具有阴离子隔膜的惰性阳极电镀处理器和补充器

    公开(公告)号:CN106929900A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201610994437.0

    申请日:2016-11-11

    IPC分类号: C25D17/00 C25D21/14 C25D7/12

    摘要: 一种电镀系统包括具有容器的处理器,所述容器具有分别含有阴极电解液和阳极电解液的第一或上隔室和第二或下隔室,在所述隔室之间存在处理器阴离子隔膜。惰性阳极安置在所述第二隔室中。补充器经由阴极电解液返回线和供应线和阳极电解液返回线和供应线与所述容器连接,从而使阴极电解液和阳极电解液流通经过由补充器阴离子隔膜分离的所述补充器中的隔室。所述补充器通过移动来自块体金属源的离子将金属离子添加到所述阴极电解液中,并且将来自所述阳极电解液的阴离子移动穿过所述阴离子隔膜并且到所述阴极电解液中。所述阴极电解液和所述阳极电解液中的金属离子和阴离子的浓度保持平衡。

    操作电解单元的阳极和方法

    公开(公告)号:CN104204307B

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201380013068.7

    申请日:2013-03-06

    IPC分类号: C25C7/02 C25C7/04

    CPC分类号: C25D17/12 C25C7/02 C25D3/38

    摘要: 一种用于电解沉积工艺的阳极(1),位于电解单元(4)中,所述电解单元具有用于保持电解液的单元壁(2)和单元底部(3)以及电解液供给装置(6),阳极包括用于支撑所述阳极的悬架条(7),用于分配电流到所述阳极的传导棒(8),具有至少部分导电结构的阳极主体(9),所述阳极主体允许电解液穿透并且至少部分地被电催化涂层覆盖,与所述阳极(1)有关地布置有非导电元件(10、12、14),其至少从一侧被限制到所述阳极主体(9)的所述导电结构,并且当所述非导电元件提供用于将所述阳极附接到所述电解单元(4)的装置时非导电元件被布置在离所述电解液水平面(11)的距离A处。本发明也涉及操作在金属的电解沉积中使用的电解单元的方法。

    电镀铜用高填平酸铜光亮剂

    公开(公告)号:CN106609385A

    公开(公告)日:2017-05-03

    申请号:CN201710146980.X

    申请日:2017-03-13

    发明人: 施佳抄

    IPC分类号: C25D3/38

    CPC分类号: C25D3/38

    摘要: 电镀铜用高填平酸铜光亮剂,以重量份计,其至少含有染料化合物7‑8份、聚二硫二丙烷磺酸钠3.4‑3.6份、四硫代对苯二甲酸盐4.2‑4.4份、1,4‑丁炔二醇1.8‑2份、硫代吗啉5.6‑5.8份、四氢呋喃12‑15份、水85‑88份。