感光性絶縁樹脂組成物およびその硬化物

    公开(公告)号:JPWO2008026401A1

    公开(公告)日:2010-01-14

    申请号:JP2008531996

    申请日:2007-07-23

    Abstract: 本発明は、電気絶縁性、耐熱衝撃性、密着性等の特性に優れた硬化物を提供すること、またこのような硬化物を得ることができ、半導体素子の層間絶縁膜、表面保護膜などの用途に適した感光性絶縁樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明は、(A)下記式(1)で示される構造単位(A1)10〜99モル%および下記式(2)で示される構造単位(A2)90〜1モル%を含有する共重合体(ただし、該共重合体(A)を構成する全構造単位の合計を100モル%とする)(式中、R1は炭素数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基、またはアリール基を表し、R2は、水素原子またはメチル基を表し、mは1〜3の整数、nは0〜3の整数であり、m+n≦5である。R3は炭素数1〜4のアルキル基もしくはアルコキシ基、またはアリール基を表し、R4は、水素原子またはメチル基を表し、kは0〜3の整数である)、(B)オキセタニル基を含有する化合物(B1)、(C)光感応性酸発生剤、 (D)溶剤、(F)架橋微粒子を含有することを特徴とする。

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