公开(公告)号：US5728630A

公开(公告)日：1998-03-17

申请号：US743190

申请日：1996-11-05

申请人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

发明人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

IPC分类号： H01L21/3205 ,  B32B27/08 ,  C08G77/16 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/02137 ,  B32B27/08 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76826 ,  H01L21/76829 ,  H01L21/76834 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044

摘要： In a semiconductor device and a method of fabrication thereof, a resin film forms an interlayer film of the semiconductor device having a multilayer interconnection structure, and is formed by only one coating using coating liquid containing silicone ladder polymers represented by the chemical formula: (HO).sub.2 (R.sub.2 Si.sub.2 O.sub.3).sub.n H.sub.2. As a result, it is possible to improve long-term reliability of electric characteristics or the like, and simplify a process.

摘要翻译： 在半导体器件及其制造方法中，树脂膜形成具有多层互连结构的半导体器件的中间膜，并且仅使用包含由以下化学式表示的硅树脂聚合物的涂布液形成一个涂层：（HO ）2（R2Si2O3）nH2。 结果，可以提高电特性等的长期可靠性，并且简化工艺。

公开(公告)号：US5604380A

公开(公告)日：1997-02-18

申请号：US401804

申请日：1995-03-10

申请人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

发明人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

IPC分类号： H01L21/3205 ,  B32B27/08 ,  C08G77/16 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532 ,  H01L29/41 ,  H01L29/51

CPC分类号： H01L21/02137 ,  B32B27/08 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76826 ,  H01L21/76829 ,  H01L21/76834 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044

摘要： In a semiconductor device and a method of fabrication thereof, a resin film forms an interlayer film of the semiconductor device having a multilayer interconnection structure, and is formed by only one coating using coating liquid containing silicone ladder polymers represented by the chemical formula: (HO).sub.2 (R.sub.2 Si.sub.2 O.sub.3).sub.n H.sub.2. As a result, it is possible to improve long-term reliability of electric characteristics or the like, and simplify a process.

摘要翻译： 在半导体器件及其制造方法中，树脂膜形成具有多层互连结构的半导体器件的中间膜，并且仅使用包含由以下化学式表示的硅树脂聚合物的涂布液形成一个涂层：（HO ）2（R2Si2O3）nH2。 结果，可以提高电特性等的长期可靠性，并且简化工艺。

公开(公告)号：US5889330A

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：US987763

申请日：1997-12-09

申请人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

发明人： Hiroyuki Nishimura ,  Hiroshi Adachi ,  Etsushi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Shintaro Minami ,  Shigeru Harada ,  Toru Tajima ,  Kimio Hagi

IPC分类号： H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  H01L29/41

CPC分类号： H01L21/02137 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76826 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002

摘要： In a semiconductor device and a method of fabrication thereof, a resin film forms an interlayer film of the semiconductor device having a multilayer interconnection structure, and is formed by only one coating using coating liquid containing silicone ladder polymers represented by the chemical formula: (HO).sub.2 (R.sub.2 Si.sub.2 O.sub.3).sub.n H.sub.2. As a result, it is possible to improve long-term reliability of electric characteristics or the like, and simplify a process.

摘要翻译： 在半导体器件及其制造方法中，树脂膜形成具有多层互连结构的半导体器件的中间膜，并且仅使用包含由以下化学式表示的硅树脂聚合物的涂布液形成一个涂层：（HO ）2（R2Si2O3）nH2。 结果，可以提高电特性等的长期可靠性，并且简化工艺。

公开(公告)号：US5600151A

公开(公告)日：1997-02-04

申请号：US387168

申请日：1995-02-13

申请人： Etsushi Adachi ,  Hisoshi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Hiroyuki Nishimura ,  Shintaro Minami ,  Tooru Tazima ,  Hiroshi Tobimatsu

发明人： Etsushi Adachi ,  Hisoshi Adachi ,  Shigeyuki Yamamoto ,  Hiroyuki Nishimura ,  Shintaro Minami ,  Tooru Tazima ,  Hiroshi Tobimatsu

IPC分类号： H01L21/312 ,  H01L23/29 ,  H01L23/28 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02126 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3122 ,  H01L23/295 ,  H01L23/296 ,  H01L24/05 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/181

摘要： A semiconductor device having a stress-buffering film which is effective in buffering the stress caused by a molding resin during sealing, the stress-buffering film being made of a silicone ladder resin represented by formula (I) ##STR1## wherein each end group R may be the same or different and represents a hydrogen atom or an alkyl group, each side chain R' may be the same or different and represents a cyclohexyl group, a lower alkyl group, or a photopolymerizable unsaturated group, and n is an integer of 10 or larger.

摘要翻译： 一种具有应力缓冲膜的半导体器件，其有效缓冲在密封期间由模塑树脂引起的应力，应力缓冲膜由式（I）表示的硅树脂树脂制成，其中每个 端基R可以相同或不同，表示氢原子或烷基，每个侧链R'可以相同或不同，表示环己基，低级烷基或光聚合性不饱和基，n为 整数为10以上。

公开(公告)号：US06175111B1

公开(公告)日：2001-01-16

申请号：US09124967

申请日：1998-07-30

申请人： Tetsuji Sorita ,  Shintaro Minami ,  Hiroshi Adachi ,  Mitsuru Takashima ,  Masayuki Misawa

发明人： Tetsuji Sorita ,  Shintaro Minami ,  Hiroshi Adachi ,  Mitsuru Takashima ,  Masayuki Misawa

IPC分类号： H01J4900

CPC分类号： G01N30/7206 ,  G01M15/14 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/359 ,  G01N30/8675 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2030/3076 ,  G01N2030/884

摘要： A method for diagnosis of components inside a turbine generator includes collecting and measuring organic substances present in a gas inside the turbine generator to obtain data (first data). Before the collecting, organic substances generated from each component inside the turbine generator due to heat, discharge, corrosion, or friction, are measured to compile data (second data). The first data is compared to the second data to determine whether the first data includes the same data as in the second data to detect deterioration of the components inside the turbine generator.

摘要翻译： 用于诊断涡轮发电机内的部件的方法包括收集和测量涡轮发电机内的气体中存在的有机物质以获得数据（第一数据）。 在收集之前，测量由于热，排放，腐蚀或摩擦而由涡轮发电机内的每个部件产生的有机物质，以编制数据（第二数据）。 将第一数据与第二数据进行比较，以确定第一数据是否包括与第二数据中相同的数据，以检测涡轮发电机内的部件的劣化。

公开(公告)号：US06785044B2

公开(公告)日：2004-08-31

申请号：US10095026

申请日：2002-03-12

申请人： Shintaro Minami ,  Osamu Hayashi ,  Takayuki Nakano ,  Yasuhisa Tamagawa ,  Makoto Kamozawa ,  Tetsuyuki Kurata

发明人： Shintaro Minami ,  Osamu Hayashi ,  Takayuki Nakano ,  Yasuhisa Tamagawa ,  Makoto Kamozawa ,  Tetsuyuki Kurata

IPC分类号： G02B1314

CPC分类号： G02B1/111 ,  G02B1/105 ,  G02B1/11 ,  G02B1/14

摘要： An infrared transparent optical element for use as an optical window for an infrared imaging camera includes an infrared transparent substrate, an antireflection film, and a protective film of a polymer material. The infrared transparent substrate has first and second major surfaces opposite each other, and the antireflection film is disposed on each of the first and second major surfaces of the substrate. The protective film is on an outer surface of the antireflection film on the first major surface of the substrate.

摘要翻译： 用作红外成像照相机的光学窗口的红外透明光学元件包括红外透明基板，抗反射膜和聚合物材料的保护膜。 红外透明基板具有彼此相对的第一和第二主表面，并且防反射膜设置在基板的第一和第二主表面中的每一个上。 保护膜位于基板的第一主表面上的防反射膜的外表面上。