公开(公告)号：CN108426541A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810133942.5

申请日：2018-02-09

Applicant: 发那科株式会社

Inventor： 吉田顺一郎 ,  藁科文和

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G01N21/89 ,  G01N2201/10

Abstract: 本发明提供一种生成检查系统的动作程序的装置及方法，该装置能够迅速地构建为了将工件被检查面的损伤检出而用于使检查系统执行对该被检查面进行摄像的动作程序。该装置具备：取得工件的图面数据的图面取得部、受理对图面数据中的被检查面的指定的指定受理部、将以被检查面进入摄像部的视野的方式使工件与摄像部定位时的移动机构的位置作为目标位置取得的目标位置取得部、以及基于目标位置生成用于对移动机构的移动动作和摄像部的摄像动作进行控制的动作程序的程序生成部。

公开(公告)号：CN103885179B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

公开(公告)号：CN107328722A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710260728.1

申请日：2017-04-20

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： T.M.马塔 ,  M.维勒特 ,  B.弗里茨

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/31 ,  G01N21/314 ,  G01N21/3151 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/39 ,  G01N2021/3148 ,  G01N2021/3181 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/10

Abstract: 双波长源气体检测器。在本文描述了用于双波长源气体传感器的设备、方法、系统和计算机可读介质。一个或多个实施例包括气体传感器，其包括：经由光路来传输第一波长和第二波长的双波长源，其中气体通过光路而存在；经由光路来接收第一波长和第二波长的检测器；以及耦合到检测器以确定确定第一波长和第二波长的信号强度的计算设备。

公开(公告)号：CN106471333A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201480080388.9

申请日：2014-07-08

Applicant: 日产自动车株式会社

Inventor： 柴山博久 ,  盐谷英尔 ,  樱井谕 ,  杉山精一 ,  清水明 ,  寺田大辅 ,  熨斗良次 ,  内海贵人

IPC: G01B11/30 ,  B23Q17/24 ,  B24B33/02 ,  G01B11/22 ,  G01N21/88

CPC classification number: G06T7/0004 ,  B05B9/01 ,  B05B13/06 ,  B23Q17/24 ,  B24B33/02 ,  G01B11/22 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  G01N21/954 ,  G01N2021/9548 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/12 ,  G06T7/507 ,  G06T7/62 ,  G06T2207/30108 ,  G06T2207/30148

Abstract: 提供一种能够高精度地测定表面缺陷的体积的缺陷检查装置(1)。缺陷检查装置(1)具备：拍摄装置(3)，其对检查对象的图像进行拍摄；二值化处理部(11)，其通过针对图像利用互不相同的第1以及第2二值化阈值进行第1以及第2二值化处理，从而针对图像中的同一缺陷而计算出第1以及第2尺寸；比率计算部(12)，其对第2尺寸相对于第1尺寸的第1比率进行计算；以及深度判定部(13)，其根据第1比率而判定缺陷的深度。

公开(公告)号：CN106463428A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580023431.2

申请日：2015-05-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·塞兹希内尔 ,  石瑞芳

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G06T7/00 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/12 ,  G06T7/0008 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明提供用于检测光罩上的缺陷的系统及方法。实施例包含产生及/或使用包含光罩图案的成对的预定分段及对应近场数据的数据结构。可基于光罩的由光罩检验系统的检测器产生的实际图像通过回归来确定所述预定分段的所述近场数据。接着，检验光罩可包含：将所述光罩上的检验区中所包含的图案的两个或两个以上分段分别与所述预定分段进行比较；及基于所述分段中的至少一者最类似于的所述预定分段而将近场数据指派到所述分段中的所述至少一者。接着，可使用所述所指派近场数据来模拟将由所述检测器针对所述光罩形成的图像，可将所述图像与由所述检测器产生的实际图像进行比较以进行缺陷检测。

公开(公告)号：CN106463367A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580011771.3

申请日：2015-03-02

Applicant: 相干激光系统有限公司

Inventor： P·范德威尔特

IPC: H01L21/268 ,  G01N21/47 ,  G01N21/84 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C30B1/02 ,  C30B29/06 ,  G01N21/21 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8461 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0092 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/268 ,  H01L22/12

Abstract: 公开了一种对通过用准分子激光脉冲进行辐射而结晶的硅层(22)进行评价的方法。所述结晶根据层所暴露的脉冲的数量和脉冲中的能量密度ED而在结晶层上产生周期性特征。使用光衍射的光形成照明区域的显微图像。显微图像包括相应的周期性特征。通过测量显微图像中周期性特征的对比从而确定ED。(29)照明层的区域。由于周期性特征而从照明区

公开(公告)号：CN105928896A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610420006.3

申请日：2016-06-15

Applicant: 汕头市胜霏尔环境科技有限公司

Inventor： 郑志强 ,  林凯 ,  许俊发 ,  张继荣 ,  陈灿 ,  叶龙平 ,  林福创

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/85

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/8578 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10

Abstract: 本发明属于电子产品领域，主要涉及一种基于安全的激光多维扫描的气体检测系统，所述气体检测系统包括安全的激光发射单元、反射板、线阵激光传感器单元、数据采集和处理单元，激光发射单元发射出对人体无害的调制中红外激光平面，经过反射板反射，部分光进入线阵激光传感器单元，传感器将光信号转换成电信号并传输给数据采集和处理单元。与现有技术相比，本系统采用的光源是安全红外光源，对人体无害，反射板块在满足反射率的前提下更耐磨损；采用激光平面检测不受车辆类型和排气管位置影响，还可以扫描出单车道不同位置的不同尾气成分随时间变化的浓度3D信息并判断车辆状态；同时可以根据需要在多车道架设多个遥测系统实现对多车道测量。

公开(公告)号：CN105910707A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610426263.8

申请日：2016-06-16

Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所

Inventor： 李江 ,  刘乔 ,  杜良辉 ,  邹逸 ,  朱礼国 ,  翟召辉 ,  钟森城 ,  周平伟 ,  王德田 ,  彭其先 ,  李泽仁 ,  赵剑衡

IPC: G01J3/28 ,  G01J1/00 ,  G01N21/3586

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J1/00 ,  G01N21/3586 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/10

Abstract: 本发明公开了一种基于光纤拉伸器的全光纤式时域快扫描太赫兹光谱的方法，用于太赫兹脉冲产生的激发飞秒脉冲和用于太赫兹脉冲时域探测的探测飞秒脉冲均在光纤中传输，用于时域的扫描延时线采用采用光纤拉伸器，采用高动态范围、宽带宽数据采集卡采集记录太赫兹脉冲时域电场信息并传输到计算器，进行实时数据处理、储存，从而实现太赫兹时域脉冲信号的采集、处理及储存。本发明系统采用全光纤式设计有利于实现太赫兹时域光谱系统的集成化、小型化，采用光纤拉伸器作为时域扫描延时线，提高太赫兹光谱检测和成像速率，且易于光纤系统集成，采用数据采集卡采集记录太赫兹脉冲时域电场信息，可实现太赫兹时域脉冲信息的实时记录。

公开(公告)号：CN105683803A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058548.X

申请日：2014-08-27

Applicant: 想象光学公司 ,  国家科学研究中心 ,  波尔多大学

Inventor： 格扎维埃·勒韦克 ,  维尔日勒·维亚诺夫 ,  让-巴普蒂斯特·西巴里塔 ,  文森特·斯蒂德 ,  雷米·加朗

IPC: G02B21/06

CPC classification number: G02B21/06 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6458 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0638 ,  G01N2201/10 ,  G02B21/16 ,  G02B21/241 ,  G02B21/361 ,  G02B27/0068

Abstract: 根据一个方面，本发明涉及一种用于通过对样品的片照明而进行的对设置于样品支撑上的厚样品的显微镜方法。具体而言，所述方法包括：发射至少一个照明束(1)；从照明束形成照明表面；为了形成位于基本上与显微镜透镜的光轴成直角的平面中的横向照明表面，借助于显微镜透镜(120)聚焦样品中的照明表面并且偏转源自显微镜透镜的照射表面。所述方法还包括：在检测设备(130)的检测表面(131)上借助于所述显微镜透镜(120)形成通过横向照明表面照明的样品的区域的图像；扫描照明束，从而允许横向照明表面沿显微镜透镜的光轴移动；并通过包括与用于显微镜透镜和样品的相对轴向移动的装置分开的装置的聚焦装置重叠物体成像表面与横向照明表面。

公开(公告)号：CN105308434A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201480022201.X

申请日：2014-04-15

Applicant: 皇家飞利浦有限公司

Inventor： T.W.伯格 ,  E.斯皮伦 ,  M.C.瓦尔维克 ,  T.奥勒森

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N15/0211 ,  G01N15/0227 ,  G01N15/06 ,  G01N15/10 ,  G01N15/1463 ,  G01N21/07 ,  G01N21/272 ,  G01N21/51 ,  G01N21/53 ,  G01N33/146 ,  G01N2015/0053 ,  G01N2015/0065 ,  G01N2015/0088 ,  G01N2015/025 ,  G01N2015/0294 ,  G01N2015/0687 ,  G01N2015/0693 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1087 ,  G01N2015/1093 ,  G01N2015/1493 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2201/10

Abstract: 一种适合用于确定包括多个对象的至少部分液体体积的作为时间函数的特性的光学系统。所述光学系统提供液体体积中的改变的快速检测。所述光学系统包括-光学检测组件，包括被配置成采集图像采集区域的图像的至少一个图像采集设备；-样品设备，包括适合用于容纳所述液体体积的样品的至少一个样品容器；-平移装置，被配置成平移所述图像采集区域通过所述样品容器的至少一个部分，以执行沿通过所述样品容器的所述部分的扫描路径的扫描；以及-图像分析处理系统。所述光学系统被编程为执行通过所述样品容器的所述至少一个部分的接连扫描，其中每一次扫描包括通过光学检测组件在图像采集区域沿扫描的至少一个扫描路径平移时，在图像采集区域的多个图像采集位置处采集图像。所述图像分析处理系统被编程为，针对在来自每一个相应扫描的所述图像上捕获的多个对象中的每一个对象，确定值集合形式的特征集合，并且针对每一次扫描确定至少一个导出结果，所述导出结果是从多个值集合导出，并且呈现作为时间函数的从相应接连扫描获得的所述导出结果。