G02B3/12 ,  G02B1/06 ,  H05G2/00 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： H05G2/008 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70891 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

摘要： Devices are described herein which may comprise an optic having a non-planar surface, the non-planar surface having an optically active portion; and a flow guide directing gas upon the non-planar surface to produce turbulent flow on at least a portion of the optically active portion of the non-planar surface to cool the optic.

摘要翻译： 本文描述的装置可以包括具有非平面表面的光学元件，非平面表面具有光学活性部分; 以及引导气体在非平面表面上的流动引导件，以在非平面表面的光学活性部分的至少一部分上产生湍流，以冷却光学元件。

公开(公告)号：US08908735B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US13231882

申请日：2011-09-13

申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J. W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J. W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

IPC分类号： H01S3/22 ,  H01S3/225 ,  H01S3/08 ,  H01S3/00 ,  H01S3/23 ,  H01S3/083 ,  H01S3/10

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/083 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2383 ,  H01S2301/02

摘要： A method and apparatus may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage.

摘要翻译： 一种方法和装置可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气放电激光系统，其可以包括种子激光振荡器，其产生包括可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的脉冲的激光输出光束的输出; 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级，其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出，以形成激光系统输出，其包括激光输出光束 脉冲，其可以包括环形功率放大级。

公开(公告)号：US20110253349A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：US12900762

申请日：2010-10-08

申请人： Alexander I. Ershov ,  Robert L. Morse ,  William N. Partlo ,  Christopher P. Pate

发明人： Alexander I. Ershov ,  Robert L. Morse ,  William N. Partlo ,  Christopher P. Pate

IPC分类号： F28F13/12

CPC分类号： H05G2/008 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70891 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

摘要： Devices are described herein which may comprise an optic having a non-planar surface, the non-planar surface having an optically active portion; and a flow guide directing gas upon the non-planar surface to produce turbulent flow on at least a portion of the optically active portion of the non-planar surface to cool the optic.

摘要翻译： 本文描述的装置可以包括具有非平面表面的光学元件，非平面表面具有光学活性部分; 以及引导气体在非平面表面上的流动引导件，以在非平面表面的光学活性部分的至少一部分上产生湍流，以冷却光学元件。

公开(公告)号：US07885309B2

公开(公告)日：2011-02-08

申请号：US11787180

申请日：2007-04-13

申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J. W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt ,  Richard L. Sandstrom ,  Ivan Lalovic

发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J. W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt ,  Richard L. Sandstrom ,  Ivan Lalovic

IPC分类号： H01S3/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/083 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2383 ,  H01S2301/02

摘要： A method and apparatus may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage.

公开(公告)号：US20100258748A1

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：US12720190

申请日：2010-03-09

申请人： Georgiy O. Vaschenko ,  William N. Partlo ,  Igor V. Fomenkov ,  Richard L. Sandstrom ,  Alexander I. Ershov ,  David Brandt ,  Joshua J. Miller

发明人： Georgiy O. Vaschenko ,  William N. Partlo ,  Igor V. Fomenkov ,  Richard L. Sandstrom ,  Alexander I. Ershov ,  David Brandt ,  Joshua J. Miller

IPC分类号： G21K5/02

CPC分类号： H05G2/005 ,  G03F7/70033 ,  G21K5/00 ,  H05G2/003 ,  H05G2/006

摘要： A system and method generating an extreme ultraviolet light in an extreme ultraviolet light chamber including a collector mirror, a droplet generation system having a droplet outlet aligned to output a plurality of droplets along a target material path and a first catch including a first open end substantially aligned to the target material path and at least one internal surface oriented toward a second end of the first catch, the second end being opposite from the first open end.

摘要翻译： 一种在包括收集反射镜的极紫外光室中产生极紫外光的系统和方法，具有液滴出口的液滴产生系统，该液滴产生系统沿着目标材料路径排列以输出多个液滴;以及第一捕集器，其基本上包括第一开口端 与目标材料路径对准并且至少一个内表面朝向第一卡扣的第二端定向，第二端与第一开口端相对。

公开(公告)号：US07596164B2

公开(公告)日：2009-09-29

申请号：US11376364

申请日：2006-03-15

申请人： John P. Fallon ,  John A. Rule ,  Robert N. Jacques ,  Jacob P. Lipcon ,  William N. Partlo ,  Alexander I. Ershov ,  Toshihiko Ishihara ,  John Meisner ,  Richard M. Ness ,  Paul C. Melcher

发明人： John P. Fallon ,  John A. Rule ,  Robert N. Jacques ,  Jacob P. Lipcon ,  William N. Partlo ,  Alexander I. Ershov ,  Toshihiko Ishihara ,  John Meisner ,  Richard M. Ness ,  Paul C. Melcher

IPC分类号： H01S3/223

CPC分类号： H01S3/097 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08031 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/10038 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

摘要： The present invention provides a control system for a modular high repetition rate two discharge chamber ultraviolet gas discharge laser. In preferred embodiments, the laser is a production line machine with a master oscillator producing a very narrow band seed beam which is amplified in the second discharge chamber. Novel control features specially adapted for a two-chamber gas discharge laser system include: (1) pulse energy controls, with nanosecond timing precision (2) precision pulse to pulse wavelength controls with high speed and extreme speed wavelength tuning (3) fast response gas temperature control and (4) F2 injection controls with novel learning algorithm.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于模块化高重复率两放电室紫外线气体放电激光器的控制系统。 在优选实施例中，激光器是具有主振荡器的生产线机器，该主振荡器产生在第二放电室中放大的非常窄的带状晶体束。 特别适用于双室气体放电激光系统的新型控制特征包括：（1）脉冲能量控制，具有纳秒定时精度（2）精确脉冲到脉冲波长控制，具有高速和极速波长调谐（3）快速响应气体 温度控制和（4）F2注入控制与新的学习算法。

公开(公告)号：US20080267242A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：US11981195

申请日：2007-10-30

申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov

IPC分类号： H01S3/225

CPC分类号： H01S3/2333 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/235 ,  H01S2301/02

摘要： A method/apparatus may comprise operating a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system by using a seed laser oscillator to produce an output which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module; a laser amplification stage which may comprise a ring power amplification stage; the method of operation may the steps of: selecting a differential timing between an electrical discharge between a pair of electrodes in the first laser chamber and in the second laser chamber which at the same time keeps ASE below a selected limit and the pulse energy of the laser system output light beam of pulses essentially constant.

摘要翻译： 方法/装置可以包括通过使用种子激光振荡器来操作线窄的脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统，以产生可包括第一气体放电准分子或分子氟激光室的输出; 线缩小模块; 可以包括环功率放大级的激光放大级; 操作方法可以是：选择第一激光室中的一对电极与第二激光室中的一对电极之间的放电之间的差分定时，同时使ASE保持在选定的极限以下，并且脉冲能量 激光系统输出光束的脉冲基本恒定。

公开(公告)号：US20080225908A1

公开(公告)日：2008-09-18

申请号：US11981449

申请日：2007-10-30

申请人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

发明人： Alexander I. Ershov ,  William N. Partlo ,  Daniel J.W. Brown ,  Igor V. Fomenkov ,  Robert A. Bergstedt

IPC分类号： H01S3/225

CPC分类号： H01S3/2333 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/105 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/235 ,  H01S3/2366

摘要： An apparatus/method which may comprise a line narrowed pulsed excimer or molecular fluorine gas discharge laser system which may comprise a seed laser oscillator producing an output comprising a seed laser output light beam of pulses which may comprise a first gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber; a line narrowing module within a first oscillator cavity; a laser amplification stage containing an amplifying gain medium in a second gas discharge excimer or molecular fluorine laser chamber receiving the output of the seed laser oscillator and amplifying the output of the seed laser oscillator to form a laser system output comprising a laser system output light beam of pulses, which may comprise a ring power amplification stage; a seed injection mechanism.

摘要翻译： 可以包括线变窄的脉冲准分子或分子氟气体放电激光系统的装置/方法，其可以包括种子激光振荡器，其产生包括种子激光输出的脉冲光束的输出，所述种子激光输出光束可以包括第一气体放电准分子或分子氟激光 房间 第一振荡器腔内的线窄模块; 在第二气体放电准分子或分子氟激光室中包含放大增益介质的激光放大级，其接收种子激光振荡器的输出并放大种子激光振荡器的输出，以形成激光系统输出，该激光系统输出包括激光系统输出光束 的脉冲，其可以包括环形功率放大级; 种子注射机制。

公开(公告)号：US07365349B2

公开(公告)日：2008-04-29

申请号：US11168190

申请日：2005-06-27

申请人： William N. Partlo ,  Alexander I. Ershov ,  Igor V. Fomenkov ,  Oleh Khodykin

发明人： William N. Partlo ,  Alexander I. Ershov ,  Igor V. Fomenkov ,  Oleh Khodykin

IPC分类号： H01J35/20

CPC分类号： H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70925 ,  G21K1/062 ,  H05G2/005

摘要： An apparatus and method for cleaning a plasma source material compound from a plasma produced EUV light source collector optic which may comprise reacting the plasma source material compound with hydrogen to form a hydride of the plasma source material from the plasma source material contained in the plasma source material compound on the collector optic. The method may further comprise initiating the reacting by introducing hydrogen into a plasma formation chamber containing the collector optic, and may further comprise removing the hydride from the collector optic, e.g., by cleaning plasma action and/or plasma source material sputtering, or other means as may be determined to be effective. An apparatus and method of extending the useful life of a plasma produced EUV light source collector coating layer may comprise in situ replacement of the material of the coating layer by deposition of the coating layer material onto the coating layer.

摘要翻译： 一种用于从等离子体产生的EUV光源收集器光学元件清洗等离子体源材料化合物的装置和方法，其可以包括使等离子体源材料化合物与氢反应以从等离子体源中包含的等离子体源材料形成等离子体源材料的氢化物 收集器光学元件上的材料化合物。 该方法还可以包括通过将氢引入到包含收集器光学元件的等离子体形成室中来引发反应，并且还可以包括例如通过清洗等离子体作用和/或等离子体源材料溅射或其它方法从收集器光学元件中去除氢化物 可能被确定为有效。 延长等离子体产生的EUV光源集电器涂层的使用寿命的装置和方法可包括通过将涂层材料沉积到涂层上来原位置换涂层的材料。