公开(公告)号：US09278846B2

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：US13821793

申请日：2011-09-18

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01C19/56 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5755 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5712 ,  G01P15/08

CPC分类号： B81B3/0018 ,  B81C1/00158 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/084

摘要： The device layer of a 6-degrees-of-freedom (6-DOF) inertial measurement system can include a single proof-mass 6-axis inertial sensor formed in an x-y plane, the inertial sensor including: a main proof-mass section suspended about a single, central anchor; a central suspension system configured to suspend the 6-axis inertial sensor from the single, central anchor; and a drive electrode including a moving portion and a stationary portion, the moving portion coupled to the radial portion. The drive electrode and the central suspension system are configured to oscillate the 6-axis inertial sensor about a z-axis normal to the x-y plane.

摘要翻译： 6度自由度（6-DOF）惯性测量系统的装置层可以包括形成在xy平面上的单个质量6轴惯性传感器，该惯性传感器包括：悬挂的主要质量部分 关于一个单一的中心锚点; 中央悬挂系统，其构造成使所述6轴惯性传感器从所述单个中心锚固体悬挂; 以及包括移动部分和静止部分的驱动电极，所述移动部分联接到所述径向部分。 驱动电极和中央悬架系统被配置为围绕垂直于x-y平面的z轴摆动6轴惯性传感器。

公开(公告)号：US09246018B2

公开(公告)日：2016-01-26

申请号：US13821842

申请日：2011-09-18

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： G01P21/02 ,  H01L29/84 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P15/08

CPC分类号： H01L29/84 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/051 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/055 ,  B81B2203/056 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/094 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0848

摘要： This document discusses, among other things, a cap wafer and a via wafer configured to encapsulate a single proof-mass 3-axis gyroscope formed in an x-y plane of a device layer. The single proof-mass 3-axis gyroscope can include a main proof-mass section suspended about a single, central anchor, the main proof-mass section including a radial portion extending outward towards an edge of the 3-axis gyroscope sensor, a central suspension system configured to suspend the 3-axis gyroscope from the single, central anchor, and a drive electrode including a moving portion and a stationary portion, the moving portion coupled to the radial portion, wherein the drive electrode and the central suspension system are configured to oscillate the 3-axis gyroscope about a z-axis normal to the x-y plane at a drive frequency.

摘要翻译： 本文件尤其讨论了盖晶片和通孔晶片，其被配置为封装形成在器件层的x-y平面中的单个校准质量3轴陀螺仪。 单个质量3轴陀螺仪可以包括悬挂在单个中心锚杆上的主要质量部分，主要质量部分包括朝向3轴陀螺仪传感器的边缘向外延伸的径向部分，中心 悬架系统，其构造成将三轴陀螺仪从单个中心锚固件悬挂起来;以及驱动电极，其包括移动部分和固定部分，所述移动部分联接到所述径向部分，其中所述驱动电极和所述中央悬挂系统被配置 以驱动频率使三轴陀螺仪围绕垂直于xy平面的z轴摆动。

公开(公告)号：US08978475B2

公开(公告)日：2015-03-17

申请号：US13363537

申请日：2012-02-01

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： G01P15/18

CPC分类号： G01C19/5733 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0811 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/0848

摘要： This document discusses among other things apparatus and methods for a proof mass including split z-axis portions. An example proof mass can include a center portion configured to anchor the proof-mass to an adjacent layer, a first z-axis portion configure to rotate about a first axis using a first hinge, the first axis parallel to an x-y plane orthogonal to a z-axis, a second z-axis portion configure to rotate about a second axis using a second hinge, the second axis parallel to the x-y plane, wherein the first z-axis portion is configured to rotate independent of the second z-axis portion.

摘要翻译： 本文件还讨论了包括分离z轴部分的证明质量的装置和方法。 示例性质量块可以包括构造成将证明物质锚定到相邻层的中心部分，第一z轴部分构造成使用第一铰链围绕第一轴线旋转，第一轴线平行于与 z轴，第二z轴部分构造成使用第二铰链绕第二轴线旋转，第二轴线平行于xy平面，其中第一z轴部分构造成独立于第二z轴部分旋转 。

公开(公告)号：US08739626B2

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：US12849742

申请日：2010-08-03

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： G01C19/56

CPC分类号： G01C19/5712 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/0842 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

摘要： A micromachined inertial sensor with a single proof-mass for measuring 6-degree-of-motions. The single proof-mass includes a frame, an x-axis proof mass section attached to the frame by a first flexure, and a y-axis proof mass section attached to the frame by a second flexure. The single proof-mass is formed in a micromachined structural layer and is adapted to measure angular rates about three axes with a single drive motion and linear accelerations about the three axes.

摘要翻译： 具有单次质量的微加工惯性传感器，用于测量6度运动。 单个质量检测体包括框架，通过第一挠曲件附接到框架的x轴检验质量部分和通过第二挠曲附接到框架的y轴检验质量部分。 单个检验质量体形成在微加工结构层中，并适用于测量围绕三个轴的单个驱动运动和线性加速度的三个轴的角速度。

公开(公告)号：US20110270569A1

公开(公告)日：2011-11-03

申请号：US12930229

申请日：2010-12-30

申请人： Philip Jason Stephanou ,  Cenk Acar ,  Ravindra Vaman Shenoy ,  David William Burns ,  Justin Phelps Black ,  Kurt Edward Petersen ,  Srinivasan Kodaganallur Ganapathi

发明人： Philip Jason Stephanou ,  Cenk Acar ,  Ravindra Vaman Shenoy ,  David William Burns ,  Justin Phelps Black ,  Kurt Edward Petersen ,  Srinivasan Kodaganallur Ganapathi

IPC分类号： G01P15/09 ,  G06F15/00 ,  H05K13/00 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01C19/5769 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C25/00 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  H01L41/25 ,  H01L41/311 ,  H01L41/312 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155

摘要： This disclosure provides systems, methods and apparatus, including computer programs encoded on computer storage media, for making and using x-axis gyroscopes, y-axis gyroscopes, z-axis gyroscopes, two-axis accelerometers and three-axis accelerometers. Combining fabrication processes for such devices can enable the monolithic integration of six inertial sensing axes on a single substrate, such as a single glass substrate. Such devices may be included in a mobile device, such as a mobile display device.

摘要翻译： 本公开提供了系统，方法和装置，包括在计算机存储介质上编码的计算机程序，用于制造和使用x轴陀螺仪，y轴陀螺仪，z轴陀螺仪，双轴加速度计和三轴加速度计。 结合这样的装置的制造工艺可以使六个惯性感测轴在单个衬底（例如单个玻璃衬底）上的单片集成。 这样的设备可以被包括在诸如移动显示设备的移动设备中。

公开(公告)号：US20080092652A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11552006

申请日：2006-10-23

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： G01P15/14

CPC分类号： G01P15/18 ,  G01C19/5712 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084

摘要： Angular rate sensor for detecting rotation about first and second mutually perpendicular axes which has first and second masses coupled together for torsional drive mode oscillation of equal amplitude and opposite phase about third axes which are perpendicular to the first and second axes. The first mass is mounted for oscillation about the second axis in response to Coriolis forces produced by rotation about the first axis, and the second mass is mounted for oscillation about the first axis in response to Coriolis forces produced by rotation about the second axis. In some disclosed embodiments, the rate sensor also includes a pair of accelerometer masses which are connected together for torsional movement of equal amplitude and opposite phase about axes parallel to the third axes in response to acceleration along the second axis and for torsional movement of equal amplitude and opposite phase about axes parallel to the second axis in response to acceleration along the third axes.

摘要翻译： 角速率传感器，用于检测围绕第一和第二相互垂直轴线的旋转，第一和第二相互垂直的轴线具有耦合在一起的第一和第二质量块，用于扭转驱动模式振荡，其相对于垂直于第一和第二轴线的第三轴线等振幅和相位相位。 响应于通过围绕第一轴旋转而产生的科里奥利力，第一质量块被安装成围绕第二轴线振荡，并且响应于围绕第二轴线的旋转而产生的科里奥利力，安装第二质量块围绕第一轴线摆动。 在一些公开的实施例中，速率传感器还包括一对加速度计质量，其连接在一起，以响应于沿着第二轴线的加速度和相等振幅的扭转运动而相对于平行于第三轴线的轴线具有相等振幅和相反相位的扭转运动 并且响应于沿着第三轴的加速度，围绕与第二轴平行的轴线的相反相位。

公开(公告)号：US07222533B2

公开(公告)日：2007-05-29

申请号：US11146401

申请日：2005-06-06

申请人： Minyao Mao ,  Cenk Acar ,  Lynn Edward Costlow

发明人： Minyao Mao ,  Cenk Acar ,  Lynn Edward Costlow

IPC分类号： G01P9/04 ,  G01P15/08

CPC分类号： G01C19/5719

摘要： Rate sensor having a plurality of generally planar masses, a drive axis in the planes of the masses, an input axis perpendicular to the drive axis, and sense axes perpendicular to the drive axis and the input axis. The masses are driven to oscillate about the drive axes and are mounted for torsional movement about the sense axes in response to Coriolis forces produced by rotation of the masses about the input axis, with sensors responsive to the torsional movement about the sense axis for monitoring rate of rotation.

摘要翻译： 速率传感器具有多个大致平坦的质量，质量平面中的驱动轴，垂直于驱动轴的输入轴，以及垂直于驱动轴和输入轴的感测轴。 质量被驱动绕驱动轴摆动，并被安装成响应于通过围绕输入轴的质量的旋转而产生的科里奥利力而围绕传感轴的扭转运动，传感器响应于围绕感测轴的扭转运动以用于监测速率 的旋转。

公开(公告)号：US20060054983A1

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：US10943097

申请日：2004-09-15

申请人： Cenk Acar ,  Andrei Shkel

发明人： Cenk Acar ,  Andrei Shkel

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L29/94 ,  H01L27/20

CPC分类号： H02N1/008 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/051 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125

摘要： A MEMS device which utilizes a capacitive sensor or actuator is enhancement by initially fabricating the capacitive assembly which comprises the sensor or actuator as two sets of interdigitated fingers in a noninterdigitated configuration. One of the two sets of fingers is coupled to a movable stage. The stage is moved from an initial position to a post-release position in which the two sets of interdigitated fingers are interdigitated with each other. The stage is carried by two pairs flexures which maintain the stability of motion of the stage and when in the post-release position provide stiffness which prevents deflection of the set of fingers coupled to the stage. The stage and hence the assembled sets of fingers are then locked into the post-release position.

摘要翻译： 利用电容式传感器或致动器的MEMS器件通过最初制造包含传感器或致动器的电容性组件来增强，该电容式组件包括非指令配置的两组交叉指状物。 两组手指中的一组联接到可移动台。 舞台从初始位置移动到释放位置，其中两组交叉指状物彼此交错。 舞台通过两对弯曲进行，其保持舞台的运动的稳定性，并且当在释放位置时提供刚度，其防止联接到舞台的手指组的偏转。 然后将舞台和组合的手指组锁定到后释放位置。

公开(公告)号：US09000656B2

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：US13048798

申请日：2011-03-15

申请人： Justin Phelps Black ,  Srinivasan Kodaganallur Ganapathi ,  Philip Jason Stephanou ,  Kurt Edward Peterson ,  Cenk Acar ,  Ravindra Vaman Shenoy ,  Nicholas Ian Buchan

发明人： Justin Phelps Black ,  Srinivasan Kodaganallur Ganapathi ,  Philip Jason Stephanou ,  Kurt Edward Peterson ,  Cenk Acar ,  Ravindra Vaman Shenoy ,  Nicholas Ian Buchan

IPC分类号： H01L41/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/08 ,  G01C19/5769 ,  B81B3/00

CPC分类号： H01L41/1132 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/0242 ,  G01C19/5769 ,  H01L41/08 ,  H01L41/081

摘要： This disclosure provides systems, apparatus, and devices and methods of fabrication for electromechanical devices. In one implementation, an apparatus includes a metal proof mass and a piezoelectric component as part of a MEMS device. Such apparatus can be particularly useful for MEMS gyroscope devices. For instance, the metal proof mass, which may have a density several times larger than that of silicon, is capable of reducing the quadrature and bias error in a MEMS gyroscope device, and capable of increasing the sensitivity of the MEMS gyroscope device.

摘要翻译： 本公开提供了用于机电装置的系统，装置，装置和制造方法。 在一个实施方案中，装置包括作为MEMS器件的一部分的金属防爆质量体和压电部件。 这种装置对于MEMS陀螺仪装置尤其有用。 例如，可能具有比硅的密度大几倍的密度的金属质量块能够降低MEMS陀螺仪器件中的正交和偏置误差，并且能够增加MEMS陀螺仪器件的灵敏度。

公开(公告)号：US20130328139A1

公开(公告)日：2013-12-12

申请号：US13821842

申请日：2011-09-18

申请人： Cenk Acar

发明人： Cenk Acar

IPC分类号： H01L29/84

CPC分类号： H01L29/84 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/051 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/055 ,  B81B2203/056 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/094 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0848

摘要： This document discusses, among other things, a cap wafer and a via wafer configured to encapsulate a single proof-mass 3-axis gyroscope formed in an x-y plane of a device layer. The single proof-mass 3-axis gyroscope can include a main proof-mass section suspended about a single, central anchor, the main proof-mass section including a radial portion extending outward towards an edge of the 3-axis gyroscope sensor, a central suspension system configured to suspend the 3-axis gyroscope from the single, central anchor, and a drive electrode including a moving portion and a stationary portion, the moving portion coupled to the radial portion, wherein the drive electrode and the central suspension system are configured to oscillate the 3-axis gyroscope about a z-axis normal to the x-y plane at a drive frequency.

摘要翻译： 本文件尤其讨论了盖晶片和通孔晶片，其被配置为封装形成在器件层的x-y平面中的单个校准质量3轴陀螺仪。 单个质量3轴陀螺仪可以包括悬挂在单个中心锚杆上的主要质量部分，主要质量部分包括朝向3轴陀螺仪传感器的边缘向外延伸的径向部分，中心 悬架系统，其构造成将三轴陀螺仪从单个中心锚固件悬挂起来;以及驱动电极，其包括移动部分和固定部分，所述移动部分联接到所述径向部分，其中所述驱动电极和所述中央悬挂系统被配置 以驱动频率使三轴陀螺仪围绕垂直于xy平面的z轴摆动。