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    Methods for elimination or reduction of oxide and/or soot deposition in carbon containing layers
    1.
    发明申请
    Methods for elimination or reduction of oxide and/or soot deposition in carbon containing layers 有权
    消除或减少含碳层中氧化物和/或烟灰沉积的方法

    公开(公告)号：US20070141256A1

    公开(公告)日：2007-06-21

    申请号：US11303639

    申请日：2005-12-16

    申请人： Maik Liebau ,  Franz Kreupl ,  Georg Dusber ,  Eugen Unger

    发明人： Maik Liebau ,  Franz Kreupl ,  Georg Dusber ,  Eugen Unger

    IPC分类号： C23C16/00

    CPC分类号： C23C16/0227 ,  C23C16/26

    摘要： One embodiment of the present invention provides a method for the deposition of a Carbon containing layer on a Silicon surface wherein a (i) substantially Silicon-oxide-free or reduced oxide interface results between Silicon and the Carbon containing layer during the deposition. In another embodiment, the present invention provides a method for deposition of a Carbon containing layer wherein the deposition process is substantially soot (particle)-free or reduction of soot.

    摘要翻译： 本发明的一个实施方案提供了一种用于在硅表面上沉积含碳层的方法，其中在沉积期间在硅和含碳层之间产生（i）基本上不含氧化硅的氧化物或还原氧化物界面。 在另一个实施方案中，本发明提供了一种用于沉积含碳层的方法，其中沉积过程基本上是烟灰（无颗粒）或烟灰的还原。

    Methods for elimination or reduction of oxide and/or soot deposition in carbon containing layers
    2.
    发明授权
    Methods for elimination or reduction of oxide and/or soot deposition in carbon containing layers 有权
    消除或减少含碳层中氧化物和/或烟灰沉积的方法

    公开(公告)号：US08216639B2

    公开(公告)日：2012-07-10

    申请号：US11303639

    申请日：2005-12-16

    申请人： Maik Liebau ,  Franz Kreupl ,  Georg Duesberg ,  Eugen Unger

    发明人： Maik Liebau ,  Franz Kreupl ,  Georg Duesberg ,  Eugen Unger

    IPC分类号： C23C16/00

    CPC分类号： C23C16/0227 ,  C23C16/26

    摘要： One embodiment of the present invention provides a method for the deposition of a Carbon containing layer on a Silicon surface wherein a (i) substantially Silicon-oxide-free or reduced oxide interface results between Silicon and the Carbon containing layer during the deposition. In another embodiment, the present invention provides a method for deposition of a Carbon containing layer wherein the deposition process is substantially soot (particle)-free or reduction of soot.

    摘要翻译： 本发明的一个实施方案提供了一种用于在硅表面上沉积含碳层的方法，其中在沉积期间在硅和含碳层之间产生（i）基本上不含氧化硅的氧化物或还原氧化物界面。 在另一个实施方案中，本发明提供了一种用于沉积含碳层的方法，其中沉积过程基本上是烟灰（无颗粒）或烟灰的还原。

    NANOWIRE VIAS
    6.
    发明申请
    NANOWIRE VIAS 审中-公开

    公开(公告)号：US20080315430A1

    公开(公告)日：2008-12-25

    申请号：US11767066

    申请日：2007-06-22

    申请人： WALTER M. WEBER ,  Franz Kreupl ,  Eugen Unger

    发明人： WALTER M. WEBER ,  Franz Kreupl ,  Eugen Unger

    IPC分类号： H01L29/40 ,  H01L21/768

    CPC分类号： H01L21/76885 ,  B82Y10/00 ,  H01L2221/1094

    摘要： A method of fabricating an integrated circuit including arranging a nanowire with a first end portion thereof at a first contact surface of a first electrical contact and with a second end portion sticking up from the first contact surface, and embedding at least part of the nanowire in dielectric material.

    摘要翻译： 一种制造集成电路的方法，包括在第一电接触的第一接触表面处布置具有第一端部的纳米线和从第一接触表面粘附的第二端部，并将纳米线的至少一部分嵌入 介电材料。

    Resistive memory devices with improved resistive changing elements
    7.
    发明授权
    Resistive memory devices with improved resistive changing elements 有权
    具有改进的电阻变化元件的电阻式存储器件

    公开(公告)号：US08742387B2

    公开(公告)日：2014-06-03

    申请号：US12145608

    申请日：2008-06-25

    申请人： Thomas Happ ,  Franz Kreupl ,  Jan Boris Philipp ,  Petra Majewski

    发明人： Thomas Happ ,  Franz Kreupl ,  Jan Boris Philipp ,  Petra Majewski

    IPC分类号： H01L47/00 ,  H01L45/00

    CPC分类号： H01L45/1253 ,  G11C13/0004 ,  G11C2213/79 ,  H01L45/06 ,  H01L45/085 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1246 ,  H01L45/141 ,  H01L45/146

    摘要： An integrated circuit includes a memory cell with a resistance changing memory element. The resistance changing memory element includes a first electrode, a second electrode, and a resistivity changing material disposed between the first and second electrodes, where the resistivity changing material is configured to change resistive states in response to application of a voltage or current to the first and second electrodes. In addition, at least one of the first electrode and the second electrode comprises an insulator material including a self-assembled electrically conductive element formed within the insulator material. The self-assembled electrically conductive element formed within the insulator material remains stable throughout the operation of switching the resistivity changing material to different resistive states.

    摘要翻译： 集成电路包括具有电阻变化存储元件的存储单元。 电阻变化存储元件包括第一电极，第二电极和设置在第一和第二电极之间的电阻率变化材料，其中电阻率变化材料被配置为响应于施加电压或电流而改变电阻状态 和第二电极。 此外，第一电极和第二电极中的至少一个包括绝缘体材料，其包括形成在绝缘体材料内的自组装导电元件。 形成在绝缘体材料内的自组装导电元件在将电阻率变化材料切换到不同电阻状态的整个操作期间保持稳定。

    P-/METAL FLOATING GATE NON-VOLATILE STORAGE ELEMENT
    8.
    发明申请
    P-/METAL FLOATING GATE NON-VOLATILE STORAGE ELEMENT 有权
    P- /金属浮动门非易失存储元件

    公开(公告)号：US20120243337A1

    公开(公告)日：2012-09-27

    申请号：US13153964

    申请日：2011-06-06

    申请人： Sanghyun Lee ,  Mohan Dunga ,  Masaaki Higashitani ,  Tuan Pham ,  Franz Kreupl

    发明人： Sanghyun Lee ,  Mohan Dunga ,  Masaaki Higashitani ,  Tuan Pham ,  Franz Kreupl

    IPC分类号： G11C16/10 ,  G11C16/04 ,  H01L21/336 ,  H01L29/788

    CPC分类号： H01L21/28273 ,  H01L27/11524 ,  H01L27/11529 ,  H01L29/42324

    摘要： Non-volatile storage elements having a P−/metal floating gate are disclosed herein. The floating gate may have a P− region near the tunnel oxide, and may have a metal region near the control gate. A P− region near the tunnel oxide helps provide good data retention. A metal region near the control gate helps to achieve a good coupling ratio between the control gate and floating gate. Therefore, programming of non-volatile storage elements is efficient. Also, erasing the non-volatile storage elements may be efficient. In some embodiments, having a P− region near the tunnel oxide (as opposed to a strongly doped p-type semiconductor) may improve erase efficiency relative to P+.

    摘要翻译： 本文公开了具有P- /金属浮动栅极的非易失性存储元件。 浮栅可以在隧道氧化物附近具有P-区域，并且可以在控制栅极附近具有金属区域。 隧道氧化物附近的P-区域有助于提供良好的数据保留。 控制栅极附近的金属区域有助于实现控制栅极和浮动栅极之间良好的耦合比。 因此，非易失性存储元件的编程是有效的。 此外，擦除非易失性存储元件可能是有效的。 在一些实施例中，在隧道氧化物附近具有P-区（与强掺杂p型半导体相反）可提高相对于P +的擦除效率。

    Memory Cell With Resistance-Switching Layers Including Breakdown Layer
    10.
    发明申请
    Memory Cell With Resistance-Switching Layers Including Breakdown Layer 有权
    具有包含故障层的电阻切换层的存储单元

    公开(公告)号：US20110310656A1

    公开(公告)日：2011-12-22

    申请号：US13157208

    申请日：2011-06-09

    申请人： Franz Kreupl ,  Chu-Chen Fu ,  Yibo Nian

    发明人： Franz Kreupl ,  Chu-Chen Fu ,  Yibo Nian

    IPC分类号： G11C11/00 ,  H01L45/00

    CPC分类号： H01L27/2409 ,  G11C11/16 ,  G11C11/1659 ,  G11C13/0007 ,  G11C2213/31 ,  G11C2213/71 ,  G11C2213/72 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/08 ,  H01L45/122 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1253 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146

    摘要： A memory device in a 3-D read and write memory includes memory cells. Each memory cell includes a resistance-switching memory element (RSME) in series with a steering element. The RSME has a resistance-switching layer, a conductive intermediate layer, and first and second electrodes at either end of the RSME. A breakdown layer is electrically between, and in series with, the second electrode and the intermediate layer. The breakdown layer maintains a resistance of at least about 1-10 MΩ while in a conductive state. In a set or reset operation of the memory cell, an ionic current flows in the resistance-switching layers, contributing to a switching mechanism. An electron flow, which does not contribute to the switching mechanism, is reduced due to scattering by the conductive intermediate layer, to avoid damage to the steering element. Particular materials and combinations of materials for the different layers of the RSME are provided.

    摘要翻译： 3-D读写存储器中的存储器件包括存储器单元。 每个存储单元包括与转向元件串联的电阻切换存储元件（RSME）。 RSME具有电阻切换层，导电中间层以及在RSME的任一端的第一和第二电极。 击穿层在第二电极和中间层之间电连接并与其串联。 击穿层保持至少约1-10MΩ的电阻; 而处于导电状态。 在存储单元的置位或复位操作中，离子电流在电阻切换层中流动，有助于切换机构。 由于导电中间层的散射，对切换机构无贡献的电子流减少，以避免损坏转向元件。 提供了用于RSME不同层的材料和材料的组合。