公开(公告)号：US20130090242A1

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：US13253652

申请日：2011-10-05

申请人： James D. Strassner ,  Gregory Citver ,  Frank Sinclair

发明人： James D. Strassner ,  Gregory Citver ,  Frank Sinclair

IPC分类号： H01L39/02 ,  H01F6/00 ,  F25D31/00 ,  H01F6/04 ,  H02H7/00

CPC分类号： F25D3/10 ,  F25D19/00

摘要： Techniques for sub-cooling in a superconducting (SC) system is disclosed. The techniques may be realized as a method and superconducting (SC) system comprising at least one insulated enclosure configured to enclose at least a first fluid or gas and a second fluid or gas, and at least one superconducting circuit within the at least one insulated enclosure. The superconducting (SC) system may be sub-cooled using at least the first fluid or gas.

摘要翻译： 公开了在超导（SC）系统中的次冷的技术。 这些技术可以被实现为包括被配置为封闭至少第一流体或气体和第二流体或气体的至少一个绝缘壳体的方法和超导（SC）系统，以及至少一个绝缘外壳内的至少一个超导电路 。 可以使用至少第一流体或气体来对超导（SC）系统进行过冷却。

公开(公告)号：US08330125B2

公开(公告)日：2012-12-11

申请号：US12887068

申请日：2010-09-21

申请人： Shengwu Chang ,  Joseph C. Olson ,  Frank Sinclair ,  Matthew P. McClellan

发明人： Shengwu Chang ,  Joseph C. Olson ,  Frank Sinclair ,  Matthew P. McClellan

IPC分类号： H01J37/10

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24542

摘要： A beam line ion implanter includes an ion source configured to generate an ion beam, a scanner configured to scan the ion beam to produce a scanned ion beam having trajectories which diverge from a scan origin, and a focusing element having a focusing field positioned upstream of the scanner configured to focus the ion beam to a focal point at the scan origin. A method of ion beam tuning includes generating an ion beam, focusing the ion beam to a focal point positioned at a scan origin, and scanning the ion beam to produce a scanned ion beam having trajectories which diverge from the scan origin.

摘要翻译： 束线离子注入机包括被配置为产生离子束的离子源，扫描器，被配置为扫描离子束以产生具有从扫描原点发散的轨迹的扫描离子束;以及聚焦元件，其具有位于 扫描器被配置为将离子束聚焦到扫描原点处的焦点。 离子束调谐的方法包括产生离子束，将离子束聚焦到位于扫描原点的焦点，并扫描离子束以产生具有与扫描原点分离的轨迹的扫描离子束。

公开(公告)号：US20120280442A1

公开(公告)日：2012-11-08

申请号：US13101280

申请日：2011-05-05

申请人： Richard J. Hertel ,  Julian G. Blake ,  Edward D. MacIntosh ,  Alexander C. Kontos ,  Frank Sinclair ,  Christopher A. Rowland ,  Mayur Jagtap ,  Sankar Ganesh Kolappan

发明人： Richard J. Hertel ,  Julian G. Blake ,  Edward D. MacIntosh ,  Alexander C. Kontos ,  Frank Sinclair ,  Christopher A. Rowland ,  Mayur Jagtap ,  Sankar Ganesh Kolappan

IPC分类号： B23Q3/06 ,  B25B11/00

CPC分类号： H01L21/68771 ,  G11B23/0021 ,  G11B23/0317 ,  G11B23/0327

摘要： A media carrier, adapted to hold a plurality of pieces of magnetic media, is disclosed. This media carrier can be placed on the workpiece support, or platen, allowing the magnetic media to be processed. In some embodiments, the media carrier is designed such that only one side of the magnetic media is exposed, requiring a robot or other equipment to invert each piece of media in the carrier to process the second side. In other embodiments, the media carrier is designed such that both sides of the magnetic media are exposed. In this scenario, the media carrier is inverted on the platen to allow processing of the second side.

摘要翻译： 公开了适于容纳多个磁性介质的介质载体。 该介质载体可以放置在工件支撑件或压板上，允许磁性介质被处理。 在一些实施例中，介质载体被设计成使得只有磁性介质的一侧被暴露，需要机器人或其他设备来反转载体中的每个介质以处理第二侧。 在其他实施例中，介质载体被设计成使得磁性介质的两侧都被暴露。 在这种情况下，媒体载体在压板上反转，以允许处理第二面。

公开(公告)号：US20120256614A1

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：US13399658

申请日：2012-02-17

申请人： Frank Sinclair ,  Rajesh Dorai

发明人： Frank Sinclair ,  Rajesh Dorai

IPC分类号： H02H9/02 ,  H01F38/00 ,  H01F27/28 ,  H01F17/04 ,  H01F27/24 ,  B82Y15/00

CPC分类号： H02H9/021 ,  H01F38/023

摘要： A technique for limiting fault current transmission is disclosed. In one particular exemplary embodiment, the technique may be realized with a fault current limiter comprising a core having at least first easy axis and a hard axis; and a first coil wound around the core, the first coil configured to carry current. In some embodiment, the easy axis of the core may be aligned with H fields generated by the current transmitted through the first coil.

摘要翻译： 公开了限制故障电流传输的技术。 在一个特定的示例性实施例中，该技术可以利用包括具有至少第一容易轴和硬轴的芯的故障限流器来实现; 以及围绕所述芯缠绕的第一线圈，所述第一线圈构造成承载电流。 在一些实施例中，芯的容易轴可以与通过第一线圈传输的电流产生的H场对准。

公开(公告)号：US08049168B2

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：US12618115

申请日：2009-11-13

申请人： Frank Sinclair

发明人： Frank Sinclair

IPC分类号： H01J49/00

CPC分类号： H01J49/025 ,  H01J49/48

摘要： This measurement device is used to determine energy for charged particles. The measurement device includes two segments and a plate that define two thresholds or gaps. The current as a charged particle passes through these thresholds or gaps is measured. The measurement device then calculates the energy of the charged particles. Energy contamination also may be determined.

摘要翻译： 该测量装置用于确定带电粒子的能量。 测量装置包括两个段和限定两个阈值或间隙的板。 作为带电粒子的电流通过这些阈值或间隙被测量。 然后测量装置计算带电粒子的能量。 能量污染也可以确定。

公开(公告)号：US20110240877A1

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：US12754318

申请日：2010-04-05

申请人： Victor Benveniste ,  Bon-Woong Koo ,  Shardul Patel ,  Frank Sinclair

发明人： Victor Benveniste ,  Bon-Woong Koo ,  Shardul Patel ,  Frank Sinclair

IPC分类号： H01J27/08 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/002

摘要： An ion source is provided that utilizes a cooling plate and a gap interface to control the temperature of an ion source chamber. The gap interface is defined between the cooling plate and a wall of the chamber. A coolant gas is supplied to the interface at a given pressure where the pressure determines thermal conductivity from the cooling plate to the chamber to control the temperature of the interior of the chamber.

摘要翻译： 提供了一种利用冷却板和间隙界面来控制离子源室的温度的离子源。 间隙界面限定在冷却板和腔室的壁之间。 在给定压力下将冷却剂气体供应到界面，其中压力确定从冷却板到室的导热性，以控制室内部的温度。

公开(公告)号：US20110124186A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12947078

申请日：2010-11-16

申请人： Anthony Renau ,  Ludovic Godet ,  Timothy J. Miller ,  Joseph C. Olson ,  Vikram Singh ,  James Buonodono ,  Frank Sinclair ,  Deepak A. Ramappa ,  Russell Low ,  Atul Gupta ,  Kevin M. Daniels

发明人： Anthony Renau ,  Ludovic Godet ,  Timothy J. Miller ,  Joseph C. Olson ,  Vikram Singh ,  James Buonodono ,  Frank Sinclair ,  Deepak A. Ramappa ,  Russell Low ,  Atul Gupta ,  Kevin M. Daniels

IPC分类号： H01L21/265 ,  G21K5/10

CPC分类号： B01J19/081 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/32623 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/1205 ,  H01L21/2236 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/068 ,  H01L31/08 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： A plasma processing apparatus comprises a plasma source configured to produce a plasma in a plasma chamber, such that the plasma contains ions for implantation into a workpiece. The apparatus also includes a focusing plate arrangement having an aperture arrangement configured to modify a shape of a plasma sheath of the plasma proximate the focusing plate such that ions exiting an aperture of the aperture arrangement define focused ions. The apparatus further includes a processing chamber containing a workpiece spaced from the focusing plate such that a stationary implant region of the focused ions at the workpiece is substantially narrower that the aperture. The apparatus is configured to create a plurality of patterned areas in the workpiece by scanning the workpiece during ion implantation.

摘要翻译： 等离子体处理装置包括等离子体源，其被配置为在等离子体室中产生等离子体，使得等离子体包含用于注入工件的离子。 该装置还包括聚焦板装置，该聚焦板装置具有孔结构，其被配置为修改离开聚焦板附近的等离子体鞘的等离子体鞘的形状，使得离开孔结构的孔的离子限定聚焦离子。 该设备还包括处理室，其包含与聚焦板间隔开的工件，使得在工件处的聚焦离子的固定注入区域基本上比孔更窄。 该装置被配置为通过在离子注入期间扫描工件来在工件中产生多个图案化区域。

公开(公告)号：US20100155593A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12618115

申请日：2009-11-13

申请人： Frank Sinclair

发明人： Frank Sinclair

IPC分类号： H01J49/04

CPC分类号： H01J49/025 ,  H01J49/48

摘要： This measurement device is used to determine energy for charged particles. The measurement device includes two segments and a plate that define two thresholds or gaps. The current as a charged particle passes through these thresholds or gaps is measured. The measurement device then calculates the energy of the charged particles. Energy contamination also may be determined.

摘要翻译： 该测量装置用于确定带电粒子的能量。 测量装置包括两个段和限定两个阈值或间隙的板。 作为带电粒子的电流通过这些阈值或间隙被测量。 然后测量装置计算带电粒子的能量。 能量污染也可以确定。

公开(公告)号：US5814819A

公开(公告)日：1998-09-29

申请号：US891688

申请日：1997-07-11

申请人： Frank Sinclair ,  Victor Benveniste ,  Jiong Chen

发明人： Frank Sinclair ,  Victor Benveniste ,  Jiong Chen

IPC分类号： H01J37/317 ,  C23C14/48 ,  G21K1/14 ,  H01J37/02 ,  H01J27/02

CPC分类号： H01J37/026 ,  H01J2237/31701

摘要： An improved ion beam neutralizer (22) is provided for neutralizing the electrical charge of an ion beam (28) output from an extraction aperture (50). The neutralizer comprises a source of water (52); a vaporizer (54) connected to the source of water; a mass flow controller (56) connected to the vaporizer; and an inlet (60) connected to the mass flow controller. The vaporizer (54) converts water from the source (52) from a liquid state to a vapor state. The mass flow controller (56) receives water vapor from the vaporizer (54) and meters the volume of water vapor output by a mass flow controller outlet (66). The inlet (60) is provided with an injection port (68) located proximate the ion beam extraction aperture (50) and receives the metered volume from the outlet (66). The injection port (68) is positioned near the extraction aperture so that the ion beam and the water vapor interact to neutralize the ion beam. The improved ion beam neutralizer (22) is especially effective in low energy (less than ten kilo-electron volts (10 KeV)) beam applications.

摘要翻译： 提供改进的离子束中和器（22），用于中和从提取孔（50）输出的离子束（28）的电荷。 中和器包括水源（52）; 连接到水源的蒸发器（54）; 连接到蒸发器的质量流量控制器（56） 以及连接到质量流量控制器的入口（60）。 蒸发器（54）将来自源（52）的水从液态转换为蒸汽状态。 质量流量控制器（56）接收来自蒸发器（54）的水蒸汽并且测量由质量流量控制器出口（66）输出的水蒸汽的体积。 入口（60）设置有靠近离子束提取孔（50）定位并从出口（66）接收计量体积的注射口（68）。 注入口（68）位于提取孔附近，使得离子束和水蒸气相互作用以中和离子束。 改进的离子束中和器（22）在低能量（小于十千伏电压（10KeV）））的应用中特别有效。

公开(公告)号：US08709533B2

公开(公告)日：2014-04-29

申请号：US13228426

申请日：2011-09-08

申请人： Frank Sinclair ,  Julian G. Blake

发明人： Frank Sinclair ,  Julian G. Blake

IPC分类号： G11B5/708

CPC分类号： G11B5/855

摘要： A technique for manufacturing hit pattern media is disclosed. In one particular exemplary embodiment, the technique may be realized as a method for manufacturing bit pattern media. The method may comprise forming an intermediate layer comprising a modified region and a first region adjacent to one another, where the modified region and the first region may have at least one different property; depositing magnetic species on the first region of the intermediate layer to form an active region; and depositing non-ferromagnetic species on the modified region of the intermediate layer to form a separator.

摘要翻译： 公开了一种制造命中图形介质的技术。 在一个特定的示例性实施例中，该技术可以被实现为用于制造钻头图案介质的方法。 该方法可以包括形成包括相邻的修饰区域和第一区域的中间层，其中改质区域和第一区域可具有至少一个不同的性质; 在所述中间层的第一区域上沉积磁性物质以形成活性区域; 并将非铁磁物质沉积在中间层的改性区上以形成隔膜。