公开(公告)号：CN106458444B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201580023731.0

申请日：2015-04-13

申请人： 村田机械株式会社

发明人： 池田昌弘 ,  福岛正纯 ,  伊藤靖久

IPC分类号： B65G1/04 ,  B65G1/00

CPC分类号： B65G1/0464 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769

摘要： 本发明的的搬送系统及搬送方法使用多个缓存区(22)和能够自由地选择行走路径的多个局地台车(16)灵活地将物品搬入搬出装载口(14)。使具有提升卷扬机(50)的多个桥式吊车(4)沿着桥式吊车(4)的行走路径(6)行走。在桥式吊车(4)的行走路径的下部和多个装载口(14)的上部比装载口(14)高的位置，配置局地台车(16)的行走路径(20)，使具备提升卷扬机(50)的多个局地台车(16)行走，沿着局地台车(16)的行走路径(20)设置多个缓存区(22)。局地台车(16)的行走路径(20)平行地设置多个，并且在局地台车(16)的行走路径(20)之间，局地台车(16)自由分支和汇合。用局地台车(16)在装载口(14)与缓存区(22)之间根据所述控制器的控制搬送物品，用桥式吊车(4)对装载口(14)或缓存区(22)通过所述控制器的控制移载物品，并且与离开局地台车(16)的行走路径(20)的区间之间搬送物品。

公开(公告)号：CN109637946A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201710928112.7

申请日：2017-10-09

申请人： 长鑫存储技术有限公司

发明人： 不公告发明人

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L21/67253

摘要： 本发明提供一种半导体批处理生产设备及半导体批处理系统。半导体批处理生产设备的晶舟承载器上设置有感应侦测装置，感应侦测装置包括用于感应侦测晶舟承载器的水平状态的水平传感器及感应侦测晶舟承载器的振动状态的振动传感器，其具有安装、拆卸及使用方便、成本低廉、感应侦测灵敏等优点。本发明的半导体批处理生产设备通过感应侦测装置实时感知晶舟承载器的水平状态和振动状态，能够避免在晶舟承载器水平失衡或/和振动异常的情况下仍将晶舟放置于晶舟承载器上，以及在晶舟放置于晶舟承载器的情况下通过监测晶舟承载器而能实时监测晶舟的状态以避免生产事故；批处理系统充分利用半导体制造厂中的现有设施实现对生产过程的有效监控。

公开(公告)号：CN103857825B

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201280044985.7

申请日：2012-07-13

申请人： ASM国际股份有限公司

发明人： P·G·佛蒙特 ,  W·G·范 ,  韦尔曾 ,  V·I·库兹耐特索夫 ,  E·H·A·格兰尼曼 ,  G·F·拉米雷斯 ,  特罗克斯勒

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  C23C16/40

CPC分类号： H01L21/67276 ,  C23C16/403 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/67784 ,  H01L22/26

摘要： 本发明公开了一种加工通道（102），基板（140）可通过加工通道在两气体轴承（124、134）之间以浮动状态的传送。为了检测基板通过加工通道的传送，通道的上壁和下壁（120、130）在对应的基板检测传感器位置上装有至少一个基板检测传感器（S1…S6），所述基板检测传感器构造成用以产生参考信号，该参考信号反映在所述基板检测传感器位置附近和／或其上的所述第一及第二壁之间的基板存在。还提供监测与控制单元（160），其可操作地连接至该至少一基板检测传感器（S1…S6），以及构造成用以将所述参考信号记录为时间函数并处理所述参考信号。

公开(公告)号：CN108217093A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711270968.6

申请日：2017-12-05

申请人： 千住金属工业株式会社

发明人： 齐藤雄太

IPC分类号： B65G25/08 ,  H05K3/34 ,  B65G43/00

CPC分类号： B65G47/5127 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/0016 ,  B23K1/002 ,  B23K1/008 ,  B23K1/203 ,  B23K3/087 ,  B23K2101/42 ,  B65G15/20 ,  B65G25/10 ,  B65G47/49 ,  B65G47/82 ,  B65G2203/0233 ,  H01L21/67 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/6704 ,  H01L21/67138 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H05K3/3494 ,  B65G25/08 ,  B65G43/00 ,  H05K3/34

摘要： 本发明提供一种输送装置。在作为输送基板的输送装置的焊接装置中，从基板输送方向上的上游侧朝向下游侧依次设置有：基板投入部，其将基板投入到焊接装置；间歇进给部，其对被投入到焊接装置的基板进行间歇进给；以及基板搬出部，其将被间歇进给的基板搬出到焊接装置之外，并且，该焊接装置具备对基板的输送进行控制的控制部。基板投入部具备：第一输送路径，其用于输送基板；第一传感器，其设置于基板投入部的基板投入口附近；以及第二传感器，其设置于基板的输送方向上的第一传感器的下游侧。间歇进给部具备：第二输送路径，其用于输送基板；以及第三传感器，其位于基板的输送方向上的间歇进给部的上游端附近。

公开(公告)号：CN104823191B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201380062999.6

申请日：2013-09-16

申请人： 西门子公司

发明人： C.阿曼 ,  P.W.格拉维特 ,  K.卡多

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5018 ,  G01B5/00 ,  G01B5/04 ,  G01B5/30 ,  H01L21/67 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/12

摘要： 本发明涉及一种用于对配置为遭受周期性应力的部件的疲劳裂纹寿命的概率性估计。根据部件的材料特性离散数据(90a‑g)和裂隙尺寸离散数据(90h‑j)定义部件的多个表示，其中每个表示通过与部件相关联的一个可能的材料条件和裂隙尺寸条件定义。对于每个个体表示，选择(93)部件位置和基于对在选择的位置中裂纹生长的计算(95)，确定(96)在给定数量的周期N之后所述个体表示是否失效。基于在选择的位置中的材料条件和裂隙尺寸条件，计算(95)裂纹生长。如果裂纹生长被确定为是不稳定的，则确定(96)个体表示的失效。确定(97)在N个周期之后失效的表示的总数。确定(99)在N个周期之后部件的失效概率为PoF(N)＝Nf/S，其中PoF(N)是部件在N个周期之后失效的概率，Nf是被确定为在N个周期之后失效的表示的总数，并且S是表示的总数。

公开(公告)号：CN107808845A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201710805517.1

申请日：2017-09-08

申请人： 株式会社大福

发明人： 安部健史 ,  吉本忠浩

IPC分类号： H01L21/677 ,  B08B5/02

CPC分类号： H01L21/67389 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67386 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/6773 ,  B08B5/023

摘要： 容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部，前述收纳架具有多个收纳部作为收纳部组，前述气体供给装置相对于各收纳部经由分岔型的供给配管供给净化气体，前述搬运装置相对于收纳部搬运容器，前述控制部控制搬运装置的动作。控制部控制搬运装置的动作，使得在将多个容器收纳于收纳部时，将属于相同类别的容器彼此向属于相同收纳部组的收纳部搬运。

公开(公告)号：CN107627468A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201710573935.2

申请日：2017-07-14

申请人： 株式会社迪思科

发明人： 吉原弘行

IPC分类号： B28D5/00 ,  B28D5/02 ,  B28D7/00

CPC分类号： H01L22/24 ,  B23K26/0626 ,  B23K26/08 ,  G01R31/01 ,  G01R31/2851 ,  G01R31/2881 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/681

摘要： 本发明提供一种检查方法，对加工装置从设置环境受到的影响进行检查，该检查方法具有：标记设定步骤，对用于确定该卡盘工作台与该加工单元的相对位置关系的标记进行设定；拍摄步骤，在使该移动构件停止的状态下利用拍摄单元对该标记进行多次拍摄；以及判定步骤，根据通过该拍摄步骤得到的拍摄图像对该标记的位置进行检测，判定该加工装置有无从设置环境受到的影响，在该判定步骤中，在该标记的位置的变化量小于阈值的情况下，判定为该卡盘工作台与该加工单元的相对位置没有从该环境受到影响，在该标记的位置的变化量为阈值以上的情况下，判定为该卡盘工作台与该加工单元的相对位置从该环境受到影响。

公开(公告)号：CN107305855A

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201710121687.8

申请日：2017-03-02

申请人： 株式会社日立国际电气

发明人： 浅井一秀 ,  山本一良 ,  川岸隆之 ,  林原秀元 ,  屋敷佳代子 ,  岩仓裕幸

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32096 ,  G05B2219/37224 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276

摘要： 本发明提供一种能够谋求缩短对异常的解析调查的时间的构成。该构成包含将在执行对衬底进行处理的配方的过程中所生成的装置数据向存储部传送的操作部、和分别对存储在存储部中的多个装置数据进行核对的数据匹配控制部，操作部将表示装置中发生了异常的主旨的数据向上述数据匹配控制部通知，数据匹配控制部具有：选定部，其从存储部选定以与发生了异常的配方相同的条件被执行了的配方；获取部，其分别从发生了异常的配方和由选定部选定出的配方获取装置数据；和运算部，其对获取到的装置数据的差异进行运算，基于表示发生了异常的主旨的数据来对从异常发生前后的配方获取到的装置数据进行核对。

公开(公告)号：CN107291076A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201710232242.7

申请日：2017-04-11

申请人： 株式会社大福

发明人： 西川直 ,  进武士

IPC分类号： G05D1/02

CPC分类号： H01L21/67276 ,  B65G2201/0297 ,  G05B2219/31003 ,  G05B2219/31005 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  Y02P90/285 ,  G05D1/0236 ,  G05D1/0214 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0257 ,  G05D1/0276 ,  G05D2201/02

摘要： 本发明能够抑制管理区域的物品输送车的碰撞，并且缓和能够向管理区域内进入的物品输送车的台数的限制。物品输送车（V）搭载发送标签信息的无线标签（5），物品输送设备具备输送管理装置（H）、位置检测装置、多个接入点、前述输送管理装置管理物品输送车向管理区域（Z）的进入，使得存在于一个管理区域内的物品输送车的台数为管理台数以下，前述位置检测装置基于多个接入点接收的相同的标签信息，以能够区别管理区域内的多个部位的精度检测各物品输送车的位置。输送管理装置从位置检测装置取得作为表示各物品输送车的位置的信息即位置信息，基于位置信息，在满足被预先规定的允许条件的情况下，物品输送车超过管理台数地进入至管理区域内。

公开(公告)号：CN106847732A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710214878.9

申请日：2017-04-01

申请人： 刘一锋

发明人： 刘一锋

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/67028 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67276 ,  H01L31/1876

摘要： 本发明公开了一种太阳能电池用制绒吹灰装置，包括保护外壳和传送带，保护外壳的顶端设置有防尘罩，保护外壳一侧的顶端设置有指示灯，指示灯的下方安装有蜂鸣器，蜂鸣器的一侧设置有显示屏，显示屏的下方设置有控制面板，保护外壳另一侧的顶端设置有散热窗，散热窗的下方安装有单扇门，单扇门与保护外壳的连接处设置有密封圈，散热窗的一侧设置有进水口，保护外壳另一侧的底端设置有排水口，进水口与排水口的顶端均设置有阀门，保护外壳内部的顶端设置有控制室，本发明便于对物料的表面进行吹灰，同时便于对灰尘进行收集，防止灰尘飞溅，效率较高；便于完成对污水的排放和更换，简单环保；便于散热，可以提高整体的使用寿命。