公开(公告)号：CN102171808B

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN200980138719.9

申请日：2009-10-10

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 石洪

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H02N13/00 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49718 ,  Y10T29/49719 ,  Y10T29/49746

摘要： 根据本发明的一方面，双极静电卡盘翻新处理无需物理分离所述静电卡盘的两个电极。本发明的一方面涉及处理双极静电卡盘的方法，所述双极静电卡盘具有前表面和后表面并包括设置在所述前表面上的第一电极、第二电极以及设置在所述前表面、所述第一电极和所述第二电极上的阳极氧化层。所述方法包括测量所述静电卡盘的第一参数；如果所述测量得的第一参数不在第一预定范围内，丢弃所述静电卡盘；如果所述测量得的第一参数在所述第一预定范围内，清洁所述静电卡盘，用密封剂密封所述前表面上的所述第一电极和所述第二电极之间的缝隙，而不使所述第一电极相对应于第二电极位移，消除所述氧化层；以及在所述前表面、所述第一电极和所述第二电极上设置新的阳极氧化层。

公开(公告)号：CN101946315B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200980104876.8

申请日：2009-02-04

申请人： 应用材料公司

发明人： 阿施施·布特那格尔

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6833 ,  B29C66/71 ,  B29K2071/00 ,  B29K2077/00 ,  B29K2101/12 ,  B29K2995/0006 ,  B29K2995/001 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4584 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  Y10T156/10 ,  Y10T279/23

摘要： 本发明大体上提供一种高效静电吸盘，用以在处理体积中保持衬底。高效静电吸盘包含电极，该电极埋置在高纯度热塑性部件中。明确而言，高纯度热塑性部件可以包括金属离子含量极低的高纯度聚芳醚酮。相较于在静电吸盘中使用聚醯亚胺膜而言，高纯度聚芳醚酮具有优越的耐磨损性、耐高温、耐等离子体、抗腐蚀性化学品、电稳定性及强度。本发明亦提供一种制造高效静电吸盘的简化方法。

公开(公告)号：CN101506939B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200780031547.6

申请日：2007-08-21

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 金允尚 ,  安德鲁·贝利三世 ,  杰克·陈

IPC分类号： H01L21/02 ,  G03F7/42 ,  H01L21/00 ,  H01L21/311

CPC分类号： H01L21/02041 ,  H01L21/02087 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/6833

摘要： 提供一种蚀刻基片斜缘的方法。在该蚀刻层上形成图案化光刻胶掩模。清洁该斜缘，包括：提供清洁气体，其包括CO2、CO、CxHy、H2、NH3、CxHyFz和其组合的至少一个；由该清洁气体形成清洁等离子；以及将该斜缘暴露于该清洁等离子。穿过该光刻胶特征将特征蚀刻进该蚀刻层，以及去除该光刻胶掩模。

公开(公告)号：CN102792437A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180013487.1

申请日：2011-03-23

申请人： TOTO株式会社

发明人： 堀裕明 ,  近藤俊平 ,  穴井勇辉 ,  板仓郁夫 ,  内村健志 ,  穴田和辉

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。

公开(公告)号：CN102498559A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080041652.X

申请日：2010-07-21

申请人： 株式会社尼康

发明人： 菅谷功 ,  长南纯一 ,  前田荣裕

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/67092 ,  H01L21/187 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  Y10T156/10 ,  Y10T156/1744

摘要： 为了成为将用于保持半导体基板的基板保持架彼此一体化而夹持所层叠的半导体基板的状态，需要将半导体基板彼此固定的固定机构。该固定机构中的接触部位也能够成为产生灰尘的原因。因此，为了抑制灰尘的产生而提供一种基板保持架系统，该基板保持架系统具备：保持第1基板的第1基板保持架；设置于第1基板保持架的结合构件；保持第2基板的第2基板保持架；被结合构件，该被结合构件设置于第2基板保持架上，当第1基板保持架和第2基板保持架夹持第1基板和第2基板而对置时，该被结合构件设置于与结合构件对置的位置；以及缓冲部，该缓冲部设置于结合构件或者被结合构件的各自的接触部的至少一方。

公开(公告)号：CN102349145A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201080011814.5

申请日：2010-01-08

申请人： 应用材料公司

发明人： S·桑德 ,  J·C·赫金斯 ,  P·R·琴恩塔拉帕蒂 ,  W·N·泰勒 ,  W·P·莱赛基 ,  J·A·布洛迪尼 ,  D·C·鲁泽克 ,  M·D·塞法缇

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141 ,  Y10S901/30 ,  Y10S901/40

摘要： 提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明的方法以及许多其它方面。

公开(公告)号：CN101874298B

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN200880117654.5

申请日：2008-10-10

申请人： 筑波精工株式会社

发明人： 傅宝莱

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/673 ,  H02N13/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/6833

摘要： 一种用于加固在处理过程中需要暂时加固的薄状加固对象(101)的加固装置。该加固装置包括：加固部件本体(110)，具有在电绝缘层(113)内部嵌入电极部(112)的薄板状静电保持部；以及电压控制部(120)，与加固部件本体(110)可分离设置，具有能够将加固对象(101)导通接地的第一连接端子(121)和能够将电极部(112)接地或导通到高电压的第二连接端子(122)。电压控制部(120)包括：吸附工序部，用于由接地为加固对象(101)提供与提供给电极部(112)的电荷极性相反的电荷，以使静电保持部产生吸附力以吸附加固对象(101)以将加固部件本体(110)用作加固部件；及吸附释放工序部，用于使累积在加固对象(101)和电极部(112)上的电荷释放以使静电吸附能力消失。

公开(公告)号：CN101740300B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200910208243.3

申请日：2009-10-17

申请人： 显示器生产服务株式会社

发明人： 李元默 ,  蔡焕国 ,  朴根周 ,  高诚庸 ,  金珉植 ,  金起铉

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32642

摘要： 本发明提供了一种等离子反应器中的静电夹头装置。该装置设有一个静电夹头，一个静电夹头盖环和一个阴极装置盖环。该静电夹头设有一个主体部分和一个突起部分。所述的主体部分为一个具有第一直径的圆形。所述的突起部分整个从主体部分中形成，并从主体部分中伸出，其为一个具有第二直径的圆形，其中第二直径小于第一直径。所述的静电夹头盖环沿突起部分的外圆周环绕地设置。所述的阴极装置盖环沿静电夹头盖环的一个外圆周和主体部分的一个外圆周环绕地设置在阴极装置的上部。

公开(公告)号：CN102122607A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201010622815.5

申请日：2005-12-01

申请人： 蓝姆研究公司

发明人： 尼尔·本杰明 ,  罗伯特·J·斯蒂格

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/683

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01J37/32724 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/68714

摘要： 一种用于控制工件上的空间温度的方法，其包含：提供保持在恒定温度的基底，所述恒定温度低于所述工件的温度，所述基底具有安装于所述基底顶部上的热绝缘材料层；固持所述工件使其抵靠具有多个空间区的平面支撑件的顶面，所述平面支撑件安装于所述热绝缘材料层的顶部上；用安装于所述平面支撑件的底面上的多个加热器独立地加热所述平面支撑件的每一空间区；以及在蚀刻过程中以至少每秒1℃的速率改变所述平面支撑件的至少一个空间区的温度。

公开(公告)号：CN102112410A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200980130644.X

申请日：2009-08-07

申请人： 旭硝子株式会社

发明人： 伊藤泰则

IPC分类号： C03C27/12 ,  B65G49/06 ,  C03B35/20 ,  H01L21/683

CPC分类号： B65G49/061 ,  B32B17/10706 ,  B32B17/10908 ,  B32B17/10954 ,  B32B2310/025 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6838 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T156/10

摘要： 本发明提供一种利用简单的结构，可高精度确定所保持的基板的位置，充分确保基板的吸附力，能够防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法及夹层玻璃的制造方法。将基板近似水平保持，并使其上下移动的基板的保持装置(10)具有：支承体(2)；由支承体(2)支承并吸附基板的至少1个基板吸附体(1)；和在多个部位将基板吸附体(1)的外周部和支承体(2)的从基板吸附体(1)外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件(4)；带状弹性部件(4)在与基板吸附体(1)连接的一端部和与支承体(2)连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照基板吸附体(1)相对支承体(2)在上下方向相对接近分离的方式变位且在水平方向变位。