公开(公告)号：US20070127140A1

公开(公告)日：2007-06-07

申请号：US11523845

申请日：2006-09-20

申请人： Steffen Reichel ,  Wolfram Beier ,  Frank-Thomas Lentes ,  Yoshio Okano ,  Jochen Alkemper ,  Jose Zimmer ,  Joseph Hayden ,  Carsten Weinhold ,  Ulrich Peuchert ,  Martin Letz

发明人： Steffen Reichel ,  Wolfram Beier ,  Frank-Thomas Lentes ,  Yoshio Okano ,  Jochen Alkemper ,  Jose Zimmer ,  Joseph Hayden ,  Carsten Weinhold ,  Ulrich Peuchert ,  Martin Letz

IPC分类号： G02B9/00

CPC分类号： G02B1/02 ,  C04B35/486 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/81 ,  C04B2235/9653

摘要： The optical elements are made from an opto-ceramic material that is characterized by high density, transparency for visible light and IR, high refractive index, high Abbe number and outstanding relative partial dispersion. Mixed oxides are sintered to obtain the opto-ceramic material. The mixed oxides contain zirconium oxide and hafnium oxide mixed with one or more oxides of yttrium, scandium, lanthanide elements, and optionally mixed with one or more of SiO2, Na2O, and TiO2. Alternatively the mixed oxides contain zirconium oxide and hafnium oxide mixed with CaO and/or MgO and optionally mixed with one or more of SiO2, Na2O, and TiO2. In addition, the mixed oxides can also include one or more oxides of Al, Ga, In, and Sc; optionally one or more oxides of yttrium, some lanthanide elements; and optionally one or more of SiO2, Na2O, MgO, CaO, and TiO2.

摘要翻译： 光学元件由光学陶瓷材料制成，其特征在于高密度，可见光和IR的透明度，高折射率，高阿贝数和优异的相对部分色散。 混合氧化物被烧结以获得光陶瓷材料。 混合氧化物含有与一种或多种钇，钪，镧系元素的氧化物混合的氧化锆和氧化铪，并且任选地与一种或多种SiO 2，Na 2 O 3混合， O和TiO 2。 或者，混合氧化物含有与CaO和/或MgO混合的氧化锆和氧化铪，并且任选与SiO 2，Na 2 O和TiO 2中的一种或多种混合 > 2 。 此外，混合氧化物还可以包括一种或多种Al，Ga，In和Sc的氧化物; 任选的一种或多种钇氧化物，一些镧系元素; 和任选的一种或多种SiO 2，Na 2 O，MgO，CaO和TiO 2。

公开(公告)号：US07324285B2

公开(公告)日：2008-01-29

申请号：US11523845

申请日：2006-09-20

申请人： Steffen Reichel ,  Wolfram Beier ,  Frank-Thomas Lentes ,  Yoshio Okano ,  Jochen Alkemper ,  Jose Zimmer ,  Joseph S. Hayden ,  Carsten Weinhold ,  Ulrich Peuchert ,  Martin Letz

发明人： Steffen Reichel ,  Wolfram Beier ,  Frank-Thomas Lentes ,  Yoshio Okano ,  Jochen Alkemper ,  Jose Zimmer ,  Joseph S. Hayden ,  Carsten Weinhold ,  Ulrich Peuchert ,  Martin Letz

IPC分类号： G02B1/00 ,  G02B9/00 ,  C03C3/00 ,  C03C14/00

CPC分类号： G02B1/02 ,  C04B35/486 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/81 ,  C04B2235/9653

摘要： The optical elements are made from an opto-ceramic material that is characterized by high density, transparency for visible light and IR, high refractive index, high Abbe number and outstanding relative partial dispersion. Mixed oxides are sintered to obtain the opto-ceramic material. The mixed oxides contain zirconium oxide and hafnium oxide mixed with one or more oxides of yttrium, scandium, lanthanide elements, and optionally mixed with one or more of SiO2, Na2O, and TiO2. Alternatively the mixed oxides contain zirconium oxide and hafnium oxide mixed with CaO and/or MgO and optionally mixed with one or more of SiO2, Na2O, and TiO2. In addition, the mixed oxides can also include one or more oxides of Al, Ga, In, and Sc; optionally one or more oxides of yttrium, some lanthanide elements; and optionally one or more of SiO2, Na2O, MgO, CaO, and TiO2.

摘要翻译： 光学元件由光学陶瓷材料制成，其特征在于高密度，可见光和IR的透明度，高折射率，高阿贝数和优异的相对部分色散。 混合氧化物被烧结以获得光陶瓷材料。 混合氧化物含有与一种或多种钇，钪，镧系元素的氧化物混合的氧化锆和氧化铪，并且任选地与一种或多种SiO 2，Na 2 O 3混合， O和TiO 2。 或者，混合氧化物含有与CaO和/或MgO混合的氧化锆和氧化铪，并且任选与SiO 2，Na 2 O和TiO 2中的一种或多种混合 > 2 。 此外，混合氧化物还可以包括一种或多种Al，Ga，In和Sc的氧化物; 任选的一种或多种钇氧化物，一些镧系元素; 和任选的一种或多种SiO 2，Na 2 O，MgO，CaO和TiO 2。

公开(公告)号：US07751123B2

公开(公告)日：2010-07-06

申请号：US11762124

申请日：2007-06-13

申请人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Martin Letz ,  Steffen Reichel ,  Yoshio Okano ,  Yvonne Menke

发明人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Martin Letz ,  Steffen Reichel ,  Yoshio Okano ,  Yvonne Menke

IPC分类号： G02B3/00 ,  C04B35/50

CPC分类号： C04B35/50 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/01 ,  C04B35/486 ,  C04B35/505 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/9653 ,  G02B1/00 ,  G02B13/0035 ,  G02B13/008 ,  Y10S501/901 ,  Y10S501/904

摘要： The refractive, transmissive or diffractive optical elements are made from a ceramic containing one or more oxides of the type X2O3, which is transmissive for visible light and/or for infrared radiation and which has a cubic crystal structure analogous to that of Y2O3. In preferred embodiments X is Y, Sc, In, or a lanthanide element, namely La to Lu, and in particular is Lu, Yb, Gd, or La. Also mixtures of oxides of the type X2O3 with oxides having different stoichiometries, such as HfO2 and/or ZrO2, may be present, as long as the cubic structure of the ceramic is maintained.

摘要翻译： 折射，透射或衍射光学元件由含有一种或多种X 2 O 3的氧化物的陶瓷制成，该氧化物对于可见光和/或用于红外辐射是透射的，并且具有类似于Y 2 O 3的立方晶体结构。 在优选的实施方案中，X是Y，Sc，In或镧系元素，即La至Lu，特别是Lu，Yb，Gd或La，X2O3的氧化物与不同化学计量的氧化物的混合物，例如 可以存在HfO 2和/或ZrO 2，只要保持陶瓷的立方结构即可。

公开(公告)号：US20080094734A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11762124

申请日：2007-06-13

申请人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Martin Letz ,  Steffen Reichel ,  Yoshio Okano ,  Yvonne Menke

发明人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Martin Letz ,  Steffen Reichel ,  Yoshio Okano ,  Yvonne Menke

IPC分类号： G02B1/02

CPC分类号： C04B35/50 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/01 ,  C04B35/486 ,  C04B35/505 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/9653 ,  G02B1/00 ,  G02B13/0035 ,  G02B13/008 ,  Y10S501/901 ,  Y10S501/904

摘要： The refractive, transmissive or diffractive optical elements are made from a ceramic containing one or more oxides of the type X2O3, which is transmissive for visible light and/or for infrared radiation and which has a cubic crystal structure analogous to that of Y2O3. In preferred embodiments X is Y, Sc, In, or a lanthanide element, namely La to Lu, and in particular is Lu, Yb, Gd, or La. Also mixtures of oxides of the type X2O3 with oxides having different stoichiometries, such as HfO2 and/or ZrO2, may be present, as long as the cubic structure of the ceramic is maintained.

摘要翻译： 折射透射或衍射光学元件由含有一种或多种X 2 O 3 O 3类型的氧化物的陶瓷制成，该氧化物可透过可见光和/或用于 红外辐射，其具有类似于Y 2 O 3 3的立方晶体结构。 在优选的实施方案中，X是Y，Sc，In或镧系元素，即La至Lu，特别是Lu，Yb，Gd或La，也是X 2类型的氧化物的混合物， 可以存在与具有不同化学计量的氧化物如HfO 2和/或ZrO 2 2的O 3 3，只要存在三元结构 保持陶瓷。

公开(公告)号：US20070091472A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US11523738

申请日：2007-01-08

申请人： Jochen Alkemper ,  Joe Hayden ,  Jose Zimmer ,  Frank-Thomas Lentes ,  Steffen Reichel ,  Ulrich Peuchert

发明人： Jochen Alkemper ,  Joe Hayden ,  Jose Zimmer ,  Frank-Thomas Lentes ,  Steffen Reichel ,  Ulrich Peuchert

IPC分类号： G02B9/00

CPC分类号： G02B3/00 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1857 ,  G02B5/1895 ,  G02B27/4211

摘要： The invention relates to an optical hybrid lens. According to the invention, the lens consists of a substrate (1) that consists of a ceramic having a predetermined shape and at least another material (2), which covers a surface of the substrate (1) at least in certain sections in order to form a lens surface. Use of an optical ceramic as a material enables an additional degree of freedom for adjusting the imaging properties of the hybrid lens. The optical ceramic may have a high refractive index and a low dispersion. The other material can be a material that can be deformed or recast at temperatures that are low in comparison to those of the optical ceramic. In particular the other material can be a low-TG glass or a polymer. The other material is directly applied onto the substrate without a further surface finishing being necessarily required. Other aspects of the invention relate to an optical lens group, an optical image acquisition device, and a process for manufacturing a hybrid lens.

摘要翻译： 本发明涉及一种光学混合透镜。 根据本发明，透镜包括由具有预定形状的陶瓷和至少另一材料（2）组成的基底（1），其至少在某些部分覆盖基底（1）的表面，以至 形成透镜表面。 使用光学陶瓷作为材料能够提供用于调整混合透镜的成像特性的附加自由度。 光学陶瓷可以具有高折射率和低色散。 另一种材料可以是在与光学陶瓷的温度相比较低的温度下可以变形或重铸的材料。 特别地，其它材料可以是低TG玻璃或聚合物。 另一种材料直接施加到基材上，而不需要进一步的表面处理。 本发明的其他方面涉及一种光学透镜组，光学图像采集装置和用于制造混合透镜的工艺。

公开(公告)号：US08025818B2

公开(公告)日：2011-09-27

申请号：US12700022

申请日：2010-02-04

申请人： Jochen Alkemper ,  Joe Hayden ,  José Zimmer ,  Frank-Thomas Lentes ,  Steffen Reichel ,  Ulrich Peuchert

发明人： Jochen Alkemper ,  Joe Hayden ,  José Zimmer ,  Frank-Thomas Lentes ,  Steffen Reichel ,  Ulrich Peuchert

IPC分类号： B29D11/00

CPC分类号： G02B3/00 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1857 ,  G02B5/1895 ,  G02B27/4211

摘要： The invention relates to an optical hybrid lens. According to the invention, the lens consists of a substrate (1) that consists of a ceramic having a predetermined shape and at least another material (2), which covers a surface of the substrate (1) at least in certain sections in order to form a lens surface.Use of an optical ceramic as a material enables an additional degree of freedom for adjusting the imaging properties of the hybrid lens. The optical ceramic may have a high refractive index and a low dispersion. The other material can be a material that can be deformed or recast at temperatures that are low in comparison to those of the optical ceramic. In particular the other material can be a low-TG glass or a polymer. The other material is directly applied onto the substrate without a further surface finishing being necessarily required.Other aspects of the invention relate to an optical lens group, an optical image acquisition device, and a process for manufacturing a hybrid lens.

摘要翻译： 本发明涉及一种光学混合透镜。 根据本发明，透镜包括由具有预定形状的陶瓷和至少另一材料（2）组成的基底（1），其至少在某些部分覆盖基底（1）的表面，以至 形成透镜表面。 使用光学陶瓷作为材料能够提供用于调整混合透镜的成像特性的附加自由度。 光学陶瓷可以具有高折射率和低色散。 另一种材料可以是在与光学陶瓷的温度相比较低的温度下可以变形或重铸的材料。 特别地，其它材料可以是低TG玻璃或聚合物。 另一种材料直接施加到基材上，而不需要进一步的表面处理。 本发明的其他方面涉及一种光学透镜组，光学图像采集装置和用于制造混合透镜的工艺。

公开(公告)号：US20080164626A1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：US11968722

申请日：2008-01-03

申请人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Yvonne Menke ,  Ina Mitra

发明人： Jose Zimmer ,  Ulrich Peuchert ,  Jochen Alkemper ,  Yvonne Menke ,  Ina Mitra

IPC分类号： B29D11/00

CPC分类号： C04B35/62655 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/44 ,  C04B35/443 ,  C04B35/486 ,  C04B35/50 ,  C04B35/505 ,  C04B35/581 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6022 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/608 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/662 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/725 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/9638 ,  C04B2235/9653

摘要： The present invention relates to a process for producing optical elements, in particular lenses made from an optoceramic, comprising a forming step, which step comprises the formation of a green body. The invention further relates to optical elements produced according to the before mentioned process.The process according to the present invention comprises a forming step including the application of a mould being close to the final geometry of the body to be formed (near net shape principle) including the application of moderate pressure between 0.1 MPa and 50 MPa, preferably between about 0.5 MPa and 25 MPa, in particular preferred between about 1 MPa und 12 MPa. The pressure is applied either on the ceramic powder mass during positioning of the ceramic powder mass into the form or is applied onto the ceramic powder mass within the form.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造光学元件的方法，特别是由光电陶瓷制成的透镜，包括形成步骤，该步骤包括形成生坯体。 本发明还涉及根据前述方法生产的光学元件。 根据本发明的方法包括一个成型步骤，包括使模具靠近要形成的主体的最终几何形状（近净形状原理），包括施加0.1MPa至50MPa之间的中等压力，优选在 约0.5MPa和25MPa，特别优选约1MPa和12MPa。 在将陶瓷粉末物质定位成形式的同时施加在陶瓷粉末质量上的压力或施加到陶瓷粉末块体内的形式。

公开(公告)号：US20050153824A1

公开(公告)日：2005-07-14

申请号：US11013103

申请日：2004-12-15

申请人： Jochen Alkemper ,  Joerg Schuhmacher ,  Ulrich Peuchert

发明人： Jochen Alkemper ,  Joerg Schuhmacher ,  Ulrich Peuchert

IPC分类号： C03C3/112 ,  C03C3/06 ,  C03C3/115 ,  C03C3/118 ,  C03C4/00 ,  G03F1/00 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60

CPC分类号： C03C3/112 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/115 ,  C03C3/118 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60

摘要： A fluorine-doped at least ternary silicate glass is disclosed which contains in particular TiO2. It can advantageously be used as a material having a low thermal expansion, wherein the slope of the coefficient of thermal expansion dCTE/T is ±2·109/K2 in the temperature range from −50° C. to 100° C. This material is particularly suited for micro-lithography, in particular for EUV-lithography.

摘要翻译： 公开了一种掺氟的至少三元硅酸盐玻璃，其特别包含TiO 2。 它可以有利地用作具有低热膨胀性的材料，其中热膨胀系数dCTE / T的斜率在±2.10℃/ K 2℃的温度 范围为-50℃至100℃。该材料特别适用于微光刻，特别适用于EUV光刻。

公开(公告)号：US20090156384A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12063701

申请日：2006-08-02

申请人： Rainer Liebald ,  Wolfram Beier ,  Jochen Alkemper ,  Thilo Zachau ,  Dirk Sprenger

发明人： Rainer Liebald ,  Wolfram Beier ,  Jochen Alkemper ,  Thilo Zachau ,  Dirk Sprenger

IPC分类号： C03C10/00

CPC分类号： C03C10/0045 ,  C03C10/0054 ,  C03C14/002 ,  C03C2214/02 ,  C03C2214/20 ,  F41H5/0435

摘要： The invention relates to a glass ceramic armour material consisting (in % by weight in relation to oxide base) of 5-33 SiO2, 20-50 Al2O3, 5-40 MgO, 0-15 B2O3, 0.1-30 Y2O3, Ln2O3, As2O3, Nb2O3 and/or Sc2O3 and 0-10 P2O5. The inventive armour material can also be reinforced with inorganic reinforcing fibres in a quantity of 5-65% by weight, preferably consisting of C, SiC, Si3N4, Al2O3, ZrO2 or Sialon. Said armour material is characterised in that it exhibits a high elasticity modulus and is producible from green glass without to fear a premature crystallisation.

摘要翻译： 本发明涉及一种由5-33SiO 2，20-50 Al 2 O 3，5-40MgO，0-15B 2 O 3，0.1-30 Y 2 O 3，L 2 O 3，As 2 O 3组成（相对于氧化物基的重量％）的玻璃陶瓷装甲材料 ，Nb 2 O 3和/或Sc 2 O 3和0-10 P 2 O 5。 本发明的装甲材料还可以用5-65重量％的量的无机增强纤维来增强，优选由C，SiC，Si 3 N 4，Al 2 O 3，ZrO 2或赛隆组成。 所述装甲材料的特征在于其显示出高弹性模量并且可以从绿色玻璃制造而不用担心过早结晶。

公开(公告)号：US20130186140A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：US13581378

申请日：2011-02-25

申请人： Peter Brix ,  Wolfram Beier ,  Jochen Alkemper

发明人： Peter Brix ,  Wolfram Beier ,  Jochen Alkemper

IPC分类号： C03C3/097 ,  C03C21/00 ,  C03B27/012 ,  C03B18/02

CPC分类号： C03C3/097 ,  C03B18/02 ,  C03B27/012 ,  C03C3/083 ,  C03C3/112 ,  C03C21/00 ,  C03C21/002

摘要： A lithium aluminosilicate glass and a method for producing such lithium aluminosilicate glass are provided. The glass has a composition, in mol %, of: SiO2 60-70; Al2O3 10-13; B2O3 0.0-0.9; Li2O 9.6-11.6; Na2O 8.2-less than 10; K2O 0.0-0.7; MgO 0.0-0.2; CaO 0.2-2.3; ZnO 0.0-0.4; ZrO2 1.3-2.6; P2O5 0.0-0.5; Fe2O3 0.003-0.100; SnO2 0.0-0.3; and CeO2 0.004-0.200. Further, the composition complies with the following relations and conditions: (Li2O+Al2O3)/(Na2O+K2O) greater than 2; Li2O/(Li2O+Na2O+K2O) greater than 0.47 and less than 0.70; CaO+Fe2O3+ZnO+P2O5+B2O3+CeO2 greater that 0.8 and less than 3, where at least four out of the six oxides are included. The glass exhibits a modulus of elasticity of at least 82 GPa and has a glass transition point below 540° C. and/or a working point below 1150° C.

摘要翻译： 提供铝硅酸锂玻璃和这种铝硅酸铝玻璃的制造方法。 玻璃具有以摩尔％计的：SiO 2 60-70的组成; Al2O3 10-13; B2O3 0.0-0.9; Li2O 9.6-11.6; Na2O 8.2-小于10; K2O 0.0-0.7; MgO 0.0-0.2; CaO 0.2-2.3; ZnO 0.0-0.4; ZrO2 1.3-2.6; P2O5 0.0-0.5; Fe2O3 0.003-0.100; SnO2 0.0-0.3; 和CeO 2 0.004-0.200。 此外，该组成符合以下关系和条件：（Li 2 O + Al 2 O 3）/（Na 2 O + K 2 O）大于2; Li2O /（Li2O + Na2O + K2O）大于0.47且小于0.70; CaO + Fe2O3 + ZnO + P2O5 + B2O3 + CeO2大于0.8且小于3，其中包括六种氧化物中的至少四种。 玻璃的弹性模量至少为82GPa，玻璃化转变点低于540℃，和/或低于1150℃的工作点。