公开(公告)号：US20080092803A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11955845

申请日：2007-12-13

申请人： John Randall ,  Jingping Peng ,  Jun-Fu Liu ,  George Skidmore ,  Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Robert Folaron

发明人： John Randall ,  Jingping Peng ,  Jun-Fu Liu ,  George Skidmore ,  Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Robert Folaron

IPC分类号： C30B25/04 ,  C30B23/00

CPC分类号： C30B25/14 ,  C30B25/04

摘要： A patterned layer is formed by removing nanoscale passivating particle from a first plurality of nanoscale structural particles or by adding nanoscale passivating particles to the first plurality of nanoscale structural particles. Each of a second plurality of nanoscale structural particles is deposited on each of corresponding ones of the first plurality of nanoscale structural particles that is not passivated by one of the plurality of nanoscale passivating particles.

摘要翻译： 通过从第一多个纳米尺度结构颗粒中去除纳米尺度钝化颗粒或通过将纳米尺度钝化颗粒添加到第一多个纳米级结构颗粒而形成图案层。 第二多个纳米尺度结构颗粒中的每一个沉积在第一多个纳米尺度结构颗粒中的相应的一个纳米级结构颗粒中，其不被多个纳米级钝化颗粒之一钝化。

公开(公告)号：US20050223968A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US11089814

申请日：2005-03-25

申请人： John Randall ,  Jingping Peng ,  Jun-Fu Liu ,  George Skidmore ,  Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Robert Folaron

发明人： John Randall ,  Jingping Peng ,  Jun-Fu Liu ,  George Skidmore ,  Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Robert Folaron

IPC分类号： C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  C30B25/04 ,  C30B25/14 ,  C30B28/12 ,  C30B28/14 ,  C30B29/08

CPC分类号： C30B25/14 ,  C30B25/04

摘要： A patterned layer is formed by removing nanoscale passivating particle from a first plurality of nanoscale structural particles or by adding nanoscale passivating particles to the first plurality of nanoscale structural particles. Each of a second plurality of nanoscale structural particles is deposited on each of corresponding ones of the first plurality of nanoscale structural particles that is not passivated by one of the plurality of nanoscale passivating particles.

摘要翻译： 通过从第一多个纳米尺度结构颗粒中去除纳米尺度钝化颗粒或通过将纳米尺度钝化颗粒添加到第一多个纳米尺度结构颗粒中而形成图案层。 第二多个纳米尺度结构颗粒中的每一个沉积在第一多个纳米尺度结构颗粒中的相应的一个纳米级结构颗粒中，其不被多个纳米级钝化颗粒之一钝化。

公开(公告)号：US20060192116A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11064127

申请日：2005-02-23

申请人： Christof Baur ,  Robert Folaron ,  Adam Hartman ,  Philip Foster ,  Jay Nelson ,  Richard Stallcup

发明人： Christof Baur ,  Robert Folaron ,  Adam Hartman ,  Philip Foster ,  Jay Nelson ,  Richard Stallcup

IPC分类号： G01N23/00 ,  G21K7/00

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/307 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2594 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745

摘要： An apparatus including a positioner control device, a measuring device and a control routine. The positioner control device is communicatively coupled to a chamber of a charged particle beam device (CPBD) and is configured to individually manipulate each of a plurality of probes within the CPBD chamber to establish contact between ones of the plurality of probes and corresponding ones of a plurality of contact points of a sample positioned in the CPBD chamber. The measuring device is communicatively coupled to the CPBD and the positioner control device and is configured to perform one of a measurement and a detection of a characteristic associated with one of the plurality of contact points. The control routine is configured to at least partially automate control of at least one of the CPBD, the positioner control device and the measuring device.

摘要翻译： 一种包括定位器控制装置，测量装置和控制程序的装置。 定位器控制装置通信地耦合到带电粒子束装置（CPBD）的腔室，并且被配置为单独地操作CPBD室内的多个探针中的每一个，以建立多个探针中的一个探针和 位于CPBD室中的样品的多个接触点。 测量装置通信地耦合到CPBD和定位器控制装置，并被配置为执行与多个接触点之一相关联的特性的测量和检测中的一个。 控制程序被配置为至少部分地自动化对CPBD，定位器控制装置和测量装置中的至少一个的控制。

公开(公告)号：US20050077468A1

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：US10684120

申请日：2003-10-10

申请人： Christof Baur ,  Richard Stallcup

发明人： Christof Baur ,  Richard Stallcup

IPC分类号： G01Q60/00 ,  B82B3/00 ,  G01N23/00 ,  G01Q80/00

CPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/85 ,  Y10S977/852 ,  Y10S977/858

摘要： A method for manipulating a nanoscale object deposited on a substrate. The surface of the substrate is passive. A target position is formed on the passive surface by the action of the tip of a scanning probe microscope. The nanoscale object is picked from its initial position by the tip of the scanning probe microscope, then placed and released at the target position.

摘要翻译： 一种用于操纵沉积在衬底上的纳米级物体的方法。 基板的表面是被动的。 通过扫描探针显微镜的尖端的作用，在被动面上形成目标位置。 通过扫描探针显微镜的尖端从其初始位置拾取纳米级物体，然后放置并释放在目标位置。

公开(公告)号：US20050184028A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US11064131

申请日：2005-02-23

申请人： Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Adam Hartman

发明人： Christof Baur ,  Richard Stallcup ,  Adam Hartman

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/00 ,  G01R31/305 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/307 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2594 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745

摘要： A method including positioning a first probe tip of a first probe proximate a second probe tip of a second probe and heating at least one of the first and second probe tips such that a portion of probe material forming the at least one of the first and second probe tips dislodges to sharpen the at least one of the first and second probe tips.

摘要翻译： 一种方法，包括将第一探针的第一探针末端定位在第二探针的第二探针尖端附近并加热第一和第二探针尖端中的至少一个，使得探针材料的形成第一和第二探针末端中的至少一个的部分 探针尖端移除以锐化第一和第二探针尖端中的至少一个。

公开(公告)号：US20050184236A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US11063692

申请日：2005-02-23

申请人： Christof Baur ,  Richard Stallcup

发明人： Christof Baur ,  Richard Stallcup

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/00 ,  G01R31/305 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/307 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2594 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745

摘要： A method including directing a first electrical signal to at least one of a plurality of probes each positioned within a chamber of a charged particle beam device. At least one of the plurality of probes is exposed to a charged particle beam of the charged particle beam device, and a second electrical signal is compared to the first electrical signal to determine a characteristic associated with the at least one of the plurality of probes.

摘要翻译： 一种方法，包括将第一电信号引导到多个探针中的至少一个，每个探针定位在带电粒子束装置的腔室内。 将多个探针中的至少一个暴露于带电粒子束装置的带电粒子束，并将第二电信号与第一电信号进行比较，以确定与多个探针中的至少一个探针相关联的特性。