公开(公告)号：US20090098306A1

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：US12212844

申请日：2008-09-18

申请人： Boris Druz ,  Roger P. Fremgen, JR. ,  Alan V. Hayes ,  Viktor Kanarov ,  Robert Krause ,  Ira Reiss ,  Piero Sferlazzo

发明人： Boris Druz ,  Roger P. Fremgen, JR. ,  Alan V. Hayes ,  Viktor Kanarov ,  Robert Krause ,  Ira Reiss ,  Piero Sferlazzo

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： H01J37/3488 ,  C23C14/044 ,  C23C14/221 ,  C23C14/46 ,  H01J37/20 ,  H01J37/302 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32752 ,  H01J37/3441 ,  H01J37/3476 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3146

摘要： Method and apparatus for processing a substrate with an energetic particle beam. Features on the substrate are oriented relative to the energetic particle beam and the substrate is scanned through the energetic particle beam. The substrate is periodically indexed about its azimuthal axis of symmetry, while shielded from exposure to the energetic particle beam, to reorient the features relative to the major dimension of the beam.

摘要翻译： 用能量粒子束处理衬底的方法和设备。 衬底上的特征相对于能量粒子束定向，并且通过能量粒子束扫描衬底。 衬底围绕其方位角对称轴周期性地被索引，同时被屏蔽以免暴露于能量粒子束，以相对于梁的主要尺寸重新定向特征。

公开(公告)号：US09206500B2

公开(公告)日：2015-12-08

申请号：US12212844

申请日：2008-09-18

申请人： Boris Druz ,  Roger P. Fremgen, Jr. ,  Alan V. Hayes ,  Viktor Kanarov ,  Robert Krause ,  Ira Reiss ,  Piero Sferlazzo

发明人： Boris Druz ,  Roger P. Fremgen, Jr. ,  Alan V. Hayes ,  Viktor Kanarov ,  Robert Krause ,  Ira Reiss ,  Piero Sferlazzo

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/302 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3488 ,  C23C14/044 ,  C23C14/221 ,  C23C14/46 ,  H01J37/20 ,  H01J37/302 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32752 ,  H01J37/3441 ,  H01J37/3476 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/3146

摘要： Method and apparatus for processing a substrate with an energetic particle beam. Features on the substrate are oriented relative to the energetic particle beam and the substrate is scanned through the energetic particle beam. The substrate is periodically indexed about its azimuthal axis of symmetry, while shielded from exposure to the energetic particle beam, to reorient the features relative to the major dimension of the beam.

摘要翻译： 用能量粒子束处理衬底的方法和设备。 衬底上的特征相对于能量粒子束定向，并且通过能量粒子束扫描衬底。 衬底围绕其方位角对称轴周期性地被索引，同时被屏蔽以防止暴露于能量粒子束，以相对于束的主要尺寸重新定向特征。

公开(公告)号：US06225747B1

公开(公告)日：2001-05-01

申请号：US09371061

申请日：1999-08-09

申请人： Roger P. Fremgen, Jr. ,  John Jacob ,  Alan V. Hayes ,  Victor Kanarov ,  Edward W. Ostan ,  Abraham J. Navy ,  Emmanuel N. Lakios ,  Genrikh Treyger

发明人： Roger P. Fremgen, Jr. ,  John Jacob ,  Alan V. Hayes ,  Victor Kanarov ,  Edward W. Ostan ,  Abraham J. Navy ,  Emmanuel N. Lakios ,  Genrikh Treyger

IPC分类号： H01J2702

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/022

摘要： A control system and process for operating a charged-particle source which achieves gating of the charged-particle beam without a mechanical shutter and with very short transition between the beam “on” and beam “off” states is presented. The process and control system provide very precise control of the duration of the charged-particle extraction.

摘要翻译： 提出了一种用于操作带电粒子源的控制系统和过程，其实现了带有电荷的粒子束的门控，而没有机械快门，并且在光束“开”和光束“关闭”状态之间具有非常短的转换。 过程和控制系统提供对带电粒子提取持续时间的非常精确的控制。

公开(公告)号：US20120058630A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US12877775

申请日：2010-09-08

申请人： William E. Quinn ,  Alexander Gurary ,  Ajit Paranjpe ,  Maria D. Ferreira ,  Roger P. Fremgen, JR. ,  Eric A. Armour

发明人： William E. Quinn ,  Alexander Gurary ,  Ajit Paranjpe ,  Maria D. Ferreira ,  Roger P. Fremgen, JR. ,  Eric A. Armour

IPC分类号： H01L21/36 ,  C23C16/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/00 ,  C23C16/44

摘要： A linear cluster deposition system includes a plurality of reaction chambers positioned in a linear horizontal arrangement. First and second reactant gas manifolds are coupled to respective process gas input port of each of the reaction chambers. An exhaust gas manifold having a plurality of exhaust gas inputs is coupled to the exhaust gas output port of each of the plurality of reaction chambers. A substrate transport vehicle transports at least one of a substrate and a substrate carrier that supports at least one substrate into and out of substrate transfer ports of each of the reaction chambers. At least one of a flow rate of process gas into the process gas input port of each of the reaction chambers and a pressure in each of the reaction chambers being chosen so that process conditions are substantially the same in at least two of the reaction chambers.

摘要翻译： 线性簇沉积系统包括以线性水平布置定位的多个反应室。 第一和第二反应气体歧管连接到每个反应室的相应工艺气体输入口。 具有多个排气输入的废气歧管与多个反应室中的每一个的废气输出端口连接。 基板输送车辆将基板和基板载体中的至少一个输送到每个反应室的基板输送口中并至少支撑至少一个基板。 选择每个反应室的工艺气体进入工艺气体输入口的流量和每个反应室中的压力中的至少一个，使得工艺条件在至少两个反应室中基本相同。

公开(公告)号：US07183716B2

公开(公告)日：2007-02-27

申请号：US10772132

申请日：2004-02-04

申请人： Viktor Kanarov ,  Alan V. Hayes ,  Rustam Yevtukhov ,  Ira Reiss ,  Roger P. Fremgen, Jr. ,  Adrian Celaru ,  Kurt E. Williams ,  Carlos Fernando de Mello Borges ,  Boris L. Druz ,  Renga Rajan ,  Hari Hegde

发明人： Viktor Kanarov ,  Alan V. Hayes ,  Rustam Yevtukhov ,  Ira Reiss ,  Roger P. Fremgen, Jr. ,  Adrian Celaru ,  Kurt E. Williams ,  Carlos Fernando de Mello Borges ,  Boris L. Druz ,  Renga Rajan ,  Hari Hegde

IPC分类号： H01J7/24

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01J27/18 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32458 ,  H01L21/67069

摘要： A charged particle source utilizes a novel plasma processing chamber, RF coil and ion optics, to achieve high uniformity. The plasma processing chamber has a re-entrant vessel which is movable, and which includes extensions of adjustable shape or position, to make more uniform the plasma contained within the chamber. One or more magnets, which may be static or moving, may be included within the re-entrant vessel. The ion optics include a grid with a number of apertures, and tuning features each surrounding an aperture. These tuning features either reduce the diameter of the associated aperture, or increase the length of that aperture, to create more uniform beamlets emerging from the grid. The RF coil includes a flux concentrator positioned adjacent to the winding in at least one angular region thereof to tune the magnetic field produced thereby.

摘要翻译： 带电粒子源利用新颖的等离子体处理室，RF线圈和离子光学器件，以实现高均匀性。 等离子体处理室具有可移动的并且包括可调节形状或位置的延伸部的入口容器，以使包含在室内的等离子体更均匀。 一个或多个可以是静态或移动的磁体可以包括在重入容器内。 离子光学器件包括具有多个孔的栅格，以及每个围绕孔的调谐特征。 这些调谐功能可以减小相关孔径的直径，或增加该孔径的长度，从而形成从网格出现的更均匀的子束。 RF线圈包括在其至少一个角度区域中邻近绕组定位的磁通集中器，以调谐由此产生的磁场。

公开(公告)号：US5982101A

公开(公告)日：1999-11-09

申请号：US883696

申请日：1997-06-27

申请人： Roger P. Fremgen, Jr. ,  John Jacob ,  Alan V. Hayes ,  Victor Kanarov ,  Edward W. Ostan ,  Abraham J. Navy ,  Emmanuel N. Lakios ,  Genrikh Treyger

发明人： Roger P. Fremgen, Jr. ,  John Jacob ,  Alan V. Hayes ,  Victor Kanarov ,  Edward W. Ostan ,  Abraham J. Navy ,  Emmanuel N. Lakios ,  Genrikh Treyger

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H05H1/24

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/022

摘要： A control system and process for operating a charged-particle source which achieves gating of the charged-particle beam without a mechanical shutter and with very short transition between the beam "on" and beam "off" states is presented. The process and control system provide very precise control of the duration of the charged-particle extraction.

摘要翻译： 提出了一种用于操作带电粒子源的控制系统和过程，其实现了带有电荷的粒子束的门控，而没有机械快门，并且在光束“开”状态和光束“关闭”状态之间具有非常短的转换。 过程和控制系统提供对带电粒子提取持续时间的非常精确的控制。