电容构造及其制作方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103151339B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201310046969.8

    申请日:2013-02-08

    Abstract: 本发明公开一种电容构造及其制作方法,所述电容构造包含一第一金属层、一钽金属层、一复合材料层及一第二金属层。所述钽金属层设于所述第一金属层上;所述复合材料层设于所述钽金属层上;以及所述第二金属层设于所述复合材料层上。所述复合材料层包含五氧化二钽基材,并掺杂有二氧化钛复合材料颗粒。本发明通过一阳极氧化处理使所述钽金属层上形成一钽金属氧化层,再利用一钛塩溶液以及通过一加热过程形成所述复合材料层,以作为所述电容构造的介电材料层。相较现有干式制造方法使用沉积工艺需要较长的沉积时间及较高的设备与制造成本,本发明的湿式制造方法可节省电容的制作时间及降低成本,且能相对提升电容构造的电性表现。

    间隔件及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102738073A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210163526.2

    申请日:2012-05-24

    Abstract: 本发明公开一种间隔件及其制造方法。所述间隔件包含一光刻胶型封胶体,具有一第一表面以及一第二表面,并包含数个通孔以及数个导电柱。所述通孔贯穿所述第一表面与第二表面,所述导电柱对应填充于所述通孔中。所述间隔件另包含一第一图案化线路层及一第二图案化线路层,分别形成于所述封胶体的第一及第二表面。所述第二图案化线路层通过所述导电柱电性连接至所述第一图案化线路层,其中所述光刻胶型封胶体包含光刻胶材料、环氧树脂以及填充颗粒,且所述填充颗粒的直径小于两个相邻所述导电柱的间距的三分之一。

    用于半导体装置的铜合金导线

    公开(公告)号:CN103849795A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201210500479.6

    申请日:2012-11-29

    Abstract: 本发明公开一种用于半导体装置的铜合金导线,所述铜合金导线包含20重量%至40重量%的锰、20重量%至30重量%的锌,或是20重量%至30重量%的锌及锰,及其余重量部分为铜。本发明通过在铜基材中加入上述特定重量比例且材料成本较低的锰及/或锌,可以改善铜导线与打线工艺相关的物化性质,例如降低线材熔点、改善线材的抗氧化性及抗腐蚀性,并使得线材在工作温度时具有更高的受热软化程度,同时也能降低导线材料成本。再者,由于铜合金导线的抗氧化性能的提升,故亦可在打线期间省略使用还原性保护气体,可以仅使用氮气,以避免发生工安问题。

    电容构造及其制作方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103151339A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310046969.8

    申请日:2013-02-08

    Abstract: 本发明公开一种电容构造及其制作方法,所述电容构造包含一第一金属层、一钽金属层、一复合材料层及一第二金属层。所述钽金属层设于所述第一金属层上;所述复合材料层设于所述钽金属层上;以及所述第二金属层设于所述复合材料层上。所述复合材料层包含五氧化二钽基材,并掺杂有二氧化钛复合材料颗粒。本发明通过一阳极氧化处理使所述钽金属层上形成一钽金属氧化层,再利用一钛塩溶液以及通过一加热过程形成所述复合材料层,以作为所述电容构造的介电材料层。相较现有干式制造方法使用沉积工艺需要较长的沉积时间及较高的设备与制造成本,本发明的湿式制造方法可节省电容的制作时间及降低成本,且能相对提升电容构造的电性表现。

Patent Agency Ranking