公开(公告)号：US20060240294A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11455886

申请日：2006-06-20

申请人： Michael Freund ,  Yu-Chong Tai ,  Colin Cameron ,  Xing Yang

发明人： Michael Freund ,  Yu-Chong Tai ,  Colin Cameron ,  Xing Yang

IPC分类号： H01M8/04 ,  H01M4/96 ,  H01M8/02 ,  H01M8/18 ,  H01M8/08

CPC分类号： H01M8/1004 ,  H01M8/00 ,  H01M8/0289 ,  H01M8/04089 ,  H01M8/0656 ,  H01M8/1007 ,  H01M8/186 ,  Y02E60/528

摘要： A fuel cell is used to create pressure by reverse biasing the fuel cell. A voltage is applied across the fuel cell to change the liquid near the fuel cell into gas, and expand its volume. The volume expansion is used for work function, either to expand a housing or move a piston or the like. By removing the voltage, the fuel cell can regenerate by absorbing the gas to again create energy, thereby retracting the volume expansion. In an embodiment, water may be the electrolyte which is electrolyzed to form hydrogen and oxygen gas, and then recombined into water.

公开(公告)号：US06612535B1

公开(公告)日：2003-09-02

申请号：US09012309

申请日：1998-01-23

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean

IPC分类号： F16K3102

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81C1/00158 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008

摘要： A valve where the valve membrane is made from silicone rubber. Preferably the valve is a microelectromechanical systems (MEMS) thermopneumatic valve. Because of the advantageous physical properties of silicone rubber, the valve provides desirable performance with reasonable power consumption.

摘要翻译： 阀膜由硅橡胶制成。 优选地，阀是微机电系统（MEMS）热气动阀。 由于硅橡胶的有利的物理性能，阀门具有合理的功耗所需的性能。

公开(公告)号：US06598750B2

公开(公告)日：2003-07-29

申请号：US09741968

申请日：2000-12-20

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B01D6700

CPC分类号： B01D67/0088 ,  B01D39/2093 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/02 ,  B01D71/72 ,  B01D2239/0471 ,  B01D2239/0478 ,  B01D2239/10 ,  B01D2325/021

摘要： A micromachined membrane particle filter is formed by making holes in a silicon and coating over the holes with Parylene.

摘要翻译： 通过在硅中形成孔并用聚对二甲苯涂覆在孔上形成微加工膜颗粒过滤器。

公开(公告)号：US06345502B1

公开(公告)日：2002-02-12

申请号：US09191267

申请日：1998-11-12

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean ,  Xuan-Qi Wang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean ,  Xuan-Qi Wang

IPC分类号： F01B2900

CPC分类号： F15C5/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  F04B19/24 ,  F04B43/043 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/7737 ,  Y10T137/7879

摘要： A micromachined fluid handling device having improved properties. The valve is made of reinforced parylene. A heater heats a fluid to expand the fluid. The heater is formed on unsupported silicon nitride to reduce the power. The device can be used to form a valve or a pump. Another embodiment forms a composite silicone/parylene membrane. Another feature uses a valve seat that has concentric grooves for better sealing operation.

公开(公告)号：US6146543A

公开(公告)日：2000-11-14

申请号：US427513

申请日：1999-10-26

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B81B3/00 ,  B82B3/00 ,  H01L21/00 ,  H01L29/82

CPC分类号： B81B3/007 ,  B81B2201/031

摘要： A micromachined multi-layered microbellows-style actuator capable of delivering larger deflections compared to a single layered flat membrane of comparable size. Anchor structures are disclosed that improve the strength of the microbellows membrane. A characterization apparatus is used to measure microbellows membrane performance. Thermopneumatic actuators having a resistive heater chip are also disclosed. The microbellows membrane is manufactured by alternating deposition of structural layers and sacrificial layers on a substrate. The structural layers can be made of silicon nitride and the sacrificial layers can be made of polysilicon. The substrate is etched from the back to form an opening exposing the sacrificial layers, and then the membrane is released by etching away the sacrificial layers.

摘要翻译： 与具有相似尺寸的单层平膜相比，微加工的多层微波导式致动器能够提供更大的偏转。 公开了提高微量膜的强度的锚结构。 使用表征装置来测量微波膜的性能。 还公开了具有电阻加热器芯片的热气动执行器。 微波膜是通过在衬底上交替沉积结构层和牺牲层来制造的。 结构层可以由氮化硅制成，并且牺牲层可以由多晶硅制成。 从背面蚀刻衬底以形成暴露牺牲层的开口，然后通过蚀刻去除牺牲层来释放膜。

公开(公告)号：US06536213B2

公开(公告)日：2003-03-25

申请号：US09884499

申请日：2001-06-18

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean ,  Xuan-Qi Wang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean ,  Xuan-Qi Wang

IPC分类号： F01B2900

CPC分类号： F15C5/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  F04B19/24 ,  F04B43/043 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/7737 ,  Y10T137/7879

摘要： A micromachined fluid handling device having improved properties. The valve is made of reinforced parylene. A heater heats a fluid to expand the fluid. The heater is formed on unsupported silicon nitride to reduce the power. The device can be used to form a valve or a pump. Another embodiment forms a composite silicone/parylene membrane. Another feature uses a valve seat that has concentric grooves for better sealing operation.

公开(公告)号：US6069392A

公开(公告)日：2000-05-30

申请号：US57381

申请日：1998-04-08

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B81B3/00 ,  B82B3/00 ,  H01L21/00 ,  H01L29/82

CPC分类号： B81B3/007 ,  B81B2201/031

摘要： A micromachined multi-layered microbellows-style actuator capable of delivering larger deflections compared to a single layered flat membrane of comparable size. Anchor structures are disclosed that improve the strength of the microbellows membrane. A characterization apparatus is used to measure microbellows membrane performance. Thermopneumatic actuators having a resistive heater chip are also disclosed.

摘要翻译： 与具有相似尺寸的单层平膜相比，微加工的多层微波导式致动器能够提供更大的偏转。 公开了提高微量膜的强度的锚结构。 使用表征装置来测量微波膜的性能。 还公开了具有电阻加热器芯片的热气动致动器。

公开(公告)号：US06622872B1

公开(公告)日：2003-09-23

申请号：US09187475

申请日：1998-11-06

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B01D7102

CPC分类号： B01D67/0088 ,  B01D39/2093 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/02 ,  B01D71/72 ,  B01D2239/0471 ,  B01D2239/0478 ,  B01D2239/10 ,  B01D2325/021

摘要： A micromachined membrane particle filter is formed by making holes in a silicon derivative overlayer and coating over the holes with Parylene.

摘要翻译： 通过在硅衍生物覆盖层中形成孔并用聚对二甲苯涂覆在孔上形成微加工膜颗粒过滤器。

公开(公告)号：US5921678A

公开(公告)日：1999-07-13

申请号：US19071

申请日：1998-02-05

申请人： Amish Desai ,  Xing Yang ,  Yu-Chong Tai ,  Elaine Marzluff ,  Dirk Bockenkamp ,  Stephen Mayo

发明人： Amish Desai ,  Xing Yang ,  Yu-Chong Tai ,  Elaine Marzluff ,  Dirk Bockenkamp ,  Stephen Mayo

IPC分类号： B01F5/00 ,  B01F5/02 ,  B01F5/06 ,  B01F13/00 ,  B01J19/00 ,  B01L3/00

CPC分类号： B01L3/5027 ,  B01F13/0059 ,  B01F5/0256 ,  B01F5/0602 ,  B01J19/0093 ,  B01F2005/0025 ,  B01F2005/0621 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00797 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0883 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/084 ,  Y10S366/03

摘要： A micromachined, high Reynolds number, sub-millisecond liquid mixer for the study of chemical reaction kinetics. This bulk micromachined silicon mixer is capable of initiating and quenching chemical reactions in intervals as short as 100 .mu.s. The mixer chip contains two tee mixers connected by one channel which serves as a reaction chamber. Each tee mixer consists of opposing channels where liquids meet head-on and exit into a third channel forming the base of a "T".

摘要翻译： 用于研究化学反应动力学的微加工，高雷诺数，亚毫秒液体混合器。 该体积微加工硅混合器能够以短至100微秒的间隔引发和淬灭化学反应。 混合器芯片包含用作反应室的一个通道连接的两个三通混合器。 每个三通混合器由相对的通道组成，其中液体前进并且进入形成“T”的基部的第三通道。

公开(公告)号：US06787968B2

公开(公告)日：2004-09-07

申请号：US09682593

申请日：2001-09-25

申请人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao ,  Xing Yang

IPC分类号： H02N100

CPC分类号： B81B3/001 ,  B81C2201/112

摘要： An anti stiction structure for cantilever formation technique. In one embodiment, the polymer cantilever is prevented from sticking to the substrate by at amortized stick layer on the substrate during formation that is later removed as a sacrificial layer. In another embodiment, the cantilever includes downwardly extending legs.

摘要翻译： 一种用于悬臂形成技术的反沉降结构。 在一个实施方案中，防止聚合物悬臂在形成期间在基板上的分段粘贴层处粘附到基板上，随后作为牺牲层去除。 在另一个实施例中，悬臂包括向下延伸的腿。