公开(公告)号：US20090275206A1

公开(公告)日：2009-11-05

申请号：US12143146

申请日：2008-06-20

申请人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brian K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

发明人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brian K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/31116 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

摘要： A passivation species precursor gas is furnished to an inner zone at a first flow rate, while flowing an etchant species precursor gas an annular intermediate zone at a second flow rate. Radial distribution of etch rate is controlled by the ratio of the first and second flow rates. The radial distribution of etch critical dimension bias on the wafer is controlled by flow rate of passivation gas to the wafer edge.

摘要翻译： 钝化物质前体气体以第一流速被提供到内部区域，同时以蚀刻剂物质前体气体以第二流速流动环形中间区域。 蚀刻速率的径向分布由第一和第二流速的比率控制。 蚀刻临界尺寸偏置在晶片上的径向分布由通向晶片边缘的钝化气体的流速来控制。

公开(公告)号：US08236133B2

公开(公告)日：2012-08-07

申请号：US12143092

申请日：2008-06-20

申请人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brian K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

发明人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brian K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

IPC分类号： H01L21/311

CPC分类号： H01L21/31116 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

摘要： A gas distribution assembly for the ceiling of a plasma reactor includes a center fed hub and an equal path length distribution gas manifold underlying the center fed hub.

摘要翻译： 用于等离子体反应器的天花板的气体分配组件包括中心供给的轮毂和位于中心供给轮毂下方的相等路径长度的分配气体歧管。

公开(公告)号：US20090272492A1

公开(公告)日：2009-11-05

申请号：US12143092

申请日：2008-06-20

申请人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brain K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

发明人： Dan Katz ,  David Palagashvili ,  Brain K. Hatcher ,  Theodoros Panagopoulos ,  Valentin N. Todorow ,  Edward P. Hammond, IV ,  Alexander M. Paterson ,  Rodolfo P. Belen

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/31116 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

摘要： A gas distribution assembly for the ceiling of a plasma reactor includes a center fed hub and an equal path length distribution gas manifold underlying the center fed hub.

摘要翻译： 用于等离子体反应器的天花板的气体分配组件包括中心供给的轮毂和位于中心供给轮毂下方的相等路径长度的分配气体歧管。

公开(公告)号：US20090218317A1

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：US12039350

申请日：2008-02-28

申请人： RODOLFO P. BELEN ,  Edward P. Hammond, IV ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

发明人： RODOLFO P. BELEN ,  Edward P. Hammond, IV ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

IPC分类号： C23F1/08 ,  C23F1/00

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/45574 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

摘要： Embodiments of the present invention provide apparatus and method for processing a substrate with increased uniformity. One embodiment of the present invention provides an apparatus for processing a substrate. The apparatus comprises a chamber body defining a processing volume, a substrate support disposed in the processing volume, a showerhead disposed in the processing volume opposite to the substrate support, and a plasma generation assembly configured to ignite a plasma from the processing gases in the processing gas in the processing volume. The showerhead is configured to provide one or more processing gases to the processing volume. The showerhead has two or more distribution zones each independently controllable.

摘要翻译： 本发明的实施例提供了用于以均匀性增加来处理衬底的装置和方法。 本发明的一个实施例提供一种用于处理衬底的装置。 该装置包括限定处理体积的室主体，设置在处理容积中的基板支撑件，设置在与基板支撑件相对的处理体积中的喷头，以及等离子体产生组件，其被配置为在处理中点燃来自处理气体的等离子体 气体处理量。 喷头构造成为处理量提供一种或多种处理气体。 喷头具有两个或更多个分配区，每个分配区可独立控制。

公开(公告)号：US20090142930A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：US11998829

申请日：2007-11-30

申请人： Edward P. Hammond, IV ,  Rodolfo P. Belen ,  Alexander M. Paterson ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

发明人： Edward P. Hammond, IV ,  Rodolfo P. Belen ,  Alexander M. Paterson ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/32137 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32165 ,  H01L21/28035

摘要： A method of processing a wafer in a plasma, in which target values of two different plasma process parameters are simultaneously realized under predetermined process conditions by setting respective power levels of VHF and HF power simultaneously coupled to the wafer to respective optimum levels.

摘要翻译： 一种在等离子体中处理晶片的方法，其中通过将同时耦合到晶片的VHF和HF功率的相应功率电平设置为相应的最佳电平，在预定的工艺条件下同时实现两个不同等离子体工艺参数的目标值。

公开(公告)号：US20090156011A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12001986

申请日：2007-12-12

申请人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond, IV ,  Dan Katz ,  Valentin N. Todorow ,  Brian K. Hatcher ,  Alexander M. Paterson

发明人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond, IV ,  Dan Katz ,  Valentin N. Todorow ,  Brian K. Hatcher ,  Alexander M. Paterson

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/32137 ,  H01L22/20

摘要： In a plasma etch process, critical dimension (CD), CD bias and CD bias microloading are controlled independently of plasma process conditions or parameters, such as RF power levels, pressure and gas flow rate, by depressing or elevating the workpiece support pedestal to vary the gap between the workpiece and the chamber ceiling facing the workpiece, using an axially adjustable workpiece support.

摘要翻译： 在等离子体蚀刻工艺中，临时尺寸（CD），CD偏压和CD偏压微载荷独立于等离子体工艺条件或参数（例如RF功率水平，压力和气体流量）被控制，通过按压或升高工件支撑座以改变 使用可轴向调节的工件支撑件，工件与室顶面之间的工件间隙。

公开(公告)号：US08066895B2

公开(公告)日：2011-11-29

申请号：US12039350

申请日：2008-02-28

申请人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond, IV ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

发明人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond, IV ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

IPC分类号： B44C1/22 ,  C03C15/00 ,  C03C25/68 ,  C23F1/00

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/45574 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

摘要： Embodiments of the present invention provide apparatus and method for processing a substrate with increased uniformity. One embodiment of the present invention provides an apparatus for processing a substrate. The apparatus comprises a chamber body defining a processing volume, a substrate support disposed in the processing volume, a showerhead disposed in the processing volume opposite to the substrate support, and a plasma generation assembly configured to ignite a plasma from the processing gases in the processing gas in the processing volume. The showerhead is configured to provide one or more processing gases to the processing volume. The showerhead has two or more distribution zones each independently controllable.

摘要翻译： 本发明的实施例提供了用于以均匀性增加来处理衬底的装置和方法。 本发明的一个实施例提供一种用于处理衬底的装置。 该装置包括限定处理体积的室主体，设置在处理容积中的基板支撑件，设置在与基板支撑件相对的处理体积中的喷头，以及等离子体产生组件，其被配置为在处理中点燃来自处理气体的等离子体 气体处理量。 喷头构造成为处理量提供一种或多种处理气体。 喷头具有两个或更多个分配区，每个分配区可独立控制。

公开(公告)号：US08017526B2

公开(公告)日：2011-09-13

申请号：US11998829

申请日：2007-11-30

申请人： Edward P. Hammond, IV ,  Rodolfo P. Belen ,  Alexander M. Paterson ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

发明人： Edward P. Hammond, IV ,  Rodolfo P. Belen ,  Alexander M. Paterson ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/32137 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32165 ,  H01L21/28035

摘要： A method of processing a wafer in a plasma, in which target values of two different plasma process parameters are simultaneously realized under predetermined process conditions by setting respective power levels of VHF and HF power simultaneously coupled to the wafer to respective optimum levels.

摘要翻译： 一种在等离子体中处理晶片的方法，其中通过将同时耦合到晶片的VHF和HF功率的相应功率电平设置为相应的最佳电平，在预定工艺条件下同时实现两个不同等离子体工艺参数的目标值。

公开(公告)号：US20080149592A1

公开(公告)日：2008-06-26

申请号：US11986545

申请日：2007-11-20

申请人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Theodoros Panagopoulos ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

发明人： Rodolfo P. Belen ,  Edward P. Hammond ,  Brian K. Hatcher ,  Dan Katz ,  Theodoros Panagopoulos ,  Alexander M. Paterson ,  Valentin N. Todorow

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： H01L21/31116 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32165 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/033

摘要： Line edge smoothness in a hardmask etch process is improved by widening the chamber pressure process window by applying VHF power and increasing the chamber pressure to near the maximum value of the widened process window.

摘要翻译： 硬掩模蚀刻工艺中的线边缘平滑度通过使用VHF功率加宽腔室压力过程窗口并将腔室压力增加到接近加宽过程窗口的最大值来改善。

公开(公告)号：US20080193673A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11998458

申请日：2007-11-28

申请人： Alexander M. Paterson ,  John P. Holland ,  Theodoros Panagopoulos ,  Edward P. Hammond ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

发明人： Alexander M. Paterson ,  John P. Holland ,  Theodoros Panagopoulos ,  Edward P. Hammond ,  Brian K. Hatcher ,  Valentin N. Todorow ,  Dan Katz

IPC分类号： H05H1/34

CPC分类号： H01J37/32422 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32449

摘要： A method of processing a workpiece in a plasma reactor chamber is disclosed. The method includes providing an in-situ gas distribution plate between the workpiece and a ceiling of the chamber that divides the chamber into upper and lower chamber regions. The method further includes providing in the in-situ plate an array of feed-through openings with different opening sizes to present a non-uniform distribution of gas flow resistance for gas flow from the upper chamber region to the lower chamber region. A first process gas is introduced into the upper chamber region and a plasma is generated a plasma in the upper chamber region. A second process gas is introduced in the lower chamber region through gas injection orifices of the in-situ gas distribution plate.

摘要翻译： 公开了一种在等离子体反应器室中处理工件的方法。 该方法包括在工件和腔室的天花板之间提供原位气体分配板，该室将室分成上腔室和下室区域。 该方法还包括在原位板中提供具有不同开口尺寸的馈通开口阵列，以呈现从上室区域到下腔室区域的气流的气流阻力的不均匀分布。 将第一工艺气体引入上室区域，并且在上室区域中产生等离子体。 第二工艺气体通过原位气体分配板的气体注入孔引入下腔室区域。