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    Semiconductor device conductive pattern structures and methods of manufacturing the same
    1.
    发明授权
    Semiconductor device conductive pattern structures and methods of manufacturing the same 有权
    半导体器件导电图案结构及其制造方法

    公开(公告)号：US08592979B2

    公开(公告)日：2013-11-26

    申请号：US13440123

    申请日：2012-04-05

    申请人： Hei-Seung Kim ,  Gil-Heyun Choi ,  Ji-Soon Park ,  Jong-Myeong Lee

    发明人： Hei-Seung Kim ,  Gil-Heyun Choi ,  Ji-Soon Park ,  Jong-Myeong Lee

    IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L23/52 ,  H01L29/40

    CPC分类号： H01L27/11524 ,  C25D7/123 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76877 ,  H01L23/528 ,  H01L27/11536 ,  H01L27/11539 ,  H01L27/11541 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： A conductive pattern structure includes a first insulating interlayer on a substrate, metal wiring on the first insulating interlayer, a second insulating interlayer on the metal wiring, and first and second metal contacts extending through the second insulating interlayer. The first metal contacts contact the metal wiring in a cell region and the second metal contact contacts the metal wiring in a peripheral region. A third insulating interlayer is disposed on the second insulating interlayer. Conductive segments extend through the third insulating interlayer in the cell region and contact the first metal contacts. Another conductive segment extends through the third insulating interlayer in the peripheral region and contacts the second metal contact. The structure facilitates the forming of uniformly thick wiring in the cell region using an electroplating process.

    摘要翻译： 导电图案结构包括在基板上的第一绝缘中间层，第一绝缘中间层上的金属布线，金属布线上的第二绝缘中间层以及延伸穿过第二绝缘夹层的第一和第二金属触点。 第一金属触点与单元区域中的金属布线接触，并且第二金属触点与外围区域中的金属布线接触。 第三绝缘中间层设置在第二绝缘中间层上。 导电部分延伸通过电池区域中的第三绝缘中间层并与第一金属触点接触。 另一个导电段延伸穿过周边区域中的第三绝缘中间层并接触第二金属接触。 该结构有助于使用电镀工艺在电池区域中形成均匀厚的布线。

    Method of fabricating semiconductor device
    4.
    发明授权
    Method of fabricating semiconductor device 有权
    制造半导体器件的方法

    公开(公告)号：US08889543B2

    公开(公告)日：2014-11-18

    申请号：US13795807

    申请日：2013-03-12

    申请人： Jong-Min Baek ,  In-Sun Park ,  Jong-Myeong Lee ,  Jong-Won Hong ,  Hei-Seung Kim ,  Jung-Soo Yoon

    发明人： Jong-Min Baek ,  In-Sun Park ,  Jong-Myeong Lee ,  Jong-Won Hong ,  Hei-Seung Kim ,  Jung-Soo Yoon

    IPC分类号： H01L21/4763 ,  H01L21/768

    CPC分类号： H01L21/76802 ,  H01L21/76804 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/7682 ,  H01L21/76831 ,  H01L21/76834 ,  H01L21/76844 ,  H01L21/76885

    摘要： A method of fabricating a semiconductor device includes forming switching devices on a substrate. A lower structure is formed in the substrate having the switching devices. A lower conductive layer is formed on the lower structure. Sacrificial mask patterns are formed on the lower conductive layer. Lower conductive patterns are formed by etching the lower conductive layer using the sacrificial mask patterns as an etch mask. An interlayer insulating layer is formed on the substrate having the lower conductive patterns. Interlayer insulating patterns are formed by planarizing the interlayer insulating layer until the sacrificial mask patterns are exposed. Openings exposing the lower conductive patterns are formed by removing the exposed sacrificial mask patterns. Upper conductive patterns self-aligned with the lower conductive patterns are formed in the openings.

    摘要翻译： 制造半导体器件的方法包括在衬底上形成开关器件。 在具有开关装置的基板中形成下部结构。 下导电层形成在下结构上。 牺牲掩模图案形成在下导电层上。 通过使用牺牲掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻下导电层来形成下导电图案。 在具有较低导电图案的基板上形成层间绝缘层。 通过平坦化层间绝缘层直到牺牲掩模图案曝光来形成层间绝缘图案。 通过去除暴露的牺牲掩模图案来形成露出下导电图案的开口。 在开口中形成与下导电图案自对准的上导电图案。