利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

49 条记录 (耗时 0.028 秒)

    Scanning electron microscope having time constant measurement capability
    2.
    发明授权
    Scanning electron microscope having time constant measurement capability 有权
    具有时间常数测量能力的扫描电子显微镜

    公开(公告)号：US08274048B2

    公开(公告)日：2012-09-25

    申请号：US12823296

    申请日：2010-06-25

    申请人： Akira Ikegami ,  Hideyuki Kazumi ,  Koichiro Takeuchi ,  Atsushi Kobaru ,  Seiko Oomori

    发明人： Akira Ikegami ,  Hideyuki Kazumi ,  Koichiro Takeuchi ,  Atsushi Kobaru ,  Seiko Oomori

    IPC分类号： G01N23/00

    CPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449

    摘要： In a scanning electron microscope, an optimum scanning method for reducing the amount of deflection of a primary electron beam and secondary electrons is determined to acquire stable images. An energy filter is used to discriminate between energy levels. The change in yield of obtained electrons is used to measure the variation in specimen potential. The time constant of charging created during electron beam irradiation is extracted. The scanning method is optimized based on the extracted time constant to reduce the distortion and magnification variation that appear in a SEM image.

    摘要翻译： 在扫描电子显微镜中，确定用于减少一次电子束和二次电子的偏转量的最佳扫描方法以获得稳定的图像。 能量滤波器用于区分能级。 获得的电子的产量变化用于测量样品电位的变化。 提取电子束照射期间产生的充电时间常数。 基于提取的时间常数优化扫描方法，以减少出现在SEM图像中的失真和放大变化。

    Observation Method With Electron Beam
    4.
    发明申请
    Observation Method With Electron Beam 有权
    电子束观测方法

    公开(公告)号：US20080265160A1

    公开(公告)日：2008-10-30

    申请号：US11871687

    申请日：2007-10-12

    申请人： Yuki OJIMA ,  Satoru Iwama ,  Akira Ikegami

    发明人： Yuki OJIMA ,  Satoru Iwama ,  Akira Ikegami

    IPC分类号： G01N23/04

    CPC分类号： G01N23/04

    摘要： For the purpose of repeatedly observing the bottom of a contact hole with a high aspect ratio, the potential of an electrostatic charge in each of a pattern to be observed and a vicinity of a range to be observed is stabilized by pre-charging a range on which to irradiate a beam of electrons while changing the range on a step-by-step basis.

    摘要翻译： 为了重复观察高纵横比的接触孔的底部，通过预充电一个范围来稳定要观察的图案和要观察的范围附近的静电电荷的电位 其在逐步改变范围的同时照射电子束。

    Low temperature-sinterable dielectric composition and thick film capacitor using the same
    7.
    发明授权
    Low temperature-sinterable dielectric composition and thick film capacitor using the same 失效
    低温烧结电介质组合物和使用其的厚膜电容器

    公开(公告)号：US4308571A

    公开(公告)日：1981-12-29

    申请号：US134281

    申请日：1980-03-26

    申请人： Hirayoshi Tanei ,  Akira Ikegami ,  Noriyuki Taguchi ,  Katsuo Abe ,  Hiroshi Ohtsu ,  Tokio Isogai

    发明人： Hirayoshi Tanei ,  Akira Ikegami ,  Noriyuki Taguchi ,  Katsuo Abe ,  Hiroshi Ohtsu ,  Tokio Isogai

    IPC分类号： C04B35/46 ,  C04B35/472 ,  C04B35/499 ,  H01B3/12 ,  H01G4/12

    CPC分类号： H01G4/1263 ,  C04B35/472 ,  C04B35/499

    摘要： A low temperature-sinterable dielectric composition is provided, whose sintered composition when prepared by firing a uniform mixture consisting of lead ferrotungstate, lead titanate and manganese dioxide at a temperature of not higher than 1,000.degree. C. has the general formula A.Pb(Fe.sub.2/3 W.sub.1/3).sub.1-x Ti.sub.x O.sub.3 +B.MnO.sub.2, wherein 0.005.ltoreq..times..ltoreq.0.65, A=0.95-0.9995, and B=0.0005-0.05, a relative dielectric constant of at least 2,000 at 25.degree. C., a dissipation factor (tan .delta.) of not more than 5% at 25.degree. C., and a specific resistance of at least 10.sup.9 .OMEGA..cm at 25.degree. C. Also provided is a thick film capacitor having a dielectric layer prepared from said composition.

    摘要翻译： 提供了一种低温可烧结电介质组合物，其烧结组合物通过在不高于1000℃的温度下焙烧由钨酸铅，钛酸铅和二氧化锰组成的均匀混合物制备，具有通式A.Pb（Fe2 其中0.005≤x≤0.65，A = 0.95-0.9995和B = 0.0005-0.05，在25℃下的相对介电常数至少为2000。 ，在25℃下的损耗因子（tanδ）不超过5％，在25℃下的电阻率为至少为10Ω.EGEGA·cm。还提供了一种厚膜电容器，其具有由所述 组成。