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    Apparatus and method for microwave processing of liquids
    1.
    发明授权
    Apparatus and method for microwave processing of liquids 失效
    微波处理液体的装置和方法

    公开(公告)号：US06268596B1

    公开(公告)日：2001-07-31

    申请号：US09379850

    申请日：1999-08-24

    申请人： Robert J. Lauf ,  Zakaryae Fathi ,  Denise A. Tucker

    发明人： Robert J. Lauf ,  Zakaryae Fathi ,  Denise A. Tucker

    IPC分类号： H05B674

    CPC分类号： H05B6/782 ,  H05B6/74 ,  H05B6/802

    摘要： A microwave heating apparatus designed to allow concentration of microwave power to a liquid sample to be processed, by use of a field-perturbing tool disposed within or proximate to the volume of liquid. Uniformity of processing is achieved by circulating the liquid past the tool during processing. The apparatus and method is particularly useful when used to excite a nonlinear process whereby greater overall process efficiency may be achieved.

    摘要翻译： 一种微波加热装置，其设计成允许通过使用设置在液体体积内或附近的场扰动工具将微波功率集中到待处理的液体样品。 通过在处理过程中使液体循环通过工具来实现加工的均匀性。 当用于激发非线性过程时，该装置和方法特别有用，从而可以实现更大的总体工艺效率。

    Curing polymer layers on semiconductor substrates using variable frequency microwave energy
    4.
    发明授权
    Curing polymer layers on semiconductor substrates using variable frequency microwave energy 失效
    使用可变频率微波能量固化半导体衬底上的聚合物层

    公开(公告)号：US5879756A

    公开(公告)日：1999-03-09

    申请号：US947945

    申请日：1997-10-09

    申请人： Zakaryae Fathi ,  Denise A. Tucker ,  Richard S. Garard ,  Jianghua Wei

    发明人： Zakaryae Fathi ,  Denise A. Tucker ,  Richard S. Garard ,  Jianghua Wei

    IPC分类号： B05D3/02 ,  B29C65/14 ,  C08F2/46 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/56 ,  H01L21/66

    CPC分类号： B24B37/013 ,  B05D3/029 ,  B29C65/1425 ,  B29C66/71 ,  B29C66/712 ,  B29C66/73751 ,  B29C66/7394 ,  B29C66/91411 ,  B29C66/91443 ,  B29C66/9161 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/56 ,  H01L22/26 ,  B29C66/8266 ,  B29C66/82661 ,  B29C66/964 ,  H01L2924/0002

    摘要： Rapid curing of polymer layers on semiconductor substrates is facilitated using variable frequency microwave energy. A semiconductor substrate having a polymer layer thereon is placed in a microwave furnace cavity, and then swept with a range of microwave frequencies. The range of frequencies includes a central frequency selected to rapidly heat the polymer layer. The range of frequencies is selected to generate a plurality of modes within the cavity. The sweep rate is selected so as to avoid damage to the semiconductor substrate and/or any components thereon. The microwave power may be adjusted during frequency sweeping to control the temperature of the polymer layer and the semiconductor substrate. Effluent produced during the curing of the polymer layer may be removed from the furnace cavity. The extent of cure of the polymer layer may be determined by detecting power reflection for each microwave frequency within the range to provide power reflection data, and then comparing the power reflection data with a predetermined set of power reflection data.

    摘要翻译： 使用可变频率微波能量可以促进半导体衬底上聚合物层的快速固化。 将其上具有聚合物层的半导体衬底放置在微波炉腔中，然后以一定范围的微波频率扫过。 频率范围包括选择的快速加热聚合物层的中心频率。 选择频率范围以在空腔内产生多个模式。 选择扫描速率以避免损坏半导体衬底和/或其上的任何部件。 可以在扫频期间调整微波功率以控制聚合物层和半导体衬底的温度。 在聚合物层固化期间产生的流出物可以从炉腔中除去。 可以通过检测在该范围内的每个微波频率的功率反射来确定聚合物层的固化程度，以提供功率反射数据，然后将功率反射数据与预定的功率反射数据集合进行比较。

    Microwave thawing apparatus and method
    5.
    发明授权
    Microwave thawing apparatus and method 失效
    微波解冻装置及方法

    公开(公告)号：US06744027B2

    公开(公告)日：2004-06-01

    申请号：US10120860

    申请日：2002-04-11

    申请人： Zakaryae Fathi ,  Robert J. Lauf ,  April D. McMillan

    发明人： Zakaryae Fathi ,  Robert J. Lauf ,  April D. McMillan

    IPC分类号： H05B680

    CPC分类号： H05B6/666 ,  H05B6/782

    摘要： An apparatus for thawing a frozen material includes: a microwave energy source; a microwave applicator which defines a cavity for applying microwave energy from the microwave source to a material to be thawed; and a shielded region which is shielded from the microwave source, the shielded region in fluid communication with the cavity so that thawed material may flow from the cavity into the shielded region.

    摘要翻译： 用于解冻冷冻材料的装置包括：微波能量源; 微波施加器，其限定用于将微波能量从微波源施加到要解冻的材料的空腔; 以及与所述微波源屏蔽的屏蔽区域，所述屏蔽区域与所述空腔流体连通，使得解冻的材料可以从所述空腔流入所述屏蔽区域。

    Microwave thawing package and method
    7.
    发明授权
    Microwave thawing package and method 失效
    微波解冻包装及方法

    公开(公告)号：US06707018B2

    公开(公告)日：2004-03-16

    申请号：US10120753

    申请日：2002-04-11

    申请人： Zakaryae Fathi ,  Robert J. Lauf

    发明人： Zakaryae Fathi ,  Robert J. Lauf

    IPC分类号： H05B680

    CPC分类号： A61J1/05 ,  A61M1/0281 ,  B65D81/3453 ,  B65D2581/3435 ,  B65D2581/3472 ,  B65D2581/3491 ,  B65D2581/3493 ,  B65D2581/3497

    摘要： A package for containing frozen liquids during an electromagnetic thawing process includes: a first section adapted for containing a frozen material and exposing the frozen material to electromagnetic energy; a second section adapted for receiving thawed liquid material and shielding the thawed liquid material from further exposure to electromagnetic energy; and a fluid communication means for allowing fluid flow between the first section and the second section.

    摘要翻译： 一种用于在电磁解冻过程中含有冷冻液体的包装，包括：适于容纳冷冻材料并将冷冻材料暴露于电磁能的第一部分; 第二部分，适于接收解冻的液体材料并屏蔽解冻的液体材料免于进一步暴露于电磁能; 以及用于允许流体在第一部分和第二部分之间流动的流体连通装置。