半導体パッケージ、及び半導体パッケージの製造方法

    公开(公告)号:JP2018037640A

    公开(公告)日:2018-03-08

    申请号:JP2017067312

    申请日:2017-03-30

    发明人: 八甫谷 明彦

    IPC分类号: H01L21/60 H01L21/52

    摘要: 【課題】分子接合層によってベース及び半導体チップの少なくとも一方とダイボンディング接着層との密着性を向上させることができる半導体パッケージを提供することである。 【解決手段】実施形態の半導体パッケージは、ベースと、半導体チップと、ダイボンディング接着層と、分子接合層とを備える。前記ダイボンディング接着層は、前記ベースと前記半導体チップとの間に設けられている。前記分子接合層は、前記ベース及び前記半導体チップの少なくとも一方と前記ダイボンディング接着層との間に設けられている。前記分子接合層の少なくとも一部は、前記ダイボンディング接着層に含まれる樹脂と化学結合している。前記分子接合層の少なくとも一部は、前記ベースに含まれる第1素材及び前記半導体チップに含まれる第2素材の少なくとも一方と化学結合している。 【選択図】図2