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    Positive-working radiation-sensitive mixture and recording material for exposure to UV radiation containing polyfunctional compound having .alpha.-.beta.-keto ester units and sulfonate units
    6.
    发明授权
    Positive-working radiation-sensitive mixture and recording material for exposure to UV radiation containing polyfunctional compound having .alpha.-.beta.-keto ester units and sulfonate units 失效
    用于暴露于UV辐射的正性辐射敏感混合物和记录材料，其含有具有α-重氮基 - β-酮酯单元和磺酸酯单元的多官能化合物

    公开(公告)号：US5256517A

    公开(公告)日：1993-10-26

    申请号：US694353

    申请日：1991-05-01

    申请人： Horst Roeschert ,  Georg Pawlowski ,  Hans-Joachim Merrem ,  Ralph Dammel ,  Walter Spiess

    发明人： Horst Roeschert ,  Georg Pawlowski ,  Hans-Joachim Merrem ,  Ralph Dammel ,  Walter Spiess

    IPC分类号： G03F7/016 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023

    CPC分类号： G03F7/0163

    摘要： A positive-working radiation-sensitive mixture is described which essentially contains a photoactive component and a water-insoluble binder which is soluble, or at least swellable, in aqueous alkaline solution, wherein a compound is used, as photoactive component, which contains .alpha.-diazo-.beta.-keto ester units and sulfonate units of the formula I ##STR1## in which R.sup.1 and R.sup.2, independently of one another, are an unsubstituted or substituted aliphatic, cycloaliphatic, araliphatic or aromatic radical having 4 to 20 carbon atoms, it being possible for individual CH.sub.2 groups to be replaced by oxygen or sulfur atoms or by N or NH groups and/or contain keto groups,X is an unsubstituted or substituted aliphatic, cycloaliphatic, carbocyclic, heterocyclic or araliphatic radical having 2 to 22 carbon atoms, it being possible for individual CH.sub.2 groups to be replaced by oxygen or sulfur atoms or by the groups --NR.sup.3 --, --C(O)--0--, --C(O)--NR.sup.3 --, ##STR2## --NR.sup.3 --C(O)--NR.sup.4 --, --O--C(O)--NR.sup.3 --, ##STR3## or --O--C(O)--O--, or CH groups to be replaced by ##STR4## in which R.sup.3 and R.sup.4, independently of one another, are hydrogen or an unsubstituted or substituted aliphatic, carbocyclic or araliphatic radical,m is an integer from 3 to 8,n is an integer from 1 to 3, and m>n.The radiation-sensitive mixture is especially suitable for exposure to radiation having a wavelength of about 190 to 300 nm.

    摘要翻译： 描述了一种正性辐射敏感性混合物，其基本上含有光活性组分和在碱性水溶液中可溶或至少可溶胀的水不溶性粘合剂，其中使用化合物作为光敏组分，其含有α- 其中R 1和R 2彼此独立地是具有4至20个碳原子的未取代或取代的脂族，脂环族，芳脂族或芳族基团的重氮基 - β-酮酯单元和磺酸酯单元 各个CH 2基团可以被氧或硫原子或N或NH基团和/或含有酮基取代，X是未取代或取代的具有2至22个碳原子的脂族，脂环族，碳环，杂环或芳脂族基团 各个CH 2基团可以被氧或硫原子或基团-NR 3 - ， - C（O）-O-，-C（O）-NR 3 - ， - NR 3 -C （O）-NR 4 - ， - OC（O）-NR 3 - ， - 或 - OC （O）-O-或CH基团，其中R 3和R 4彼此独立地为氢或未取代或取代的脂族，碳环或芳脂族基团，m为3至8的整数 ，n为1〜3的整数，m> n。 辐射敏感混合物特别适用于暴露于波长为约190至300nm的辐射。

    Positively operating radiation-sensitive mixture containing a polyfunctional .alpha.-diazo-.beta.-keto ester and radiation-sensitive recording material containing this mixture
    7.
    发明授权
    Positively operating radiation-sensitive mixture containing a polyfunctional .alpha.-diazo-.beta.-keto ester and radiation-sensitive recording material containing this mixture 失效
    含有多官能（ALPHA）-DIAZO-（BETA）-KETO ESTER和含有该混合物的辐射敏感记录材料的正确操作的辐射敏感性混合物

    公开(公告)号：US5198322A

    公开(公告)日：1993-03-30

    申请号：US466007

    申请日：1990-01-12

    申请人： Peter Wilharm ,  Hans-Joachim Merrem ,  Georg Pawlowski ,  Ralph Dammel

    发明人： Peter Wilharm ,  Hans-Joachim Merrem ,  Georg Pawlowski ,  Ralph Dammel

    IPC分类号： G03F7/039 ,  A61K8/00 ,  A61Q17/04 ,  C07C245/18 ,  C07C271/10 ,  C07C271/20 ,  C07C271/24 ,  C07C275/10 ,  C07C275/26 ,  C07C275/32 ,  C07C275/40 ,  C07C323/12 ,  C07D209/48 ,  C07D251/34 ,  C07D295/14 ,  C08F2/50 ,  C09K3/00 ,  G03C1/52 ,  G03F7/004 ,  G03F7/016 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

    CPC分类号： C07C245/18 ,  G03F7/0163 ,  C07C2101/14

    摘要： A positively operating radiation-sensitive mixture comprising a binder which is insoluble in water but soluble or at least swellable in aqueous alkaline solution, and as a photoactive component a polyfunctional .alpha.-diazo-.beta.-keto ester of the general formula I ##STR1## in which R.sup.1 denotes an aliphatic, cycloaliphatic or araliphatic or aromatic radical having 4 to 20 carbon atoms, in which individual CH.sub.2 groups can be replaced by oxygen or sulfur atoms or by ##STR2## or NH groups and/or contain keto groups, X denotes an aliphatic, cycloaliphatic, carbocyclic, heterocyclic or araliphatic radical having 2 to 22 carbon atoms, in which individual CH.sub.2 groups can be replaced by oxygen or sulfur atoms or by the groups --NR.sup.2 --, --C(O)--O--, --C(O)--NR.sup.2 --, --C(O)-- ##STR3## --NR.sup.2 --C(O)--NR.sup.3 --, --O--C(O)--NR.sup.2 --, --C(O)-- ##STR4## or --O--C(O)--O--, or CH groups can be replaced by ##STR5## in which R.sup.2 and R.sup.3 independently of one another represent hydrogen or an aliphatic, carbocyclic or araliphatic radical,m denotes an integer from 2 to 10 andn denotes an integer from 0 to 2, whereinm-n is .gtoreq.2,is described.The radiation-sensitive mixture is particularly suitable for exposure using radiation of wavelength 190 to 300 nm.

    摘要翻译： 一种正面工作的辐射敏感性混合物，其包含不溶于水但在碱性水溶液中可溶或至少可溶胀的粘合剂，以及作为光活性组分的通式I的多官能α-重氮基β-酮酯（IMAGE）（ I），其中R1表示具有4至20个碳原子的脂族，脂环族或芳脂族或芳族基团，其中各个CH 2基团可以被氧或硫原子替代，或者通过<或>或/或含有酮基， X表示具有2至22个碳原子的脂族，脂环族，碳环，杂环或芳脂族基团，其中各个CH 2基团可被氧或硫原子替代，或由-NR 2 - ， - C（O）-O-， -C（O）-NR 2 - ， - C（O）-NR 2 -C（O）-NR 3 - ， - OC（O）-NR 2 - ， - C（O） （O）-O-或CH基团可以被其中R 2和R 3彼此独立地表示氢或脂族，碳环或芳脂族基团的“IMAGE”代替，m表示 s为2至10的整数，n表示0至2的整数，其中m-n为> / = 2。 辐射敏感的混合物特别适用于使用波长为190至300nm的辐射的曝光。