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    EINRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DER AUSRICHTUNG EINES LASERSTRAHLS UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
    4.
    发明申请
    EINRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DER AUSRICHTUNG EINES LASERSTRAHLS UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT 审中-公开
    用于监控的激光束和EUV辐射产生设备平行排列的结果

    公开(公告)号：WO2015172816A1

    公开(公告)日：2015-11-19

    申请号：PCT/EP2014/059742

    申请日：2014-05-13

    申请人： TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH

    发明人： LAMBERT, Martin ,  ENZMANN, Andreas

    IPC分类号： B23K26/04

    CPC分类号： H05G2/008 ,  B23K26/043 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/70 ,  B23K26/702

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung (20) zur Überwachung der Ausrichtung eines Laserstrahls (5), umfassend: einen Detektor (21) mit einer Öffnung (22) zum Durchtritt des Laserstrahls (5), mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b), die an dem Detektor (21) angebracht sind, sowie eine Temperaturüberwachungseinrichtung (23), die mit den mindestens zwei Temperartursensoren (24a, b) verbunden ist, um die Ausrichtung des Laserstrahls (5) relativ zu der Öffnung (22) zu überwachen. Die mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b) weisen entweder einen mit zunehmender Temperatur zunehmenden oder einen mit zunehmender Temperatur abnehmenden temperaturabhängigen Widerstand auf und die mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b) sind mit der Temperaturüberwachungseinrichtung (23) in einer Reihenschaltung verbunden. Die Erfindung betrifft auch eine EUV- Strahlungserzeugungsvorrichtung (1), welche mindestens eine Einrichtung (20) wie oben beschrieben aufweist, um die Ausrichtung eines Laserstrahls (5) zu überwachen.

    摘要翻译： 本发明涉及一种装置（20），用于监控激光束（5）的对准，其包括：具有用于（5），至少两个温度传感器（24A，b）连接到所述激光束的通过的开口（22）的检测器（21） 附连到所述检测器（21），以及连接到所述至少两个Temperartursensoren温度监测装置（23）（图24A，b）被连接到监控激光束（5）相对于所述开口（22）的比对。 所述至少两个温度传感器（24A，B）具有任一随温度升高而增加或随着温度的降低依赖于温度的电阻，并且所述至少两个温度传感器（24A，B）被连接在串联电路中与所述温度监控装置（23）。 本发明还涉及包括至少一个装置（20）的EUV辐射产生装置（1）如上所述来监视激光束（5）的比对。

    레이저 압착 방식의 플립 칩 본딩을 위한 레이저 옵틱 장치
    5.
    发明申请
    레이저 압착 방식의 플립 칩 본딩을 위한 레이저 옵틱 장치 审中-公开
    激光打印机用于激光切片的激光光学装置

    公开(公告)号：WO2015072598A1

    公开(公告)日：2015-05-21

    申请号：PCT/KR2013/010345

    申请日：2013-11-14

    申请人： (주)정원기술

    发明人： 최지웅 ,  조성윤

    IPC分类号： H01L21/58

    CPC分类号： H01L24/75 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/21 ,  H01L24/16 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/75263 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2224/81224

    摘要： 본 발명은 레이저 압착 방식을 이용하여 플립 칩 본딩을 수행할 때 반도체 칩에 균일도가 일정하게 유지된 스퀘어 빔을 조사하여 넓은 면적에 균일한 열원을 공급할 수 있도록 하는 레이저 압착 방식의 플립 칩 본딩을 위한 레이저 옵틱 장치에 관한 것이다. 본 발명에 레이저 옵틱 장치는 본딩 헤드 모듈의 하부에 설치되어 진공 흡착력에 의해 반도체 칩을 흡착하여 회로 기판에 밀착시켜 가압하는 본딩 헤드에 레이저 빔을 조사하여 반도체 칩이 회로 기판에 본딩될 수 있도록 하는 레이저 옵틱 장치에 있어서, 상기 본딩 헤드(550)의 상부 측면에 설치되어, 외부의 레이저 헤드(300)로부터 발생되어 광 섬유를 통하여 전달되는 레이저 빔을 복수의 렌즈를 통하여 스퀘어(square) 형상의 레이저 빔으로 변환하여 수평 방향으로 출력하는 경통(410)과; 상기 본딩 헤드(550)의 상부에 설치되어, 상기 경통(410)으로부터 출력되는 수평 방향의 레이저 빔을 수직 하향 방향으로 전환하여 본딩 헤드(550)에 조사하여 본딩 하부에 진공 흡착된 반도체 칩에 열원으로 전달하는 반사경(430);을 포함하여 이루어져, 반도체 칩에 균일도가 일정하게 유지되는 스퀘어 형태의 레이저 열원을 공급할 수 있으며, 반도체 칩의 크기에 따라 레이저 빔의 크기를 용이하고 정밀하게 조절할 수 있도록 제공된다.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于通过激光压接来接合倒装芯片的激光光学器件，该激光器件可以通过在翻转时将广泛均匀地保持均匀性的方束照射到半导体芯片上而在广泛的区域上提供均匀的热源 芯片通过使用激光压制而结合。 根据本发明，通过将激光束照射到设置在接合头模块的下部的接合头，能够使半导体芯片接合在电路基板上的激光光学元件，以通过装置吸引半导体芯片 的真空吸引力并通过使半导体芯片与电路板紧密接触来挤压半导体芯片，包括：设置在接合头（550）的上部侧的筒（410），以便转换激光 从外部激光头（300）产生并通过光纤传输通过多个透镜的正方形激光束并沿水平方向输出方形激光束的光束; 以及反射镜（430），其设置在所述接合头（550）的上部，以便将从所述镜筒（410）输出的水平激光束向垂直向下的方向转换成激光束，并将其作为热源 将通过向垂直向下的激光束照射到接合头（550）而被真空吸附到接合头的下部的半导体芯片的激光束被提供以提供正方形激光热源，其中 恒定地保持均匀性，并且能够根据半导体芯片的尺寸容易且精确地调整激光束的尺寸。

    REMOTE LASER HEATING SYSTEMS AND METHODS
    6.
    发明申请
    REMOTE LASER HEATING SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
    远程激光加热系统和方法

    公开(公告)号：WO2014133984A1

    公开(公告)日：2014-09-04

    申请号：PCT/US2014/018131

    申请日：2014-02-25

    申请人： SERVICES PETROLIERS SCHLUMBERGER ,  SCHLUMBERGER TECHNOLOGY B.V. ,  SCHLUMBERGER HOLDINGS LIMITED ,  SCHLUMBERGER CANADA LIMITED ,  PRAD RESEARCH AND DEVELOPMENT LIMITED ,  SCHLUMBERGER TECHNOLOGY CORPORATION

    发明人： SAENGER, Richard

    IPC分类号： B23K26/12 ,  B23K26/20 ,  E21B7/15 ,  E21B36/04

    CPC分类号： B23K26/122 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/128 ,  B23K26/21 ,  B23K26/211 ,  E21B43/11 ,  E21B43/1195 ,  E21B47/123

    摘要： Systems and methods are provided for laser heating in a fluid environment (30). Such a system may include a laser generator (12) and a laser output sub (16) separate from one another via an optical fiber (18). The laser generator may generate a heating laser pulse over the optical fiber. The laser output sub may emit the heating laser pulse to heat a substrate (22) in the fluid environment (30). To enable the heating laser pulse to pass between the laser output sub (16) and the substrate (22), the laser output sub may dispense a laser- transmissive optical grease or a laser-transmissive magnetic fluid, or may generate a vacuum cavitation bubble in the fluid between the laser output sub (16) and the substrate (22).

    摘要翻译： 提供了用于在流体环境（30）中进行激光加热的系统和方法。 这种系统可以包括经由光纤（18）彼此分离的激光发生器（12）和激光输出子（16）。 激光发生器可以在光纤上产生加热激光脉冲。 激光输出sub可以发射加热激光脉冲以加热流体环境（30）中的衬底（22）。 为了使加热激光脉冲在激光输出副（16）和基板（22）之间通过，激光输出子可以分配激光透射光学润滑脂或激光透射磁性流体，或者可以产生真空空化气泡 在激光输出子（16）和衬底（22）之间的流体中。

    COATING AND MATERIAL METHOD
    7.
    发明申请
    COATING AND MATERIAL METHOD 审中-公开
    涂料和材料方法

    公开(公告)号：WO2013175052A1

    公开(公告)日：2013-11-28

    申请号：PCT/FI2013/000025

    申请日：2013-05-22

    申请人： ARCTIC IP INVESTMENT AB

    发明人： KINNUNEN, Petteri ,  RUUTU, Jari

    IPC分类号： H01L21/02 ,  C23C14/28 ,  B23K26/12 ,  G02B27/00

    CPC分类号： C23C14/28 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/32 ,  B23K26/34 ,  B23K26/361 ,  B23K2201/18 ,  B23K2203/50

    摘要： The innovation is targeted at the coating and material production method, which is based on the application of picosecond, femtosecond and attosecond pulses a) in a vacuum, b) in a gas-pressurised mode, c) in liquid state or d) in the clean room standard; the repetition frequency of the pulses is between the span of 100 kHz and 10 Ghz, with fibre reinforcement or semiconductor laser, which operate on the wavelength of the UV-visible-IR light. The laser beams are directed to a separate space a-d) with optic fibres or as a collimated beam and only inside this space is focused to the volatizing / processing material by self-cleansing optics.

    摘要翻译： 该创新针对涂料和材料生产方法，其基于皮秒，飞秒和阿秒脉冲a）在真空中的应用，b）以气体加压模式，c）为液态或d）在 洁净室标准; 脉冲的重复频率在100 kHz和10 Ghz的跨度之间，纤维增强或半导体激光，其工作在紫外可见光的波长。 激光束被引导到具有光纤或者准直光束的单独的空间a-d），并且只有在该空间内才通过自清洁光学器件将其聚焦到挥发/处理材料。

    METHOD OF WELDING COATED MATERIALS
    10.
    发明申请
    METHOD OF WELDING COATED MATERIALS 审中-公开
    焊接涂层材料的方法

    公开(公告)号：WO2013110214A1

    公开(公告)日：2013-08-01

    申请号：PCT/CN2012/070723

    申请日：2012-01-27

    申请人： GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS LLC ,  YANG, David

    发明人： YANG, David

    IPC分类号： B23K26/32 ,  B23K26/20

    CPC分类号： B23K26/1224 ,  B23K26/142 ,  B23K26/147 ,  B23K26/1476 ,  B23K26/244 ,  B23K2201/006 ,  B23K2201/34 ,  B23K2203/04 ,  B23K2203/08 ,  B23K2203/10 ,  B23K2203/12

    摘要： A method of welding metal alloys and/or coated metals by fusion welding in a gap-free or narrow-gap lap joint configuration comprises applying a heat source in combination with a vacuum system on an area of engagement of said metals, and forming a molten pool between said metals; creating a negative pressure zone above the molten pool by said vacuum system allowing vaporization of the coating with low boiling temperature; and cooling the molten metal to yield a weld. The vacuum system keeps the keyhole continuously open during welding, which provides a channel for the vapors of the coating to escape, thereby suppressing the weld discrepancies of spatter, blowhole and porosity and resulting in high-quality welds.

    摘要翻译： 通过在无缝隙或窄间隙搭接结构中的熔接焊接金属合金和/或涂覆金属的方法包括在所述金属的接合区域上与真空系统组合施加热源，并形成熔融 所述金属之间的池; 通过所述真空系统在熔池上方产生负压区，允许涂层以低沸点蒸发; 并冷却熔融金属以产生焊缝。 真空系统在焊接过程中保持钥匙孔持续打开，为涂层的蒸气逸出提供通道，从而抑制飞溅，气孔和孔隙率的焊接差异，从而产生高质量的焊缝。