一种具有表面双栅控制的横向RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN107342286B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201710490849.5

    申请日:2017-06-23

    IPC分类号: H01L27/06 H01L29/739

    摘要: 一种具有表面双栅控制的横向RC‑IGBT器件,属于功率半导体技术领域。该器件在传统结构的续流二极管上串联了一个MOS管,通过第二栅极来控制这个MOS管开启与关闭,达到和传统结构相同的器件功能:当RC‑IGBT正向工作时,MOS管关闭,传统结构中的N+集电区被MOS管隔离,此时器件相当于纯粹的IGBT,完全消除了传统结构中的电压折回现象;当器件反向工作时,通过第二栅极来控制MOS管开启,续流二极管得以正常工作。同时,与传统的纵向结构器件不同,本发明属于横向器件,器件建立在外延层上,器件的实现无需背面工艺,大大降低了工艺难度;通过RESURF结构,也增强了器件的横向耐压能力。

    一种具有表面双栅控制的横向RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN107342286A

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201710490849.5

    申请日:2017-06-23

    IPC分类号: H01L27/06 H01L29/739

    摘要: 一种具有表面双栅控制的横向RC-IGBT器件,属于功率半导体技术领域。该器件在传统结构的续流二极管上串联了一个MOS管,通过第二栅极来控制这个MOS管开启与关闭,达到和传统结构相同的器件功能:当RC-IGBT正向工作时,MOS管关闭,传统结构中的N+集电区被MOS管隔离,此时器件相当于纯粹的IGBT,完全消除了传统结构中的电压折回现象;当器件反向工作时,通过第二栅极来控制MOS管开启,续流二极管得以正常工作。同时,与传统的纵向结构器件不同,本发明属于横向器件,器件建立在外延层上,器件的实现无需背面工艺,大大降低了工艺难度;通过RESURF结构,也增强了器件的横向耐压能力。