半导体激光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1992457A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200610171456.X

    申请日:2006-12-27

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体激光装置元件(20),具备在光出射面(5a)上形成具有由AlN构成的电介质层(5b)的氮化物系半导体激光元件(5)和气密密封氮化物系半导体激光元件(5)的封装部(1)。并且,封装部(1)内的气氛是水分浓度为5000ppm以下的含氮气氛。通过调整封装部(1)内的气氛,能够抑制由在半导体激光元件的端面形成的由氮化物构成的电介质层的变质引起的输出的降低和可靠性的下降。

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